一种系统提示停片规则并能进行批处理的方法技术方案

本发明专利技术提供一种系统提示停片规则并能进行批处理的方法，包括以下步骤：对生产线上所有工艺按停片规则是否相同进行分类；按不同类别分别定义了参考工艺和可参考工艺，对每一参考工艺定义了停片规则；对GUI中程序进行优化，使得汇总后的所有工艺停片规则导入系统后，系统能：(1)提供报表，给出每一批次未来可停片和不可停片的提示；(2)在GUI中做停片时能给出提示；(3)GUI中可对在线批次做批处理停片。通过以上方法能显著提高停片处理效率，提升产能，降低成本，同时降低出错风险。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及集成电路生产领域，尤其涉及集成电路生产过程中的停片步骤。
技术介绍
集成电路生产线上的所有产品在厂房和设备动力检修前都要从GUI (图形用户界面)系统中流片状态进入到合适的停片步骤。所有在线批次产品在动力检修长时间停片前由人工确认停片位置后在⑶I系统中做future hold，其过程如下(1)由数据库系统制订停片规则，每年检查是否有更新；(2)计算机对在线批次共同的可停片位置归类整理，并在这些步骤对一批圆片做future hold ;对不能归类的按停片规则做future hold ;拉取所有批次停片清单给数据库系统或研发工程师确认；(3)数据库系统或研发工程师确认停片是否合法；(4)计算机更正非法停片；(5)在以上第3、4步骤间反复进行，直到所有在线批次停片都没有问题为止。 然而以上过程存在如下问题(I)现有⑶I系统按工艺大类的共同步骤停片，停片位置不精确，损失产能；(2)由于工艺品种多、在线批量大，人工确认数据量大，停片时不能批处理作业，因此耗费时间长，且易出错；(3)⑶I系统中做future hold时因工艺大类的共同可停片步骤与子工艺的实际可停片实际步骤有区别，因此系统提示与数据库规则有冲突；(4)由于future hold停片位置不够精确，存在圆片在系统中停片后圆片还没有到、设备已关机的情况，将会造成非法停片，存在圆片报废和低良率风险。为了解决上述问题，很有必要提供一种改进的停片处理步骤。
技术实现思路
针对现有技术的不足，本专利技术的目的是提供。本专利技术的目的通过提供以下技术方案实现，包括以下步骤对生产线上所有工艺按停片规则是否相同进行分类；按不同类别分别定义了参考工艺和可参考工艺，对每一参考工艺定义了停片规则；对6瓜中程序进行优化，使得汇总后的所有工艺停片规则导入系统后，系统能(I)提供报表，给出每一批次未来可停片和不可停片的提示；(2)在GUI中做停片时能给出提示；(3)GUI中可对在线批次做批处理停片。与现有技术相比，本专利技术的有益效果是通过以上方法能显著提高停片处理效率，提升产能，降低成本，同时降低出错风险。具体实施例方式以下用优选实施方式来说明本专利技术的实现过程和本质内容所在。本专利技术通过以下步骤来实现系统提示停片规则并能进行批处理对生产线上所有工艺按停片规则是否相同进行分类；按不同类别分别定义了参考工艺和可参考工艺，对每一参考工艺定义了停片规则；对6瓜中程序进行优化，使得汇总后的所有工艺停片规则导入系统后，系统能(1)提供报表，给出每一批次未来可停片和不可停片的提示；(2)在GUI中做停片时能给出提示；(3)GUI中可对在线批次做批处理停片。其中，系统提供报表中除了给出每一批次未来可停片和不可停片的提示以外，还可以给出每一批次到达每一步骤的预测时间，从而方便操作人员控制整个生产流程。本专利技术通过以上方法能显著提高停片处理效率，提升产能，降低成本，同时降低出错风险。 尽管为示例目的，已经公开了本专利技术的优选实施方式，但是本领域的普通技术人员将意识到，在不脱离由所附的权利要求书公开的本专利技术的范围和精神的情况下，各种改进、增加以及取代是可能的。权利要求1.，包括以下步骤对生产线上所有工艺按停片规则是否相同进行分类；按不同类别分别定义了参考工艺和可参考工艺，对每一参考工艺定义了停片规则；对6瓜中程序进行优化，使得汇总后的所有工艺停片规则导入系统后，系统能(I)提供报表，给出每一批次未来可停片和不可停片的提示；(2)在GUI中做停片时能给出提示；(3)GUI中可对在线批次做批处理停片。2.如权利要求I所述的系统提示停片规则并能进行批处理的方法，其特征在于报表还可以给出每一批次到达每一步骤的预测时间。全文摘要本专利技术提供，包括以下步骤对生产线上所有工艺按停片规则是否相同进行分类；按不同类别分别定义了参考工艺和可参考工艺，对每一参考工艺定义了停片规则；对GUI中程序进行优化，使得汇总后的所有工艺停片规则导入系统后，系统能(1)提供报表，给出每一批次未来可停片和不可停片的提示；(2)在GUI中做停片时能给出提示；(3)GUI中可对在线批次做批处理停片。通过以上方法能显著提高停片处理效率，提升产能，降低成本，同时降低出错风险。文档编号H01L21/02GK102810457SQ20111014360公开日2012年12月5日 申请日期2011年5月31日 优先权日2011年5月31日专利技术者周俊芳, 周兰珠, 张伟飞, 兰云, 马如军, 胡振华, 严晓芬 申请人:无锡华润上华半导体有限公司, 无锡华润上华科技有限公司本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种系统提示停片规则并能进行批处理的方法，包括以下步骤：对生产线上所有工艺按停片规则是否相同进行分类；按不同类别分别定义了参考工艺和可参考工艺，对每一参考工艺定义了停片规则；对GUI中程序进行优化，使得汇总后的所有工艺停片规则导入系统后，系统能：(1)提供报表，给出每一批次未来可停片和不可停片的提示；(2)在GUI中做停片时能给出提示；(3)GUI中可对在线批次做批处理停片。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：周俊芳，周兰珠，张伟飞，兰云，马如军，胡振华，严晓芬，
申请(专利权)人：无锡华润上华半导体有限公司，无锡华润上华科技有限公司，
类型：发明
国别省市：