磨石座、拆卸夹具、磨床及磨石座的拆卸方法技术

本发明专利技术公开了可从安装部简便地拆卸的磨石座、可从安装部简便地拆卸磨石座的拆卸夹具、具有可从安装部简便地拆卸的磨石座的磨床以及从安装部简便地拆卸磨石座的拆卸方法。在磨床(100)中，在磨石座(38)的沉孔(50a)的内周面形成有内螺纹部(50F)。另外，在夹具(200)中，插入部(212)的长度比磨石座(38)的插孔(50b)长，并且在凸台轴部(221)的外周面形成有与沉孔(50a)的内螺纹部(50F)啮合的外螺纹部(221M)。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及。
技术介绍
目前，作为对半导体晶片(以下称作“エ件”)进行磨削的方法之一，广泛公知的是通过使エ件和磨石座两者均旋转，并利用磨石连续地切削エ件的磨削面的横向磨削法(例如參照专利文献I)。需要说明的是，磨石座由台座和磨石构成。台座具有与エ件相対的第一面和设于第一面的相反侧的第二面，磨石在台座的第一面上环状地形成。专利文献I :(日本)特开2007-125678号公报 在专利文献I所记载的磨床中，磨石座通过固定螺栓固定在以规定轴为中心旋转的安装部的安装面上。在这种磨床中，以提高工件的磨削精度为目的，安装部的安装面和台座的第二面各自的表面粗糙度极低。因此，磨石座和安装部彼此密接，所以在更换磨石座吋，需要在拆下固定螺栓后将磨石座从安装部分开。因此，考虑到如下方法将比固定螺栓长的螺栓拧入形成于磨石座的固定螺栓用螺栓孔，由长的螺栓的前端按压安装面，由此从安装部将磨石座分开。但是，在该方法中，因长的螺栓的前端的按压而在安装面上形成凹凸，因此难以維持磨石座和安装部的密接性。因此，该方法不适合用于上述专利文献I记载的磨床上。另ー方面，在感应加热辊装置中提出了如下方法在从辊壳拆下通过固定螺栓固定于辊売上的轴颈的情况下，代替固定螺栓利用拧入轴颈的按压螺栓将辊壳从轴颈压出(日本特开2001-210449号公报)。但是，在该方法中，在使固定螺栓的轴部插入的插孔的内周面，形成有与按压螺栓的外螺纹部啮合的内螺纹部，因此，形成于插孔的内周面的内螺纹部可能因与固定螺栓的轴部的干涉而受损。所以，该方法也不适合用于上述专利文献I中记载的磨床上。
技术实现思路
本专利技术是鉴于上述状况而提出的，其目的在于，提供可从安装部简便地拆卸的磨石座、可从安装部简便地拆卸磨石座的拆卸夹具、具有可从安装部简便地拆卸的磨石座的磨床、用于从安装部简便地拆卸磨石座的拆卸方法。第一方面提供的ー种磨石座，其通过固定螺栓固定在安装部上，包括台座，其具有第一面、设于第一面的相反侧的第二面和从第一面贯通至第二面的贯通孔；磨石，其在台座的第一面上形成为环状。贯通孔具有沉孔和插孔，该沉孔在第一面开ロ且具有第一内径，该插孔与沉孔相连且具有比第一内径小的第二内径。沉孔具有在内周面形成的内螺纹部。第二方面的磨石座在第一方面的磨石座的基础上，包括分别具有与贯通孔相同构成的多个贯通孔。多个贯通孔配置为在第一面的俯视图中以台座的旋转中心为基准呈点对称。第三方面提供的ー种夹具，其用于从安装部拆下通过固定螺栓固定在安装部上的磨石座，具有支撑部件和凸台部件。支撑部件包括具有外螺纹部的圆柱状的支撑轴部、与支撑轴部相连且比为了使固定螺栓的轴部插入而设于磨石座的插孔长的圆柱状的插入部、从插入部的端面突出的圆柱状的轴部。凸台部件包括具有与形成在沉孔的内周面的内螺纹部对应的外螺纹部的凸台轴部和沿凸台轴部的轴心形成的轴孔，该沉孔为了收容固定螺栓的头部而设于磨石座。第四方面提供的ー种磨床，具有磨石座和安装部。磨石座具有台座和在台座的第一面上形成为环状的磨石，该台座包括第一面、设于第一面的相反侧的第二面、从第一面贯通至第二面的贯通孔。