溅镀机及其挡板结构制造技术

一种溅镀机的挡板结构，所述挡板结构设置在导轨结构的至少一侧，所述导轨结构用于引导载物台移动，所述载物台用于放置待溅镀的基板，所述导轨结构上方设置有溅镀源；此外，所述挡板结构的一个侧板的至少部分区域与导轨结构所在的面之间呈钝角。本实用新型专利技术还提供一种包含该挡板结构的溅镀机。采用本实用新型专利技术的技术方案，在溅镀过程中，该挡板结构上的团聚物及颗粒不易剥落，从而可以提高被溅镀的基板的成品率。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及半导体制造领域，尤其涉及一种溅镀机及其挡板结构。
技术介绍
在半导体制造领域，许多制程涉及溅镀工艺，例如太阳能电池的制造过程中，位于光电转换层两侧的透明导电电极及背板电极通过溅射镀膜而形成。现有的溅镀机的剖面结构如图I所示，该溅镀机包括导轨结构11(图I由于剖面的位置原因，示意出一个导轨)，用于引导输送带结构 12的移动方向；位于导轨结构11上的输送带结构12 ;置于输送带结构12上的载物台13 ；置于该载物台13上的待溅镀的基板14 ；导轨结构11上方设置的溅镀源15 ；防止原子沉积在载物台13之外区域的挡板16。该装置的工作过程如下输送带结构12在马达驱动下运动，将载物台13带动至溅镀区域，溅镀源15开始工作，稀薄气体在异常辉光放电条件下产生等离子体，该等离子体在电场作用下，对溅镀源15(—般为靶材)表面进行轰击，将靶材表面的分子、原子、离子以及电子等溅射出来，被溅射的粒子带有一定的动能，沿一定方向射向待溅镀的基板14表面形成镀层。在上述溅镀过程中，为防止原子沉积在载物台13之外区域，溅镀区域周围设置有垂直导轨结构11的挡板16。然而，该溅镀机在使用一段时间后，该挡板16的表面沉积一层原子，该原子堆积得越来越厚，最终以团聚物或颗粒的形态从该挡板16的表面剥离下来。上述剥离的团聚物或颗粒如不进行及时清理，会掉落在待溅镀的基板14表面，影响之后形成的器件的性能，造成成品率下降。有鉴于此，实有必要提出一种新的溅镀机的挡板结构，以克服现有的挡板的缺陷。
技术实现思路
本技术实现的目的是提出一种新的溅镀机的挡板结构，在溅镀过程中，减少剥落(peeling)现象发生，从而可以提高被溅镀的基板的成品率。为解决上述问题，本技术提供一种溅镀机的挡板结构，所述挡板结构设置在导轨结构的至少一侧，所述导轨结构用于引导载物台移动，所述载物台用于放置待溅镀的基板，所述导轨结构上方设置有溅镀源；其中，所述挡板结构的一个侧板的至少部分区域与导轨结构所在的面之间呈钝角。可选地，所述导轨结构的两侧分别设置有所述挡板结构。可选地，所述挡板结构还包括与所述一个侧板相对的另一个侧板，连接所述一个侧板与所述另一个侧板的顶板。可选地，所述顶板与所述导轨结构所在的面平行，所述一个侧板与所述顶板的连接拐角倒有圆角。可选地，所述挡板结构的一个侧板的至少部分区域与导轨结构所在的面之间的角度范围为120-150度。可选地，所述挡板结构的一个侧板的至少部分区域与导轨结构所在的面之间的角度为135度。可选地，所述挡板结构与所述导轨结构一体成型。本技术还提供一种溅镀机，包含上述描述的挡板结构。可选地，所述溅镀机包括控制溅射成膜均匀的磁控装置。与现有技术相比，本技术具有以下优点将垂直导轨结构的挡板设置为其位于溅射区域的侧板与导轨结构所在的面之间呈钝角，如此，该挡板结构的一个侧板形成一个“坡”式结构，且由于钝角的设置，从溅镀源方向俯视该导轨结构及挡板结构的侧板，该“坡”式结构的顶部开口大，底部面积小，使得溅镀的原子沉积的侧板的面积增大，分散了单位面积沉积的原子层的厚度，此外，相对于现有技术中的垂直设置的原子层的承载面(挡板)，该“坡”式结构减少了团聚物或颗粒剥落(peeling)的几率。进一步地，所述导轨结构的两侧均设置有位于溅射区域的侧板与导轨结构所在的面之间呈钝角的挡板结构，该两侧的挡板结构形成一个倒梯形结构，从溅镀源方向俯视该导轨结构及挡板结构的侧板，该倒梯形结构的顶部开口大，底部面积小，使得溅镀的原子沉积的侧板的面积增大，分散了单位面积沉积的原子层的厚度，此外，相对于现有技术中的垂直设置的原子层的承载面(挡板)，该倒梯形结构减少了团聚物或颗粒剥落(peeling)现象发生。