接触式测量仪制造技术

本发明专利技术提供了一种接触式测量仪，包括底座、3个直线轴、真空吸盘安装座、抽气管、晶圆、真空吸盘、标准块、标准块固定座、接触式测头；所述的3个直线轴分别为X轴、Y轴、Z轴，其中Ｘ轴和Ｙ轴相互垂直并分别固定在底座上，Z轴与Ｘ轴和Ｙ轴构成的平面垂直，Ｘ轴上通过真空吸盘安装座固定有真空吸盘，Ｚ轴上固定有侧向水平安装的接触式测头。本测量仪能在测量过程中对测量仪自身轴系精度进行补偿，进一步在传统接触式测量仪基础上提高晶圆的测量精度，而相对非接触式测量仪，不存在透明材料和高亮度表面影响测量精度的问题。另外，相对传统接触式测量仪，本测量仪兼具平面度和厚度测量双项功能。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种太阳能加工及测量精密设备，尤其涉及一种用于测量不同厚度晶圆的平面度和厚度的接触式测量仪。
技术介绍
为满足全球能源逐步扩大的需求，太阳能作为绿色能源被广泛加以利用，而晶圆作为收集太阳能的关键元件，需求量和质量均在不断提高。晶圆一般由多层不同材料采用 压合工艺制成，通常是第一层为晶圆、第二层为粘合剂、第三层为玻璃、第四层为胶带，从第一层到第四逐层压合，各层压合后平面度和压合后厚度需要监控，4层全部压合后成品晶圆平面度和厚度也需要进行检测，只有符合晶圆压合质量要求的产品才能作为合格基材进入下一道工序进行加工，并最终确保晶圆成品符合客户要求。传统晶圆测量设备，有接触式和非接触式两种，现有传统接触式测量设备，针对晶圆测量功能单一，不能在同一台设备上进行平面度和厚度的测量，另外，测量力难以精确控制，导致各点测量精度受到影响，甚至因测量力不均匀及无法控制导致测量过程中晶圆碎裂。而非接触式晶圆测量仪，由于采用激光照射方式进行测量，会因不同测量材料反光效应不同导致各层测量数据难以统一，尤其是针对玻璃层及成品后的高亮度表层测量，会由于材料透明或是表面高亮度影响测量精度，导致测量数据本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种接触式测量仪，其特征在于，包括底座、3个直线轴、真空吸盘安装座、抽气管、晶圆、真空吸盘、标准块、标准块固定座、接触式测头；所述的3个直线轴分别为X轴、Y轴、Z轴，其中Ｘ轴和Ｙ轴相互垂直并分别固定在底座上，Z轴与Ｘ轴和Ｙ轴构成的平面垂直，Ｘ轴上通过真空吸盘安装座固定有真空吸盘，Ｚ轴上固定有侧向水平安装的接触式测头。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：赵春花，
申请(专利权)人：昆山允可精密工业技术有限公司，
类型：发明
国别省市：