本发明专利技术提供了一种太阳能电池片选择性刻蚀装置及方法，所述刻蚀装置包括：传输辊；设置在所述传输辊上方的涂布辊，所述涂布辊的表面包覆有吸液层，并且所述涂布辊与传输辊之间的间距小于太阳能电池片的厚度；其中，所述传输辊旋转对所述太阳能电池片进行传输，所述吸液层受挤压后将吸附的刻蚀液涂布至所述太阳能电池片的上表面。本发明专利技术与现有工艺兼容性良好，并且能够解决溶液消耗量大、喷洒均匀性要求高、设备维护成本高等问题。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种，尤其涉及一种太阳能电池片选择性发射极刻蚀装置及方法。
技术介绍
在太阳能电池片选择性发射极的形成工艺中，需要在电池片的正面形成区域性的表面薄层电阻差异。其中，金属电极接触区域要求有较低的表面电阻，以减小电极的接触电阻，而在其他区域需要有较高的表面方阻，以提高电池片的蓝波效应。现有技术中，通常在电池片表面形成掩膜图形后，采用喷洒刻蚀液至电池表面并平稳载液的方式对电池片表面选择性刻蚀。但这种工艺存在溶液消耗量大、喷洒均匀性要求高、设备维护成本高等诸多问题，从而提高了运行成本和设备采购成本，间接降低了企业·的盈利率。在保证产能的前提下，发展一种与现有工艺兼容性好的新的刻蚀方法是大势所趋。
技术实现思路
本专利技术要解决的技术问题是提供一种，与现有工艺兼容性良好，并且能够解决溶液消耗量大、喷洒均匀性要求高、设备维护成本高等问题。为解决上述技术问题，本专利技术提供了一种太阳能电池片选择性刻蚀装置，包括传输棍；设置在所述传输辊上方的涂布辊，所述涂布辊的表面包覆有吸液层，并且所述涂布辊与传输辊之间的间距小于太阳能电池片的厚度；其中，所述传输辊旋转对所述太阳能电池片进行传输，所述吸液层受挤压后将吸附的刻蚀液涂布至所述太阳能电池片的上表面。可选地，所述涂布辊的端部安装有驱动所述涂布辊旋转的传动装置，所述涂布辊和传输棍的旋转方向相反。可选地，所述选择性刻蚀装置还包括安装在所述涂布辊端部的供液装置，向所述涂布辊表面的吸液层提供刻蚀液。可选地，所述供液装置安装在所述涂布辊两端，包括供液环，卡套在所述涂布辊的端部，所述供液环上具有供液口 ；供液管，与所述供液口相连，刻蚀液经由所述供液口从供液管流进所述供液环。可选地，所述供液环沿圆周方向划分为多个供液室。可选地，所述供液环靠近供液口的一侧设置有缓冲层，从所述供液口流入的刻蚀液填充所述缓冲层，所述缓冲层将所述刻蚀液分配至各供液室。可选地，所述供液环通过卡环卡套在所述涂布辊的端部。可选地，所述涂布辊为空心结构，包括辊壁以及由所述辊壁包围的空心储液区域，所述辊壁上具有多个出液孔，所述涂布辊的两端安装有对所述空心储液区域进行密封的密封环，所述供液装置安装在所述涂布辊的一端，包括供液管，插入所述涂布辊一端密封环并与所述空心储液区域连通，刻蚀液从所述供液管流入所述空心储液区域，并经由所述出液孔吸入至所述吸液层可选地，所述辊壁上的多个出液孔等距排布。可选地，所述出液孔的直径为I 3mm。 可选地，所述传输辊和涂布辊的数量为多个，所述传输辊和涂布辊之间两两相对设置，且多个涂布辊在所述太阳能电池片的传输方向上等间距布置。可选地，相邻涂布辊之间的间距为50 80mm。可选地，所述涂布辊与传输辊之间的间距为100 180 u m。本专利技术还提供了一种采用上述太阳能电池片选择性刻蚀装置的选择性刻蚀方法，包括提供太阳能电池片，其上表面上形成有掩膜图形；驱动所述传输辊旋转以对所述太阳能电池片进行传输，所述涂布辊上包覆的吸液层受挤压后将吸附的刻蚀液涂布至所述太阳能电池片的上表面；刻蚀完成后，将所述太阳能电池片上表面的刻蚀液清洗去除。可选地，所述刻蚀方法用于刻蚀发射极，所述刻蚀液为10 %的HF和30 %的HNO3的混合液。与现有技术相比，本专利技术具有以下优点本专利技术技术方案的太阳能电池片选择性刻蚀装置中，涂布辊设置在传输辊上方且其表面包覆有吸液层，涂布辊与传输辊之间的间距小于太阳能电池片的厚度，在太阳能电池片传输进入时，吸液层受挤压，使得其中吸附的刻蚀液涂布至所述太阳能电池片的上表面，从而完成选择性刻蚀过程，之后可以用等离子水等将刻蚀液清洗掉。采用该方式，刻蚀液涂布的均匀性较好，而且有利于减少刻蚀液的消耗量，设备的维护成本也较低，有利于降低运行成本和设备采购成本。