显示装置和显示装置的制造方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种显示装置和显示装置的制造方法。在可动快门方式的显示器中，使用低残留应力的稳定的非晶硅膜形成可动快门。显示装置中，具有包括第一基板和第二基板的显示面板，上述显示面板具有多个像素，上述各像素具有包含非晶硅的可动快门，和驱动上述可动快门的驱动电路，上述可动快门的上述非晶硅由至少2个非晶硅膜构成，当令上述至少2个非晶硅膜中彼此邻接的2个非晶硅膜为第一非晶硅膜和层叠在上述第一非晶硅膜上的第二非晶硅膜时，上述第一非晶硅膜与上述第二非晶硅膜的特性值不同。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及，特别涉及对可动快门的位置进行电控制来显示图像的显示装置的结构及其制造方法。
技术介绍
近年来，人们提出了一种对可动快门的位置进行电控制来显示图像的显示器(以下称为可动快门方式的显示器)。可动快门方式的显示器例如在专利文献I (日本特开2008-197668号公报)中已有公开。 以往提出的可动快门方式的显示器的像素中，可动快门配置在一对电极之间，通过施加在一对电极上的电压，对可动快门的位置进行电控制以显示图像。例如,在一对电极中一个电极的电压是GND电压,一对电极中另一个电极的电压是Vdd电压的情况下,可动快门向一对电极中另一个电极一侧移动,在一对电极中一个电极的电压是Vdd电压,一对电极中另一个电极的电压是GND电压的情况下，可动快门向一对电极中一个电极一侧高速移动。这样，例如在可动快门向一对电极中另一个电极一侧移动的情况下，背光源的光透过，像素成为发光状态，在可动快门向一对电极中一个电极一侧移动的情况下，背光源的光不透过，像素成为不发光状态。由此，能够像液晶显示面板、等离子体显示面板一样显示图像。以往提出的可动快门方式的显示器中，因为需要对可动快门输入电信号，所以可动快门包含掺杂有杂质的非晶硅膜(以下称为n+a-Si膜)。在可动快门包含n+a-Si膜的情况下，残余应力强的n+a-Si膜导致可动快门的可动部变形而不再能够驱动，所以可动快门需要对于拉伸应力和压缩应力都为低残余应力的n+a-Si 膜。此外，压缩应力(MPa)为“O”附近的n+a-Si膜，是表面电阻值(Sheet Resistance,表面电阻率)为低电阻的情况与表面电阻值为高电阻的情况同时存在的不稳定的膜。另外，可动快门也起到从基板一侧传递电信号的接触层的作用，但当接触层由表面电阻值为高电阻的n+a-Si膜构成时，为了使可动部动作而需要高电压，所以该接触层优选表面电阻值为低电阻的n+a-Si膜。本专利技术是为了解决上述现有技术的问题点的而提出的，本专利技术的目的在于提供一种在可动快门方式的显示器中，能够通过减小残余内部应力，来使用低残余应力的稳定的非晶硅膜形成可动快门的技术。本专利技术的上述以及其他目的和新的特征，将通过说明书的记载和附图进行说明。
技术实现思路
本申请公开的专利技术中，对代表性的例子的概要进行简单说明，如下上述。本专利技术提供一种显示装置，具有包括第一基板和第二基板的显示面板，上述显示面板具有多个像素，上述各像素具有包含非晶硅的可动快门，和驱动上述可动快门的驱动电路，上述可动快门的上述非晶硅由至少2个非晶硅膜构成，当令上述至少2个非晶硅膜中彼此邻接的2个非晶硅膜为第一非晶硅膜和层叠在上述第一非晶硅膜上的第二非晶硅膜时，上述第一非晶硅膜与上述第二非晶硅膜的特性值不同。此外，本专利技术的显示装置中，上述可动快门形成在上述第二基板上，上述可动快门的上述非晶硅，由从上述第二基板一侧起的上述第一非晶硅膜和层叠在上述第一非晶硅膜上的上述第二非晶硅膜这2个非晶硅膜构成，上述第一非晶硅膜的折射率比上述第二非晶硅膜的折射率高。 此外，本专利技术的显示装置中，上述可动快门形成在上述第二基板上，上述可动快门的上述非晶硅，由从上述第二基板一侧起的上述第一非晶硅膜和层叠在上述第一非晶硅膜上的上述第二非晶硅膜这2个非晶硅膜构成，上述第一非晶硅膜的折射率比上述第二非晶硅膜的折射率低。此外，本专利技术的显示装置中，上述可动快门形成在上述第二基板上，上述可动快门的上述非晶硅，由从上述第二基板一侧起的上述第一非晶硅膜和层叠在上述第一非晶硅膜上层叠的上述第二非晶硅膜这2个非晶硅膜构成，上述第一非晶硅膜的表面电阻值比上述第二非晶娃膜的表面电阻值低。