一种光传感器阵列面板的缺陷检测修复装置及其方法。其中所述装置包括：探测单元，探测放置于其上的光传感器阵列面板上输出的模拟电信号，并将模拟电信号转换为数字电信号；处理显示单元接收探测单元输出的数字电信号，并转换为图像进行显示，通过所示图像可判断出光传感器阵列面板是否具有缺陷；定位修复单元对光传感器阵列面板上的缺陷进行定位后，修复所述缺陷。本发明专利技术在同一检测修复装置中完成缺陷的检测、定位和修复，无需建立坐标系来确定光传感器阵列面板的各个像素单元的位置，另外发现缺陷后就可对有缺陷的传感器像素单元进行定位，并且缺陷修复的同时即可确定修复效果，操作方法简单方便，出错率低，工作效率高。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及光传感器领域，特别是一种。
技术介绍
平板X射线探测器是一种新的X射线成像器件，由于平板X射线探测器具有很高的空间分辨率和动态范围，而且又能提供快速的数字图像获取手段，因此平板X射线探测器获得了广泛的应用。 平板X射线探测器的主要部分是成像系统，而成像系统的核心是X射线传感器阵列面板。X射线传感器阵列面板由多个像素单元组成，每个像素单元包括一个X射线传感器，所述X射线传感器是光传感器中的一种。光传感器可接受外部光信号并将光信号转换为电信号输出，主要有光电二极管、光电三极管、光敏电阻、光电倍增器、光电池、PIN管、CCD等。光传感器是利用材料的光电效应制作成的传感器，由于不同的材料性质，不同的光传感器可接受的光的范围由紫外到红外波长不等，还包括X射线，并将相应的光信号转换为电信号。平板X射线探测器成像基本原理是X射线传感器阵列面板上的X射线传感器阵列将X光信号转换为电信号，然后通过相应的场效应管(FET，Field Effect Transistor)阵列读出电信号，并由模数转换器形成数字信号，再经过计算机的图像处理系统处理，最后形成图像显示。然而现有平板X射线探测器在工作过程中，如果X射线传感器像素单元存在缺陷，则会造成图像和感应的光信号不对应，比如在有光照条件下，有缺陷的X射线传感器像素单元不能将X光信号转换为电信号，则对应的图像像素为暗。因此，X射线传感器阵列面板在出厂前必须进行检测，但由于X射线传感器像素阵列面板自身只能感应光，而不能发光，不能在X射线传感器阵列面板上直接成像，因此利用显微镜在X射线传感器阵列中找出有缺陷的X射线传感器像素单元非常困难，并且进一步限制对出现缺陷的X射线传感器的研究和修复。现有对X射线传感器阵列面板上的缺陷进行检测和修复的方法如下I、图像显示步骤将X射线传感器阵列面板安装在探测设备上，在显示器上显示X射线传感器阵列面板感应光线经处理后所产生的图像；2、缺陷检测步骤从显示的图像上的检测是否有缺陷，如某个像素显示的灰阶和周围像素显示的灰阶有明显差异就为缺陷点，一般此像素的X射线传感器像素单元的器件有缺陷；在显示的图像上建立坐标系，该坐标系能确定每个X射线传感器像素单元的位置，记录图像上的缺陷点的坐标，完成对缺陷的检测；3、缺陷定位修复步骤将X射线传感器阵列面板放置于修复设备上，修复设备上也设置有坐标系，所述修复设备上的坐标系和缺陷检测步骤中在图像上建立的坐标系相一致，也能确定每个X射线传感器像素单元的位置；输入图像上缺陷点的坐标找到X射线传感器阵列面板上的缺陷像素单元，完成对缺陷的定位，然后对可修复的缺陷用修复设备进行相应修复；4、确定修复效果步骤从修复设备上取下X射线传感器阵列面板，并将X射线传感器阵列面板再次安装在探测设备上，再次在图像上建立和X射线传感器阵列面板各像素单元对应的坐标系，找到原缺陷的坐标，通过显示器上图像的显示效果判断原缺陷是否达到修复目标。如果达到修复目标，则修复结束；如果没达到修复目标，重复上述I 4步骤。上述方法在探测设备和修复设备都要建立对应X射线传感器阵列面板各像素单元的坐标系，并且对不同型号X射线传感器阵列面板需建立不同坐标系，操作复杂，容易出错；对缺陷定位和修复是分别在不同的装置上进行的，X射线传感器阵列面板需要来回搬动，工艺步骤复杂，工作效率低，而且X射线传感器阵列面板在来回搬动的动作中破损的风险也很大；对缺陷点的像素单元修复后不能立刻得知修复效果，还要进行重新检测
技术实现思路
