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本发明提供了一种接触式测量仪，包括底座、3个直线轴、真空吸盘安装座、抽气管、晶圆、真空吸盘、标准块、标准块固定座、接触式测头；所述的3个直线轴分别为X轴、Y轴、Z轴，其中Ｘ轴和Ｙ轴相互垂直并分别固定在底座上，Z轴与Ｘ轴和Ｙ轴构成的平面垂直，...
该专利属于昆山允可精密工业技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过昆山允可精密工业技术有限公司授权不得商用。

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