此外，本专利技术的显示装置中，上述可动快门形成在上述第二基板上，上述可动快门的上述非晶硅，由从上述第二基板一侧起的上述第一非晶硅膜和层叠在上述第一非晶硅膜上层叠的上述第二非晶硅膜这2个非晶硅膜构成，上述第一非晶硅膜的表面电阻值比上述第二非晶硅膜的表面电阻值高。此外，本专利技术的显示装置中，上述可动快门形成在上述第二基板上，上述可动快门的上述非晶硅，由从上述第二基板一侧起的上述第一非晶硅膜、层叠在上述第一非晶硅膜上的上述第二非晶硅膜和层叠在上述第二非晶硅膜上的第三非晶硅膜这3个非晶硅膜构成，上述第一和第三非晶硅膜的折射率比上述第二非晶硅膜的折射率高。此外，本专利技术的显示装置中，上述可动快门形成在上述第二基板上，上述可动快门的上述非晶硅，由从上述第二基板一侧起的上述第一非晶硅膜、层叠在上述第一非晶硅膜上的上述第二非晶硅膜和层叠在上述第二非晶硅膜上的第三非晶硅膜这3个非晶硅膜构成，上述第一和第三非晶硅膜的折射率比上述第二非晶硅膜的折射率低。此外，本专利技术的显示装置中，上述可动快门形成在上述第二基板上，上述可动快门的上述非晶硅，由从上述第二基板一侧起的上述第一非晶硅膜、层叠在上述第一非晶硅膜上的上述第二非晶硅膜和层叠在上述第二非晶硅膜上的第三非晶硅膜这3个非晶硅膜构成，上述第一和第三非晶硅膜的表面电阻值比上述第二非晶硅膜的表面电阻值低。此外，本专利技术的显示装置中，上述可动快门形成在上述第二基板上，上述可动快门的上述非晶硅，由从上述第二基板一侧起的上述第一非晶硅膜、层叠在上述第一非晶硅膜上的上述第二非晶硅膜和层叠在上述第二非晶硅膜上的第三非晶硅膜这3个非晶硅膜构成，上述第一和第三非晶硅膜的表面电阻值比上述第二非晶硅膜的表面电阻值高。此外，本专利技术的显示装置中，上述可动快门具有形成在与上述第一基板相对的一侧的面上的金属层。此外，本专利技术的显示装置中，上述可动快门包括遮蔽部；与上述遮蔽部连接的弹簧部；和与上述弹簧部连接的锚固部，上述锚固部固定在上述第二基板上，支承上述遮蔽部和上述弹簧部。本专利技术还提供一种显示装置的制造方法，上述显示装置具有包括第一基板和第二基板的显示面板，上述显示面板具有多个像素，上述各像素具有包含非晶硅的可动快门，和驱动上述可动快门的驱动电路，上述显示装置的制造方法包括在上述第一基板上形成规定形状的第一抗蚀剂膜的工序I ;在上述工序I中形成的第一抗蚀剂膜上，形成至少2个非晶硅膜的工序2 ;在上述至少2个非晶硅膜上形成规定形状的第二抗蚀剂膜的工序3 ;以上述第二抗蚀剂膜为掩模，对上述至少2个非晶硅膜进行蚀刻的工序4 ;和除去上述工序I中形成的上述第一抗蚀剂膜的工序5，在上述工序2中形成的上述至少2个非晶硅膜中，当令彼此邻接的2个非晶硅膜为第一非晶硅膜和层叠在上述第一非晶硅膜上的第二非晶硅膜时，上述第一非晶硅膜与上述第二非晶硅膜在不同的成膜生成条件下形成。此外，本专利技术的显示装置的制造方法中，上述工序2包括在上述工序I中形成的上述第一抗蚀剂膜上形成上述第一非晶硅膜的工序21 ;在与上述工序21不同的成膜生成条件下形成上述第二非晶硅膜的工序22 ;和在与上述工序22不同的成膜生成条件下形成 第三非晶硅膜的工序23。此外，本专利技术的显示装置的制造方法中，还包括在上述工序2中形成的非晶硅膜上形成金属膜的工序，上述工序3中，在形成于上述非晶硅膜上的上述金属膜上形成第二抗蚀剂膜，上述工序4，是以上述第二抗蚀剂膜为掩模，对上述工序2中形成的上述非晶硅膜和上述金属膜进行蚀刻的工序。附图说明图I是表示作为本专利技术的前提的显示装置的显示面板的概要结构的图。图2是用于本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种显示装置，其特征在于：具有包括第一基板和第二基板的显示面板，所述显示面板具有多个像素，所述各像素具有包含非晶硅的可动快门，和驱动所述可动快门的驱动电路，所述可动快门的所述非晶硅由至少2个非晶硅膜构成，当令所述至少2个非晶硅膜中彼此邻接的2个非晶硅膜为第一非晶硅膜和层叠在所述第一非晶硅膜上的第二非晶硅膜时，所述第一非晶硅膜与所述第二非晶硅膜的特性值不同。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：新田秀和，大仓理，海东拓生，松本克巳，
申请(专利权)人：株式会社日立显示器，
类型：发明
国别省市：