【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种加工工具,尤其是一种进行晶棒倒角加工时将倒角加工为具有圆弧特征的圆角的磨轮。
技术介绍
常规的倒角磨轮是使用金刚石树脂磨轮,对晶棒进行倒角加工,加工后晶棒C角面A和面B及面B和面C间夹角为尖角,如图3所示,同时由于尖夹角间的应力集中会造成后续加工中出现切损、缺角、隐裂等损失。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是提供一种将面A和面B及面B和面C间夹角由尖角转换为具有圆弧口的C角,如图4所示,以降低切损、缺角、隐裂等损失的磨轮。本技术解决其技术问题所采用的技术方案是一种用于加工圆倒角的磨轮,所述的磨轮为两圈式,磨轮的外圈为金刚石树脂磨头,磨轮的内圈为柔性毛刷束,所述的柔性毛刷束高于金刚石树脂磨头设置在磨轮内圈。具体的说,本技术所述的柔性毛刷束为含金刚砂微粒的柔性毛刷束,柔性毛刷束的直接为10mm,所述的柔性毛刷束为6 12束均匀布置;柔性毛刷束的无胶长度为10 15mm。所述的柔性毛刷束高于金刚石树脂磨头I 3mm。本技术将原先单由金刚砂与硅块接触的硬磨擦改为外层使用金刚砂粗磨后使用内层的柔性毛刷对硅块C角进行抛光,同时利用毛刷的柔性特征将夹角由尖角转变为圆弧形,通过改变金刚砂与毛刷的高度差可调整C角弧度的大小。本技术的有益效果是,解决了
技术介绍
中存在的缺陷,能够降低由于C角夹角应力集中造成的加工损失。以下结合附图和实施例对本技术进一步说明。图I是本技术的优选实施例的结构示意图;图2是图I的横向截面图;图3是现有技术晶棒C角形状的不意图;图4是使用本技术后晶棒C角形状的示意图;图中1、柔性毛刷束;2、磨头。具体实施方式现在结合附图和优选实施例对本 ...
【技术保护点】
一种用于加工圆倒角的磨轮,其特征在于:所述的磨轮为两圈式,磨轮的外圈为金刚石树脂磨头,磨轮的内圈为柔性毛刷束,所述的柔性毛刷束高于磨头设置在磨轮内圈。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:施贤彪,丁国健,费敏,
申请(专利权)人:常州天合光能有限公司,
类型:实用新型
国别省市:
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