【技术实现步骤摘要】
本技术涉及カ敏传感器领域，尤其是涉及到一种カ敏传感器结构。(ニ)
技术介绍
力敏传感器，即探测力的传感器，其种类甚多、传统的測量方法是利用弾性元件的形变和位移来表示，但它的体积大、笨重、输出非线性。随着微电子技术的发展，利用半导体材料的压阻效应和良好的弾性，研制出半导体力敏传感器，主要有硅压阻式和电容式两种，它们具有体积小、重量轻、灵敏度高等优点，因此半导体力敏传感器得到广泛应用。
技术实现思路
本技术提供一种カ敏传感器结构，该结构利用硅的压阻效应，利用杠杆的原 理实现力的放大，灵敏度高。本技术所采取的技术方案为，ー种力敏传感器结构，包括固定端、柔性支撑杆、力探測端、检测电路，其中，柔性支撑杆的一端固定于固定端，另一端与力探測端相连接；柔性支撑杆的结构为柔性的杆上镀有硅压阻材料；检测电路与柔性支撑杆上的硅压阻材料相连接。本技术的有益效果是利用半导体硅材料大的压阻效应，通过杠杆实现カ的放大，具有更高的灵敏度。附图说明图I为本技术的结构示意图。图中I、固定端，2、柔性支撑杆，3、カ探测端，4、检测电路具体实施方式以下结合附图实施例对本技术作进ー步详细描述。图I为本技术的结构示意图，固定端I、柔性支撑杆2、力探測端3、检测电路4，其中，柔性支撑杆2的一端固定于固定端1，另一端与力探測端3相连接；柔性支撑杆2的结构为为柔性的杆上镀有硅压阻材料；检测电路4与柔性支撑杆2上的硅压阻材料相连接。当力作用于カ探測端3时，柔性支撑杆2发生弯曲，柔性支撑杆2上面的硅压阻材料感受到カ的变化，通过检测电路4测出电阻的变化，进而探知力的大小。本技术采利用半导体硅材料大的压阻效应，通过...
【技术保护点】
一种力敏传感器结构，包括固定端、柔性支撑杆、力探测端、检测电路，其特征在于：所述的柔性支撑杆的一端固定于固定端，另一端与力探测端相连接；所述的柔性支撑杆的结构为柔性的杆上镀有硅压阻材料；所述的检测电路与柔性支撑杆上的硅压阻材料相连接。
【技术特征摘要】
1.ー种カ敏传感器结构，包括固定端、柔性支撑杆、力探測端、检测电路，其特征在于所述的柔性支撑杆的一端固定于固定端，另一...
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