本发明专利技术涉及一种夹持装置，公开了一种盘状物夹持装置，该夹持装置包括卡盘、所述卡盘盘面上放置盘状物，所述卡盘盘面的周向上设有多个机械式夹持元件，所述卡盘内部设有驱动机构，所述驱动机构与多个所述夹持元件连接，用于驱动夹持元件进行自旋转运动进而夹持或取放盘状物，多个夹持元件所构成的有效夹持面与盘状物的形状相匹配。本发明专利技术采用驱动机构驱动夹持元件进行自旋转并对盘状物进行夹持和取放，该结构简单，在夹持盘状物的过程中不会对盘状物产生污染；进一步地，夹持头与卡盘盘面的夹角小于90°的一侧，用于夹持盘状物，避免在夹持过程中盘状物掉落而受到损坏，其与卡盘盘面的夹角大于或等于90°的另一侧，用于取放盘状物。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种夹持装置，特别是涉及一种盘状物夹持装置。
技术介绍
目前夹持晶片等盘状物的装置一般采用销夹盘和伯努利吸盘。现有利用伯努利原理将盘状物固定的卡盘。利用伯努利原理在卡盘和盘状物之间形成一层气垫，利用气垫式夹持元件来夹持盘状物，通过分布在盘状物圆周的气垫式夹持元件来实现径向定位。这种结构很好的减少了盘状物与卡盘的接触，从而减少了对盘状物的损坏，但是其结构复杂，不易加工，且由于气体从轴中间通过，很容易将管路中产生的颗粒带到盘状物表面而污染盘状物
技术实现思路
(一)要解决的技术问题本专利技术要解决的技术问题是如何提供一种结构简单、不会对盘状物造成污染的盘状物夹持装置。(二)技术方案为了解决上述技术问题，本专利技术提供的一种盘状物夹持装置，包括卡盘，所述卡盘盘面上放置盘状物，所述卡盘盘面的周向上设有多个机械式夹持元件，所述卡盘内部设有驱动机构，所述驱动机构与多个所述夹持元件连接，用于驱动夹持元件进行自旋转运动进而夹持或取放盘状物，多个所述夹持元件所构成的有效夹持面与盘状物的形状相匹配。其中，每个所述夹持元件分别包括夹持头和支撑筒体，所述夹持头固定在所述支撑筒体的上端，所述支撑筒体的下端安装在所述卡盘盘面上，所述夹持头和支撑筒体由所述驱动机构驱动一起进行自旋转运动。其中，所述夹持头的一侧与所述卡盘盘面之间的夹角小于90°，用于夹持盘状物；其另一侧与所述卡盘盘面之间的夹角大于或等于90°，用于取放盘状物。其中，所述夹持头与所述卡盘盘面小于90°的夹角范围为10° 10°。其中，多个所述夹持元件由所述驱动机构驱动同时进行自旋转运动。其中，所述驱动机构包括传动单元和电机，所述电机的输出轴通过传动单元与多个所述夹持元件连接，用于驱动夹持元件进行自旋转运动进而夹持或取放盘状物。其中，所述夹持元件至少为三个。其中，所述夹持元件为四、五、六、七或八个。(三)有益效果上述技术方案所提供的一种盘状物夹持装置，采用驱动机构驱动机械式夹持元件进行自旋转运动并对盘状物进行夹持和取放，该结构简单，在夹持盘状物的过程中不会对盘状物产生污染；进一步地，采用具有夹持头的夹持元件，增大了盘状物夹持力，易于夹持盘状物；更进一步地，夹持头与卡盘盘面的夹角小于90°的一侧，用于夹持盘状物，避免在夹持过程中盘状物掉落而受到损坏，其与卡盘盘面的夹角大于或等于90°的另一侧，用于取放盘状物。附图说明图I是本专利技术一种盘状物夹持装置的结构示意图；图2是本专利技术的夹持元件的轴测图；图3是本专利技术打开状态下的局部示意图；图4是本专利技术夹持状态下的局部示意图。其中，I、卡盘；2、夹持元件；21、夹持头；22、支撑筒体；3、盘状物。具体实施方式 下面结合附图和实施例，对本专利技术的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本专利技术，但不用来限制本专利技术的范围。如图I所示，本专利技术的一种盘状物夹持装置，包括卡盘I，该卡盘盘面上放置盘状物3，该盘状物3代表各类盘状晶片，如半导体晶片、光盘或是平板显示器，卡盘盘面的周向上设有多个机械式夹持元件2，卡盘I内部设有驱动机构，该驱动机构与多个夹持元件2连接，用于驱动夹持元件2进行自旋转运动进而夹持或取放盘状物3,多个夹持元件2所构成的有效夹持面与盘状物3的形状相匹配。采用驱动机构驱动机械式夹持元件2进行自旋转运动并对盘状物3进行夹持和取放，该结构简单，在夹持盘状物的过程中不会对盘状物产生污染。夹持元件2设置为至少三个，以确保盘状物夹持的稳固，优选为四、五、六、七或八个。