本专利技术解决的问题是提供一种，解决现有技术中光传感器阵列面板缺陷检测、定位及修复系统复杂、检测及修复方法繁琐、容易出错等问题。探测单元，用以检测光传感器阵列面板输出的模拟电信号，并将模拟电信号转换为数字电信号；处理显示单元，将探测单元输出的数字电信号转换为图像进行显示，所示图像显示出光传感器阵列面板是否具有缺陷；定位修复单元，对光传感器阵列面板上的缺陷进行定位，并对定位后的缺陷进行修复。本专利技术提供一种光传感器阵列面板的缺陷检测修复装置的方法，包括提供探测单元，探测放置于其上的光传感器阵列面板上输出的模拟电信号，并将模拟电信号转换为数字电信号；处理显示单元，接收探测单元输出的数字电信号，并转换为图像进行显示，所示图像显示光传感器阵列面板是否具有缺陷；定位修复单元，对光传感器阵列面板上的缺陷进行定位后，修复所述缺陷。与现有技术相比，本专利技术的技术方案具有以下优点将光传感器阵列面板放置于包含探测单元、显示单元、定位单元、修复单元的装置中进行缺陷检测、定位及修复。由于在同一装置中完成缺陷的检测、定位和修复，检测及修复步骤减少，无需对光传感器阵列面板建立坐标系进行对位，另外缺陷发现后就可对缺陷传感器像素进行定位，并且缺陷修复的同时即可判断修复效果，出错率降低，工作效率提闻。进一步，光传感器阵列面板位置和缺陷的位置实时呈现在显示单元上，只需移动激光源即可将亮点光标移至缺陷图像像素上，精确定位缺陷像素在光传感器阵列面板上的位置。附图说明图I是本专利技术的缺陷检测修复装置第一实施例示意图；图2是本专利技术使用方法具体实施例流程示意图；图3是本专利技术的缺陷检测修复装置第二实施例示意图；图4是本专利技术的缺陷检测修复装置第三实施例示意图；图5是实施例处理显示单元显示的缺陷和亮点光标示意图；图6是实施例处理显示单元显示的对准缺陷位置示意图。具体实施例方式下面结合附图对本专利技术的具体实施方式进行详细说明。 实施例一如图I所示，一种光传感器阵列面板缺陷的检测修复装置，包括探测单元210，用以检测放置其上的光传感器阵列面板214输出的模拟电信号，并将模拟电信号转换为数字电信号；处理显示单元205，将探测单元210检测到的数字电信号转换为图像信号，并将所述图像信号转换为图像进行显示，所述图像可反馈出光传感器阵列面板是否具有缺陷；定位修复单元202，对光传感器阵列面板214上的缺陷进行定位，并对定位后的缺陷进行修复。本实施例中，所述定位修复单元202包含有激光源、显微单元和摄像单元。所述激光源产生的激光照射在放置于探测单元210上的光传感器阵列面板214上，对光传感器阵列面板214上的缺陷进行定位或修复；所述激光源的功率可以调节，能够产生低功率激光和高功率激光。所述显微单元具有多种倍数的显微镜头，用于将光传感器阵列面板上的器件结构进行放大，便于观察缺陷，确定缺陷类型；所述摄像单元实时采集光传感器阵列面板上的器件情况，所述摄像单元也可以采集经显微单元放大后的器件情况。本实施例中，所述显微单元中还设置有照明光源。本实施例中，所述处理显示单元205包括图像处理单元208,与所述探测单元210电连接，用以接收探测单元210输出的数字信号并转换为图像信号；第一显示单元206，用以将图像处理单元208处理得到的图像信号显示为图像。本实施例中，所述光传感器阵列面板缺陷的检测修复装置还包括第二显示单元204，与定位修复单元202电连接，用以显示摄像单元采集到的光传感器阵列面板的器件情况。在本专利技术的另一实例中，所述第一显示单元206和第二显示单元204可以是同一显示单元并且和定位修复单元202、图像处理单元208连接，用以将图像处理单元208处理得到的图像信号显示为图像和用以显示摄像单元采集到的光传感本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种光传感器阵列面板的缺陷检测修复装置，其特征在于，包括：探测单元，用以检测光传感器阵列面板输出的模拟电信号，并将模拟电信号转换为数字电信号；处理显示单元，将探测单元输出的数字电信号转换为图像进行显示，所示图像显示出光传感器阵列面板是否具有缺陷；定位修复单元，对光传感器阵列面板上的缺陷进行定位，并对定位后的缺陷进行修复。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：郑礼朋，
申请(专利权)人：上海天马微电子有限公司，
类型：发明
国别省市：
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