附图说明图I是现有技术的溅镀机的剖面结构示意图；图2是本技术实施例一提供的溅镀机的剖面结构示意图；图3是图2中的挡板结构的立体图；图4是图3中的挡板结构的主视图；图5是采用图I中的溅镀机形成不同批次的太阳能电池的功率与批次关系图；图6是采用图2中的溅镀机形成不同批次的太阳能电池的功率与批次关系图；图7是本技术实施例二提供的溅镀机的剖面结构示意图。具体实施方式本技术将位于溅射区域的挡板结构的侧板与导轨结构所在的面之间设置为钝角，利用了该挡板结构的侧板形成一个“坡”式结构，且由于钝角的设置，从溅镀源方向俯视该导轨结构及挡板结构的侧板，该“坡”式结构的顶部开口大，底部面积小，达到了使溅镀的原子沉积的侧板的面积增大，分散了单位面积沉积的原子层的厚度，此外，相对于现有技术中的垂直设置的原子层的承载面(挡板)，该“坡”式结构的团聚物或颗粒也不易剥落。为使本技术的上述目的、特征和优点能够更为明显易懂，以下结合附图对本、技术的具体实施方式做详细的说明。实施例一图2是本技术实施例一提供的溅镀机的剖面结构示意图。图3是图2中的挡板结构的立体结构示意图，图4是图3结构的主视图。图2中的溅镀机包括导轨结构21，用于引导输送带结构22的移动方向；位于导轨结构21上的输送带结构22 ； 置于输送带结构22上的载物台23 ；置于该载物台23上的待溅镀的基板24 ；导轨结构21上方设置的溅镀源25。需要说明的是，图2由于剖面所选的位置原因，只示意出一个导轨，事实上，该溅镀机还包括与该导轨平行的一个或多个导轨。该至少两个导轨形成的导轨结构21位于一个平面。上述结构与图I所示结构类似，不同的地方在于防止原子沉积在载物台23之外区域的挡板结构。结合图2、图3与图4，该挡板结构分为三部分第一部分，挡板结构的一个侧板261，该侧板261的部分区域与导轨结构21所在的平面形成的角α为钝角，这里的侧板261是溅镀过程中，溅落的原子层的承载面，也称工作面，这里的导轨结构21所在的平面指的是导轨结构21在溅镀区域内的平面，非该平面向挡板结构方向的延伸面(位于溅镀区域外的平面)；第二部分，挡板结构的另一个侧板262，该另一个侧板262与侧板261相对；第三部分，连接一个侧板261与另一个侧板262的顶板263,该另一个侧板262与顶板263用于固定该挡板结构。侧板261和载物台23形成了溅镀区域。其中，侧板261靠近基板24的表面基本上是平坦的。本实施例一中，如图2与图3所示，侧板261的中部区域与导轨结构21所在的平面呈钝角，该中部区域也位于溅射区域，其它实施例中，也可以整个侧板261都与导轨结构21所在的平面呈钝角。而且，侧板261与顶板263的连接拐角倒有圆角，以进一步分散原子分布，减少剥落(peeling)现象发生。此外，本实施例一中，导轨结构21两侧都设置有该挡板结构，该两个挡板结构呈镜面对称设置。该两个挡板结构中，每个的侧板261形成一个“坡”式结构，且由于钝角的设置，从溅镀源方向俯视该导轨结构及挡板结构的侧板261，该“坡”式结构的顶部开口大，底部面积小，使得溅镀的原子沉积的侧板261的面积增大，分散了单位面积沉积的原子层的厚度，此外，相对于现有技术中的垂直设置的原子层的承载面(挡板)，该“坡”式结构的团聚物或颗粒也不易剥落。整体而言，该两侧的挡板结构形成一个倒梯形结构(相对几何中的梯形结构而言)，即从溅镀源方向俯视该导轨结构及挡板结构的侧板，该倒梯形结本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种溅镀机的挡板结构，所述挡板结构设置在导轨结构的至少一侧，所述导轨结构用于引导载物台移动，所述载物台用于放置待溅镀的基板，所述导轨结构上方设置有溅镀源；其特征在于，所述挡板结构的一个侧板的至少部分区域与导轨结构所在的面之间呈钝角。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：陈柏良，林志明，
申请(专利权)人：杜邦太阳能有限公司，
类型：实用新型
国别省市：