【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】集成式机电致动器本专利技术涉及一种集成式机电致动器以及一种用于制造此类集成式机电致动器的方法。
技术介绍
随着微电子应用中的功率和能源约束变得越来越具有挑战性，人们不断寻求备选且更具功率效率的切换和计算方法。半导体行业中使用的典型切换器件是CMOS晶体管。为了克服CMOS器件中与功率相关的瓶颈，研究了以根本不同的传输机制(例如隧道)工作的新型切换器件。然而，将高接通电流、非常低的截止电流、突然切换、高速度以及小占用空间 的期望特性组合在可容易地与CMOS器件对接的器件中是一项具有挑战性的任务。诸如纳米机电开关(NEM开关)之类的机械开关是很有前景的器件，可满足这些类型的条件。电极之间具有窄间隙的纳米机电开关通过静电致动来控制。响应于静电力，接触电极可以弯曲以接触另一个电极，因此使开关闭合。在设计和操作纳米机电开关中，针对静电致动和电接触分离控制窄间隙是一个主要问题。NEM开关必须满足高切换速度和低致动电压这两个要求。通常，为了获得在I伏范围内的致动电压和接近I纳秒的切换速度，提供的电极之间的间隙必须在大约10纳米的范围内。然而，为了限定和控制10纳米的大小，即使当应用最...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
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