进一步地，本专利技术技术方案中，涂布辊的端部可以安装有驱动涂布辊旋转的传动装置，涂布辊和传输辊相向转动，有利于改善刻蚀液涂布的均匀性。附图说明图I为本专利技术的太阳能电池片选择性刻蚀装置的实施例的结构示意图；图2为本专利技术第一实施例中的涂布辊以及供液装置的示意性的立体图；图3为本专利技术第一实施例中的供液装置的示意性的正视图；图4为本专利技术第一实施例中的供液装置的示意性的侧视图；图5为本专利技术第二实施例中的涂布辊以及供液装置的示意性的正视图。具体实施例方式下面结合具体实施例和附图对本专利技术作进一步说明，但不应以此限制本专利技术的保护范围。参考图1，本实施例的太阳能电池片选择性刻蚀装置包括传输辊4 ;设置在传输辊4上方的涂布辊2，涂布辊2的表面包覆有吸液层I，并且涂布辊2与传输辊4之间的间距小于太阳能电池片3的厚度。传输辊4旋转对太阳能电池片3进行传输，吸液层I受挤压后将吸附的刻蚀液涂布至太阳能电池片3的上表面。其中，太阳能电池片3的上表面上预先形成有掩膜图形。对于发射极的选择性刻蚀，该刻蚀液可以是10%的HF和30%的HNO3的混合液。更进一步而言，传输辊4和涂布辊2的数量 可以为多个，通常设置为3 15个，例如3个、5个等。多个传输辊4和涂布辊2都平行设置，并且每个传输辊4上方分别有一个涂布辊2与其相对设置。相邻的涂布辊2在太阳能电池片3的传输方向上等间距设置，该间距可以是50 80mm。传输辊4和涂布辊2可以独立旋转，传输中二者发生相向运动，传输速度为0. 8 I. 9m/min。传输辊4和位于其正上方的涂布辊2之间的间距小于太阳能电池片3的厚度，使得太阳能电池片3在传输进入时，可以对涂布辊2上包覆的吸液层I造成挤压。传输辊4和位于其正上方的涂布辊2之间的间距可以是100 180 u m。吸液层I可以是吸液能力很强的柔性材料，其厚度可以为0. 5 5_。吸液层I主要用于吸取刻蚀液，其受轻微挤压时便可将吸附的刻蚀液均匀涂布至太阳能电池片3的上表面。参考图2至图4，其示出了第一实施例的涂布辊，同时参考图1，在第一实施例中，涂布辊2的中心可以是实心材料，其表面包覆有吸液层I。涂布辊2的端部安装有传动装置6和供液装置。传动装置6可以驱动涂布辊2旋转，本实施例中传动装置6具体为传动齿轮，但不限于此。涂布辊2的旋转方向与传输辊4相反，例如在图I中，涂布辊2的旋转方向为逆时针方向，传输辊4的旋转方向为顺时针方向。涂布辊2由传动齿轮6驱动旋转，并和传输辊4发生相向运动，涂布辊2表面的吸液层I在太阳能电池片3传输中受到挤压，进而将刻蚀液均匀涂布到太阳能电池片3上。涂布辊2两端的端部安装有供液装置，该供液装置包括供液环7，卡套在所述涂布辊2的端部，供液环7上具有供液口 10 ;供液管5，与供液口 10相连，刻蚀液经由供液口10从供液管5流进供液环7，从而对供液环7持续供液。更加具体地，供液环7通过卡环11卡套在涂布辊2的端部。供液环7内部沿圆周方向划分为多个较小的供液室9。此外，供液环7靠近供液口 10的一侧还可以设置有缓冲层12。从供液口 10流入的刻蚀液首先填充缓冲层12，缓冲层12再将刻蚀液分配至各供液室9，实现持续给吸液层I进行供液。太阳能电池片3在经过若干个涂布辊2后实现上表面的刻蚀。需要说明的是，对于图2至图4所示的供液装置的结构，涂布辊2的中心也可以并不是实心材料，例如可以是中空的筒状，吸液层I包覆在其外壁上。参考图5，图5示出了第二实施例中的涂布辊，同时结合本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种太阳能电池片选择性刻蚀装置，其特征在于，包括：传输辊；设置在所述传输辊上方的涂布辊，所述涂布辊的表面包覆有吸液层，并且所述涂布辊与传输辊之间的间距小于太阳能电池片的厚度；其中，所述传输辊旋转对所述太阳能电池片进行传输，所述吸液层受挤压后将吸附的刻蚀液涂布至所述太阳能电池片的上表面。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：祁宏山，肖新民，丁志强，卫志敏，
申请(专利权)人：常州天合光能有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。