裸片供给装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种裸片供给装置，其使安装于顶起机构的筒安装部上的顶起筒的更换作业简单化。构成为通过夹紧机构(49)使顶起筒(27)可更换地卡合保持于顶起机构(18)的筒安装部(55)。在顶起筒(27)的下部朝下设有真空压导入管的连接口部，该真空压导入管在进行顶起动作时向顶起筒(27)的上端面导入用于吸附切割片的真空压，并且，在顶起机构(18)的筒安装部(55)设有与顶起筒(27)的真空压导入管的连接口部连接的真空压供给口部(57)，在使顶起筒(27)卡合保持于该筒安装部(55)时，通过使顶起筒(27)的真空压导入管的连接口部与真空压供给口部(57)连接，来对该顶起筒(27)的卡合位置进行定位。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种裸片供给装置，其利用顶起筒将粘贴有切割成棋盘格状的晶圆的可伸缩的切割片从该切割片的下方顶起，利用吸附嘴吸附从该切割片上的晶圆分割出的裸片。
技术介绍
现有的裸片供给装置如专利文献I (日本特开2010-129949号公报)所记载，在利用吸附嘴吸附从粘贴有切割成棋盘格状的晶圆的可伸缩的切割片上的从晶圆分割出的裸片并拾取时，利用顶起筒将切割片中的粘贴有要吸附的裸片的粘贴部分从该粘贴部分的正下方顶起，使该裸片的粘贴部分从切割片局部地剥离，同时，利用吸附嘴吸附该裸片并从切割片拾取。进而，在专利文献I中，为了能够根据切割片上的裸片的尺寸等选择顶起筒，在顶起机构上以90度间距呈放射状安装四种顶起筒，使四种顶起筒中与切割片上的裸片的尺寸等相符的顶起筒旋转至朝上的位置，利用该顶起筒顶起切割片。专利文献I :日本特开2010-129949号公报但是，在上述专利文献I的构成中，从安装于顶起机构的4处的筒安装部的四种顶起筒中，选择与切割片上的裸片的尺寸等相符合的顶起筒而使用，但在四种顶起筒中没有与裸片的尺寸等相符合的顶起筒的情况下，需要拆下安装于顶起机构的4处的筒安装部的某一个顶起筒而更换为与裸片的尺寸等相符合的顶起筒。但是，在上述专利文献I的构成中，由于顶起筒要通过螺栓安装于顶起机构的筒安装部，因此，顶起筒的更换作业成为费时费工的作业。
技术实现思路
于是，本技术想要解决的课题是提供一种裸片供给装置，其能够使安装于顶起机构的筒安装部的顶起筒的更换作业简单化。为了解决上述课题，第一方面的技术提供一种裸片供给装置，其具备使粘贴有切割成棋盘格状的晶圆的可伸缩的切割片铺开的晶圆托盘、使配置于所述切割片的下方的顶起筒上下动作的顶起机构、吸附从所述切割片上的晶圆分割出的裸片的吸附嘴，在由所述吸附嘴吸附所述切割片上的裸片并拾取时，利用所述顶起筒将所述切割片中的粘贴有要吸附的裸片的粘贴部分从该粘贴部分的正下方顶起，而使该裸片的粘贴部分从切割片局部地剥离，同时，利用所述吸附嘴吸附该裸片并从所述切割片拾取，其中，所述顶起筒为通过卡合单元以能够与其他顶起筒更换的方式卡合保持于所述顶起机构的筒安装部的构成，在所述顶起筒的下部朝下设有真空压导入管的连接口部，所述真空压导入管在进行顶起动作时向所述顶起筒的上端面导入用于吸附所述切割片的真空压，并且，在所述顶起机构的筒安装部设有与所述顶起筒的真空压导入管的连接口部连接的真空压供给口部，在使所述顶起筒卡合保持于该筒安装部时，通过使该顶起筒的真空压导入管的连接口部与所述真空压供给口部连接，来对该顶起筒的卡合位置进行定位。在本技术中，由于通过卡合单元将顶起筒卡合保持于顶起机构的筒安装部，因此，能够简单地从顶起机构的筒安装部拆下顶起筒，并且，在使其他顶起筒卡合保持于顶起机构的筒安装部时，通过使该顶起筒的真空压导入管的连接口部与筒安装部的真空压供给口部连接，能够简单地对该顶起筒的卡合位置进行定位，使该顶起筒简单地卡合保持于筒安装部，并能够简单地进行顶起筒的更换作业。在该情况下，优选的是，如第二方面，顶起筒由基座部件和筒主体构成，所述筒主体以被施力单元向上方施力的状态能够上下移动地组装于该基座部件上，所述卡合单元设于所述基座部件，并且，在所述筒主体设有止动件，该止动件用于在所述顶起筒进行顶起动作时使该筒主体的上升停止在该筒主体的上端面与所述切割片接触的位置，所述顶起机构在所述顶起筒进行顶起动作时所述筒主体的止动件与固定壁抵接而使该筒主体的上升停止后，也使所述筒安装部上升规定量，由此使设于该筒主体内的顶起销从该筒主体的上端面的孔向上方突出，顶起所述切割片。 在该构成中，能够使顶起筒的基座部件卡合保持于顶起机构的筒安装部，并能够使被施力单元向上方施力的筒主体能够上下移动地支承于该基座部件上。