常关型氮化镓基半导体器件制造技术

一种方法包括在半导体器件（100,500）中形成（604）弛豫层（106,506）。该方法还包括在弛豫层上形成（606）张力层（108，510），其中张力层具有张应力。该方法进一步包括在弛豫层上形成（606）压缩层（110,508），其中压缩层具有压应力。压缩层的压电极化强度近似等于或大于弛豫层、张力层和压缩层中的自发极化强度。压缩层中的压电极化强度与压缩层中的自发极化强度方向相反。弛豫层可以包括氮化镓，张力层可以包括氮化铝镓，并且压缩层可以包括氮化铝铟镓。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本公开总体涉及半导体器件。更特别地，本公开涉及常关型氮化镓基半导体器件。
技术介绍
人们正在研究用于高功率电子应用的各种III-V族化合物。这些化合物包括III-V族氮化物，如氮化镓(GaN)、氮化铝镓(AlGaN)和氮化铝铟镓(AlInGaN)。这些化合物可以用来形成用于高功率高电压应用的高电子迁移率晶体管(HEMT)。许多常规的GaN基晶体管器件工作在常开状态或耗尽模式。这通常要求使用负偏压以便关闭晶体管器件。使用负偏压通常是不期望的。虽然已经提出了一些常关型GaN基晶体管器件，但这些器件也有各种缺点
技术实现思路
附图说明为了更彻底理解本公开及其特征，现在结合附图参考下面描述，其中图I示出根据本公开的第一示例常关型氮化镓基半导体器件；图2示出根据本公开的在图I的半导体器件中的示例极化；图3示出根据本公开的与图I的半导体器件关联的示例能带图；图4A和4B示出根据本公开的图I的半导体器件的电学特性和组成之间的示例关系;图5示出根据本公开的第二示例常关型氮化镓基半导体器件；以及图6示出根据本公开的形成常关型氮化镓基半导体器件的示例方法。具体实施例方式下面讨论的图I到图6以及本专利文件中用于描述本专利技术原理的各个实施例仅是示例性的，且不应视为以任何方式限制本专利技术的范围。本领域的技术人员应该理解，本专利技术的原理可以在任何类型的合适布置的器件或系统中实现。图I示出根据本公开的第一示例常关型氮化镓基半导体器件100。如图I所示，在衬底102上形成半导体器件100。衬底102代表支撑或承载半导体器件100的其他结构的任何合适的半导体衬底。例如，衬底102可以代表硅、蓝宝石或碳化硅衬底。在衬底102上形成缓冲层104。缓冲层104通常代表用于帮助半导体器件100中其他结构与衬底102隔离(例如与衬底102中的缺陷隔离)的薄层。缓冲层104可以由任何合适的(一种或多种)材料并以任何合适的方式形成。例如，缓冲层104可以代表外延层，比如氮化镓(GaN)或氮化铝镓(AlGaN)外延层。在缓冲层104上形成弛豫层106。弛豫层106代表由一般不处于张应力或压应力下或者处于仅少量张应力或压应力下的(一种或多种)材料形成的有源层。弛豫层106可以由任何合适的(一种或多种)材料并以任何合适的方式形成。例如，弛豫层106可以代表GaN外延层。在弛豫层106上形成张力层108。张力层108代表由在张应力下的(一种或多种)材料形成的阻挡层。张力层108可以由任何合适的(一种或多种)材料并以任何合适的方式形成。例如，张力层108可以代表AlGaN外延层。应该注意，缓冲层104中的铝浓度(如果有)可以远小于张力层108中的铝浓度。在张力层108上形成压缩层110。压缩层110代表由处于压应力下的(一种或多种)材料形成的阻挡层。压缩层110可以由任何合适的(一种或多种)材料并以任何合适的方式形成。例如，压缩层Iio可以通过如下步骤形成淀积AlInGaN外延层，并刻蚀AlInGaN,留下张力层110上的一部分AlInGaN。压缩层110也可以通过在由掩膜限定的指定区域中淀积AlInGaN而形成。应该注意，缓冲层104中的铝浓度(如果有)可以远小于压缩层110中的铝浓度。 在张力层108中且可能地在弛豫层106中形成源极区112和漏极区114。