驱动机构包括传动单元和电机，电机的输出轴通过传动单元与多个夹持元件2连接，用于驱动夹持元件2进行自旋转运动进而夹持或取放盘状物3。其中，传动单元可为齿轮组合件或凸轮传动组合件或其它本领域技术人员不用发挥创造性就能拿来替代的传动机构。如图2所示，每个夹持元件2分别包括夹持头21和支撑筒体22，该夹持头21固定在支撑筒体22的上端，驱动机构通过传动单元与支撑筒体22的下端固定，夹持头21和支撑筒体22在驱动机构的控制下同时进行动作；支撑筒体22的下端安装在卡盘I盘面上，，夹持头21和支撑筒体22由驱动机构驱动一起进行自旋转运动，多个夹持元件2的夹持头21所构成的有效夹持面与盘状物3的形状相匹配。夹持头21在驱动机构的驱动下夹持盘状物3，采用具有夹持头21的夹持元件4，增大了盘状物夹持力，易于夹持盘状物3。夹持头21的一侧与卡盘I盘面之间的夹角小于90°，用于夹持盘状物3，避免在夹持过程中盘状物3掉落而受到损坏，优选为10° 10°，该角度可对尺寸范围较广的盘状物3进行夹持并能保证夹持时不易脱落，为了方便加工，该角度最佳为30°、45°和60° ;夹持头21的另一侧与卡盘I盘面之间的夹角大于或等于90°，用于取放盘状物，优选为大于90°，以确保无阻力取放盘状物。在驱动机构的驱动下，多个夹持元件2可同时进行自旋转运动，当夹持头21与卡盘I盘面之间的夹角小于90°的一侧与盘状物3接触时，此时多个夹持元件的夹持头21所构成的有效夹持面的内径与盘状物3的直径相匹配，夹持元件2处于夹持状态，如图4，夹持头21托住盘状物3并可移动盘状物3的位置；当夹持头21与卡盘I盘面之间的夹角大于或等于90°的一侧与盘状物3接触时，此时多个夹持元件的夹持头21所构成的有效夹持面的内径大于盘状物3的直径，夹持元件2处于打开状态，如图3，可对盘状物进行取放盘状物。上述技术方案所提供的一种盘状物夹持装置的主要效果为I、采用驱动机构驱动机械式夹持元件进行自旋转运动并对盘状物进行夹持和取放，该结构简单，在夹持盘状物的过程中不会对盘状物产生污染；2、采用具有夹持头的夹持元件，增大了盘状物夹持力，易于夹持盘状物；3、夹持头与卡盘盘面的夹角小于90°的一侧，用于夹持盘状物，避免在夹持过程中盘状物掉落而受到损坏，其与卡盘盘面的夹角大于或等于90°的另一侧，用于取放盘状物。 以上所述仅是本专利技术的优选实施方式，应当指出，对于本
的普通技术人员来说，在不脱离本专利技术技术原理的前提下，还可以做出若干改进和替换，这些改进和替换也应视为本专利技术的保护范围。权利要求1.一种盘状物夹持装置，其特征在于，包括卡盘，所述卡盘盘面上放置盘状物，所述卡盘盘面的周向上设有多个机械式夹持元件，所述卡盘内部设有驱动机构，所述驱动机构与多个所述夹持元件连接，用于驱动所述夹持元件进行自旋转运动进而夹持或取放盘状物，多个所述夹持元件所构成的有效夹持面与盘状物的形状相匹配。2.如权利要求I所述的盘状物夹持装置，其特征在于，每个所述夹持元件分别包括夹持头和支撑筒体，所述夹持头固定在所述支撑筒体的上端，所述支撑筒体的下端安装在所述卡盘盘面上，所述夹持头和支撑筒体由所述驱动机构驱动一起进行自旋转运动。3.如权利要求2所述的盘状物夹持装置，其特征在于，所述夹持头的一侧与所述卡盘盘面之间的夹角小于90°，用于夹持盘状物；其另一侧与所述卡盘盘面之间的夹角大于或等于90°，用于取放盘状物。4.如权利要求3所述的盘状物夹持装置，其特征在于，所述夹持头与所述卡盘盘面小于90°的夹角范围为10° 80°。5.如权利要求I所述的盘状物夹持装置，其特征在于，多个所述夹持元件由所述驱动机构驱动同时进行自旋转运动。6.如权利要求I所述的盘状物夹持装置，其特征在于，所述驱本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种盘状物夹持装置，其特征在于，包括卡盘，所述卡盘盘面上放置盘状物，所述卡盘盘面的周向上设有多个机械式夹持元件，所述卡盘内部设有驱动机构，所述驱动机构与多个所述夹持元件连接，用于驱动所述夹持元件进行自旋转运动进而夹持或取放盘状物，多个所述夹持元件所构成的有效夹持面与盘状物的形状相匹配。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：高浩，张豹，
申请(专利权)人：北京七星华创电子股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。