【技术实现步骤摘要】
本技术属于晶体制造
,涉及ー种可调节密封装置,尤其涉及ー种用于蓝宝石生长的可调节密封装置。
技术介绍
蓝宝石是ー种氧化铝(Ci-Al2O3)的单晶,俗称刚玉,是由三个氧原子和两个铝原子以共价键形式结合,属于六方晶系。其熔点为2050°C,沸点为2980°C,最高工作温度可达1900°C,是ー种较早开发应用的人工晶体材料。蓝宝石晶体材料的化学性质非常稳定,一般不溶于水,不受酸、碱腐蚀;蓝宝石晶体硬度与耐磨性能高,为莫氏硬度9级,仅次于最硬的金刚石,可作为精密机械的轴承材料;它具有很好的力学和光学性能,是ー种理想的光学窗ロ材料。另外,蓝宝石晶体材料是使用最广泛的氧化物衬底材料之一,在微电子-光电子技木、通信、医学等领域有着广阔的应用前景。·蓝宝石晶体材料的生长目前已有很多种方法,主要有泡生法(Kyropolous法,简称 Ky 法)、导模法(即 Edge Defined Film-fed Growth techniques 法,简称 EFG 法)、热交换法(即Heat Exchange Method法,简称HEM法),提拉法(Czochralski法,简称Cz ...
【技术保护点】
一种用于蓝宝石生长的可调节密封装置,其特征在于,所述密封装置包括:上拉杆、上压盖、上密封端盖、压力调节活塞杆、内螺纹活塞缸、油仓外壳、下密封端盖、下压盖、上密封圈、下密封圈;所述上压盖与上密封端盖固定连接,上密封圈置于上压盖与上密封端盖之间;所述下压盖与下密封端盖固定连接,下密封圈置于下压盖与下密封端盖之间;所述压力调节活塞杆与活塞缸连接,活塞缸的一端伸入油仓外壳内形成的密封腔,另一端设置于油仓外壳的外部;压力调节活塞杆与活塞缸配合调节密封腔内的压力。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:刘琛,陈文渊,刘一凡,孙大伟,
申请(专利权)人:上海中电振华晶体技术有限公司,
类型:实用新型
国别省市:
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