磨石座、拆卸夹具、磨床及磨石座的拆卸方法技术

本发明专利技术公开了可从安装部简便地拆卸的磨石座、可从安装部简便地拆卸磨石座的拆卸夹具、具有可从安装部简便地拆卸的磨石座的磨床以及从安装部简便地拆卸磨石座的拆卸方法。在磨床(100)中，在磨石座(38)的沉孔(50a)的内周面形成有内螺纹部(50F)。另外，在夹具(200)中，插入部(212)的长度比磨石座(38)的插孔(50b)长，并且在凸台轴部(221)的外周面形成有与沉孔(50a)的内螺纹部(50F)啮合的外螺纹部(221M)。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及。
技术介绍
目前，作为对半导体晶片(以下称作“エ件”)进行磨削的方法之一，广泛公知的是通过使エ件和磨石座两者均旋转，并利用磨石连续地切削エ件的磨削面的横向磨削法(例如參照专利文献I)。需要说明的是，磨石座由台座和磨石构成。台座具有与エ件相対的第一面和设于第一面的相反侧的第二面，磨石在台座的第一面上环状地形成。专利文献I :(日本)特开2007-125678号公报 在专利文献I所记载的磨床中，磨石座通过固定螺栓固定在以规定轴为中心旋转的安装部的安装面上。在这种磨床中，以提高工件的磨削精度为目的，安装部的安装面和台座的第二面各自的表面粗糙度极低。因此，磨石座和安装部彼此密接，所以在更换磨石座吋，需要在拆下固定螺栓后将磨石座从安装部分开。因此，考虑到如下方法将比固定螺栓长的螺栓拧入形成于磨石座的固定螺栓用螺栓孔，由长的螺栓的前端按压安装面，由此从安装部将磨石座分开。但是，在该方法中，因长的螺栓的前端的按压而在安装面上形成凹凸，因此难以維持磨石座和安装部的密接性。因此，该方法不适合用于上述专利文献I记载的磨床上。另ー方面，在感应加热辊装置中提出了如下方法在从辊壳拆下通过固定本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种磨石座，其通过固定螺栓固定在安装部上，其特征在于，包括：台座，其具有第一面、设于所述第一面的相反侧的第二面和从所述第一面贯通至所述第二面的贯通孔；磨石，其在所述台座的所述第一面上形成为环状；所述贯通孔具有沉孔和插孔，该沉孔在所述第一面开口且具有第一内径，该插孔与所述沉孔相连且具有比所述第一内径小的第二内径；所述沉孔具有在内周面形成的内螺纹部。

【技术特征摘要】
2011.03.29 JP 2011-0731371.一种磨石座，其通过固定螺栓固定在安装部上，其特征在于，包括 台座，其具有第一面、设于所述第一面的相反侧的第二面和从所述第一面贯通至所述第二面的贯通孔； 磨石，其在所述台座的所述第一面上形成为环状； 所述贯通孔具有沉孔和插孔，该沉孔在所述第一面开口且具有第一内径，该插孔与所述沉孔相连且具有比所述第一内径小的第二内径； 所述沉孔具有在内周面形成的内螺纹部。2.如权利要求I所述的磨石座，其特征在于， 包括分别具有与所述贯通孔相同构成的多个贯通孔， 多个所述贯通孔配置为，在所述第一面的俯视图中以所述台座的旋转中心为基准呈点对称。3.一种夹具，其用于从安装部拆下通过固定螺栓固定在所述安装部上的磨石座，其特征在于，具有 支撑部件，其包括具有外螺纹部的圆柱状的支撑轴部、与所述支撑轴部相连且比为了使所述固定螺栓的轴部插入而设于所述磨石座的插孔长的圆柱状的插入部、从所述插入部的端面突出的圆柱状的轴部； 凸台部件，其包括具有与形成在沉孔的内周面的内螺纹部对应的外螺纹部的凸台轴部和沿所述凸台轴部的轴心形成的轴孔，该沉孔为了收容所述固定螺栓的头部而设于所述磨石座。4.一种磨床，其特征在于，具有 磨石座，其具有台座和在所述台座的第一面上形成为环状的磨石，该台座包括所述第一面、设于所述第一面的相反侧的第二面、从所述第一面贯通至所述第二面的贯通...

【专利技术属性】
技术研发人员：武田英俊，
申请(专利权)人：小松NTC株式会社，
类型：发明
国别省市：