由此，在顶起筒进行顶起动作时，能够进行如下的顶起销的顶起动作该筒主体的上升停止在筒主体的上端面与切割片接触的位置后，也使筒安装部上升，由此使筒主体内的顶起销从该筒主体的上端面的孔向上方突出并顶起切割片。本技术也可以在顶起筒设置多处所述卡合单元，但如第三方面，优选为如下构成在顶起筒上仅设置一处所述卡合单元，在该卡合单元设有装卸操作部，该装卸操作部切换卡合位置和卡合解除位置。据此，作业者通过一次操作就能够更换顶起筒。如以上说明的第一 第三方面的技术，可以将设置于顶起机构的筒安装部的数量仅设为I个，或者，如第四方面，也可以为如下构成在顶起机构设有多个筒安装部，裸片供给装置具备筒移动机构，该筒移动机构使述多个筒安装部的位置移动，使得卡合保持于所述多个筒安装部的多个顶起筒中的与切割片上的裸片的尺寸或种类对应的顶起筒位于顶起动作位置。据此，在卡合保持于顶起机构的多个筒安装部的多个顶起筒中，若存在与裸片的尺寸等对应的顶起筒，则无需更换顶起筒，因此，能够减少顶起筒的更换作业的次数。附图说明图I是本技术一实施例的裸片供给装置的立体图图2是设置有裸片供给装置的零件安装机的立体图；图3是顶起机构部分的立体图；图4(a)、(b)是直径不同的两种顶起筒的放大立体图；图5是从顶起机构的筒安装部拆下顶起筒表示的放大立体图；图6(a)是在顶起机构的筒安装部设置有顶起筒且夹紧杆位于非夹紧位置的状态的放大立体图，(b)是该图的正视图；图7 (a)是在顶起机构的筒安装部设置有顶起筒且夹紧杆位于夹紧位置的状态的放大立体图，(b)是该图的正视图； 图8是夹紧机构的分解图。标号说明11…裸片供给装置、12…料仓保持部、13…托板拉出台、14…托板拉出机构、15…辅助机械手、15a…吸附嘴、16…穿梭机构、17…翻转机构、18…顶起机构、19*“ NG (不良)传送带、20…嘴更换器、21…裸片、22…晶圆托板、23…晶圆安装板、24…相机、25…零件安装机、26…穿梭嘴、27…顶起筒、28…托板主体、32…控制装置、37…固定壁、41…基座部件、42…滑动轴、43…筒主体、45…止动件、47…真空压导入管、49…夹紧机构(卡合单元)、50…夹紧轴、51…卡合销、52…夹紧杆(拆装操作部)、53…碟形弹簧垫圈(施力单元)、55…筒安装部、56…筒旋转机构(筒移动机构)、57…真空压供给口部、58…定位销、60…夹紧孔、61…退让槽具体实施方式下面，对将用于实施本技术的方式具体化的一实施例进行说明。如图I所示，本实施例的裸片供给装置11为具备料仓保持部12(托盘塔)、托板拉出台13、托板拉出机构14、辅助机械手15、穿梭机构16、翻转机构17、顶起机构18(参照图3)、NG传送带19、嘴更换器20等的构成。如图2所示，该裸片供给装置11设置为将托板拉出台13插入零件安装机25的送料器设置用槽的状态。在能够上下移动地收纳于裸片供给装置11的料仓保持部12内的料仓中，能够分多段混合搭载载置有裸片21的晶圆托板22、和载置有托盘零件的托盘托板(未图示)。晶圆托板22成为如下构成将粘贴有切割成棋盘格状的晶圆(多个裸片21)的可伸缩的切割片(未图示)在展开的状态下安装于具有圆形的开口部的晶圆安装板23，利用螺旋夹等将该晶圆安装板23安装于托板主体28上。另外，切割片的展开可以通过任意方法进行，例如，将切割片从下方以利用圆形环顶本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种裸片供给装置，其具备使粘贴有切割成棋盘格状的晶圆的可伸缩的切割片铺开的晶圆托盘、使配置于所述切割片的下方的顶起筒上下动作的顶起机构、吸附从所述切割片上的晶圆分割出的裸片的吸附嘴，在由所述吸附嘴吸附所述切割片上的裸片并拾取时，利用所述顶起筒将所述切割片中的粘贴有要吸附的裸片的粘贴部分从该粘贴部分的正下方顶起，而使该裸片的粘贴部分从切割片局部地剥离，同时，利用所述吸附嘴吸附该裸片并从所述切割片拾取，其特征在于，所述顶起筒通过卡合单元以能够与其他顶起筒更换的方式卡合保持于所述顶起机构的筒安装部，在所述顶起筒的下部设有真空压导入管的连接口部，所述真空压导入管在进行顶起动作时向所述顶起筒的上端面导入用于吸附所述切割片的真空压，在所述顶起机构的筒安装部设有与所述顶起筒的真空压导入管的连接口部连接的真空压供给口部，在使所述顶起筒卡合保持于该筒安装部时，通过使该顶起筒的真空压导入管的连接口部与所述真空压供给口部连接，来对该顶起筒的卡合位置进行定位。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：水野贵幸，水谷大辅，吉野朋治，村井正树，
申请(专利权)人：富士机械制造株式会社，
类型：实用新型
国别省市：