电容型压力传感器及其制备方法技术

本发明专利技术提供了一种电容型压力传感器及其制备方法。所述电容型压力传感器包括：第一基底和第二基底；设于第一基底上的第一电极层和设于第二基底上的第二电极层，第一电极层和第二电极层位于第一基底和第二基底之间；设于第一电极层和第二电极层之间的介电层；第一电极层包括多个设于第一基底和介电层之间的凸起。所述制备方法包括：形成包括多个凸起的第一电极层；在第一电极层上形成第一基底；形成第二基底；在第二基底上布设第二电极层；在第二电极层上布设介电层；将第一电极层和第一基底的组合布设于介电层上以使第一电极层位于第一基底和介电层之间。本发明专利技术大幅度提高了电容型压力传感器的灵敏度，有效缩短了压力传感器的响应时间。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于压力传感器领域，具体地讲，涉及一种电容型压力传感器及其制备方法。
技术介绍
近年来，随着柔性电子学的发展，具有超轻、超薄、超柔性的便携式、可穿戴式柔性电子器件受到国内外研究人员的广泛关注，逐渐成为目前最重要的前沿研究领域。基于柔性聚合物基底的压力传感器能够通过电学信号实时反映应变/压力的变化，并且可以任意弯曲、拉伸、压缩或者移动并保持良好的传感性能，因此在在柔性显示、可穿戴式监测设备、植入式医疗康复监测以及仿生机器人等领域有广泛的应用。但传统的电容响应型压力传感器灵敏度较低、响应时间长，这严重限制了电容响应型柔性压力传感器的应用。因此，现有技术还有待于改进和发展。
技术实现思路
为了解决上述现有技术中存在的问题，本专利技术提供了一种高灵敏度的电容型压力传感器及其制备方法。本专利技术提供了一种电容型压力传感器，所述电容型压力传感器包括：第一基底和第二基底；设于所述第一基底上的第一电极层和设于所述第二基底上的第二电极层，所述第一电极层和所述第二电极层位于所述第一基底和所述第二基底之间；设于所述第一电极层和所述第二电极层之间的介电层；所述第一电极层包括多个设于所述第一基底和所述本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种电容型压力传感器，其特征在于，所述电容型压力传感器包括：第一基底和第二基底；设于所述第一基底上的第一电极层和设于所述第二基底上的第二电极层，所述第一电极层和所述第二电极层位于所述第一基底和所述第二基底之间；设于所述第一电极层和所述第二电极层之间的介电层；所述第一电极层包括多个设于所述第一基底和所述介电层之间的凸起。

【技术特征摘要】
1.一种电容型压力传感器，其特征在于，所述电容型压力传感器包括：第一基底和第二基底；设于所述第一基底上的第一电极层和设于所述第二基底上的第二电极层，所述第一电极层和所述第二电极层位于所述第一基底和所述第二基底之间；设于所述第一电极层和所述第二电极层之间的介电层；所述第一电极层包括多个设于所述第一基底和所述介电层之间的凸起。2.根据权利要求1所述的电容型压力传感器，其特征在于，所述凸起包括连接所述第一基底的延伸部、以及自所述延伸部延伸而朝向所述介电层的尖部；所述尖部在平行于所述第一基底方向上的横截面积小于所述延伸部在平行于所述第一基底方向上的横截面积。3.根据权利要求2所述的电容型压力传感器，其特征在于，所述延伸部相互连接。4.根据权利要求3所述的电容型压力传感器，其特征在于，所述凸起呈拱形状。...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙蓉，帅行天，朱朋莉，胡友根，
申请(专利权)人：中国科学院深圳先进技术研究院，
类型：发明
国别省市：广东;44