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本发明提供了一种集成式机电致动器和一种用于制造此类集成式机电致动器的方法。所述集成式机电致动器包括致动器电极之间的静电致动器间隙和接触电极之间的电接触间隙。在所述致动器电极与所述接触电极之间提供具有倾斜角的倾斜。此电接触间隙的厚度等于在制造...
该专利属于国际商业机器公司所有，仅供学习研究参考，未经过国际商业机器公司授权不得商用。

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