源极区112和漏极区114可以以任何合适的方式形成，例如通过对结构进行掩蔽并执行掺杂工艺(例如注入或扩散工艺)。同样，可以使用任何合适的(一种或多种)掺杂剂形成源极区112和漏极区114中的每一个。在压缩层110上形成栅极116。栅极116可以由任何合适的(一种或多种)材料并以任何合适的方式形成。例如，可以通过在结构上淀积(一种或多种)导电材料，并刻蚀(一种或多种)导电材料，从而形成栅极116。栅极116也可以通过在由掩膜限定的指定区域中淀积(一种或多种)导电材料而形成。如上所述，许多常规的GaN基晶体管器件工作在常开状态或耗尽模式中。这是由自发极化造成的，自发极化源自GaN纤锌矿晶体结构的原子结构中的不对称性和铝、铟或镓和氮之间的部分离子键合。该自发极化诱导沿着镓面结构的晶体生长轴的电荷分离。并且，当使用宽带隙阻挡层108 (例如铝的摩尔分数在10-30%之间的AlGaN)时，会由于晶格失配和热系数失配而产生张应变。该应变诱导压电极化，其进一步加强了 AlGaN/GaN系统中的电荷分离。低带隙(GaN)层和宽带隙(AlGaN)层之间的带隙不连续以及电荷分离导致了在AlGaN/GaN界面形成二维电子气。该二维电子气的存在导致常开或耗尽模式晶体管。根据本公开，在半导体器件100中使用应变工程来补偿自发极化。应变工程也用于反转在弛豫层/张力层界面产生的电荷。在图2中示出了该情形的图解，其示出在图I的半导体器件100中的示例极化。如图2所示，虽然在层106和110中的自发极化强度Psp是沿相同方向，但是在层110中的压电极化强度Ppe是沿相反方向。这会在栅极116下形成耗尽电子区。同时，源极区112和漏极区114在它们与层106-108的界面处会具有电子积累。当向栅极116施加正电压时，在耗尽电子区的正电荷被耗尽，并且在弛豫层/张力层界面处的电子积累导致开状态。因此，可以在常关型GaN基晶体管器件中实现高电流和非常低的比导通电阻(RDSqn)。在半导体器件100中，使用压缩层110来补偿自发极化。当压缩层110由AlInGaN形成时，铝组分可以约为20%，并且铟组分可以约为20%。在该组成的情况下，在张力层108的顶部上产生压应变，其可以导致轻微压缩性的总应变。在特定实施例中，AlInGaN压缩层110可以产生高达O. 04C/m2的极化强度，其会稍微高于器件100中的总自发极化强度并与其相反。图3示出与图I的半导体器件100关联的示例能带图300。可以使用压缩层110中的应变来补偿自发极化，从而调节器件100的阈值电压ντ。在压电极化强度大于或等于自发极化强度的情况下，在零栅极电压偏置时，在弛豫层/张力层界面处或在弛豫层/缓冲层界面处可能形成少量二维电子气，或没有二维电子气。图4Α和4Β示出图I的半导体器件100的电学特性和组成之间的示例关系。具体地，图4Α示出曲线图400，其示出器件100中的自发极化强度Psp如何根据压缩层110 (假设AlInGaN压缩层含20%铝)的铟组分变化。如这里所示，对于铟组分从零摩尔分数变化到O. 25摩尔分数，自发极化强度Psp只是略微变化，仅增加约O. 0008C/m2。图4B示出曲线图450，其示出器件100中的压电极化强度Ppe如何根据压缩层110(假设AlInGaN压缩层含20%铝)的铟组分变化。如这里所示，对于铟组分从零摩尔分数变 化到O. 25摩尔分数，压电极化强度Ppe变化程度较大，增加超过O. 05C/m2。曲线图400和450示出，可以调节AlInGaN压缩层110的铟组分，从而得到合适的压电极化强度PPE。该压电极化强度Ppe可以被选择为，其略微大于自发极化强度PSP。图5示出根据本公开的第二示例常关型氮化镓基半导体器件500。如图5所示，半导体器件500包括衬底502、缓冲层504和弛豫层506。这些部件502-506可以与图I中对应的部件1本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：J·拉达尼，
申请(专利权)人：美国国家半导体公司，
类型：发明
国别省市：