安装部具有与第二面抵接的安装面和在第二面开ロ且与贯通孔相连的螺孔。贯通孔具有沉孔和插孔，该沉孔在第一面开ロ且具有第一内径，该插孔与沉孔相连且具有比第一内径小的第二内径。沉孔具有在内周面形成的内螺纹部。第五方面的磨床还具备夹具，该夹具具有支撑部件和凸台部件。支撑部件包括具有外螺纹部的圆柱状的支撑轴部、与支撑轴部相连且比插孔长的圆柱状的插入部、从插入部的端面突出的圆柱状的轴部。凸台部件包括具有与沉孔的内螺纹部对应的外螺纹部的凸台轴部和沿凸台轴部的轴心形成的轴孔。 第六方面提供的一种拆卸方法，用于从安装部拆下通过固定螺栓固定于安装部的磨石座，包括拔出固定螺栓的エ序，该固定螺栓插入设于磨石座的插孔并且拧入安装部的螺孔；准备支撑部件的エ序，该支撑部件包括具有外螺纹部的圆柱状的支撑轴部、与支撑轴部相连且比插孔长的圆柱状的插入部、从插入部的端面突出的圆柱状的轴部；在使支撑轴部插入磨石座的插孔后，向安装部的螺孔拧入支撑轴部的エ序；准备凸台部件的エ序，该凸台部件包括具有与形成在设于磨石座的沉孔的内周面的内螺纹部对应的外螺纹部的凸台轴部，和沿凸台轴部的轴心形成的轴孔；向凸台部件的轴孔插入支撑部件的轴部的エ序；向沉孔的内螺纹部拧入凸台轴部的外螺纹部的エ序。根据本专利技术，能够提供可从安装部简便地拆卸的磨石座、可从安装部简便地拆卸磨石座的拆卸夹具、具有可从安装部简便地拆卸的磨石座的磨床、用于从安装部简便地拆卸磨石座的拆卸方法。附图说明图I是表示磨床100的结构的侧视图；图2是从エ件支撑装置20侧观察安装部37和磨石座38的平面图；图3是图2的折线III-III的剖面图；图4是从图3省略的固定螺栓39的图；图5是表示夹具200的结构的剖面图；图6是用于说明从安装部37拆下磨石座38的方法的剖面图；图7是用于说明从安装部37拆下磨石座38的方法的剖面图；图8是用于说明从安装部37拆下磨石座38的方法的剖面图；图9是用于说明从安装部37拆下磨石座38的方法的剖面图；图10是用于说明从安装部37拆下磨石座38的方法的剖面图；图11是表示夹具200的支撑部件210的结构的剖面图。附图标记说明100磨床、10机座、20エ件支撑装置、21エ件台、22主轴、23驱动马达、24卡盘、30磨削加工装置、31固定座、32进给台、33进给驱动部、34支撑台、35主轴、36驱动马达、37安装部、37S安装面、37T凸部、38磨石座、381台座、SI第一面、S2第二面、382磨石、39固定螺栓、39a轴部、39b头部、40螺孔、50第一贯通孔、50a沉孔、50F内螺纹部、50b插孔、60第二贯通孔、200夹具、210支撑部件、211支撑轴部、212插入部、213轴部、220凸台部件、221凸台轴部、221M外螺纹部、222凸台头部、223轴孔、Wエ件、35A磨石旋转中心。具体实施例方式下面，使用附图对本专利技术的实施方式进行说明。在以下附图的记载中，对同一或类似的部分标注同一或类似的符号。需要说明的是，附图是为了示意而给出的，各尺寸的比例等有时与实际的尺寸不一样。因此，具体的尺寸等应參照以下说明进行判断。另外，附图彼 此之间也包含彼此的尺寸关系或比例不同的部分。(磨床100的整体结构)參照附图对实施方式的磨床100的结构进行说明。图I是表示实施方式的磨床100的结构的侧视图。磨床100包括机座10、エ件支撑装置20、磨削加工装置30。机座10是支撑エ件支撑装置20和磨削加工装置30的工作台。エ件支撑装置20具有エ件台21、主轴22、驱动马达23、卡盘24。エ件台21固定在机座10上。主轴22以エ件旋转中心22A为中心可旋转地支撑在エ件台21上。驱动马达23以エ件旋转中心22A为中心使主轴22旋转。卡盘24保持エ件W(例如半导体晶片等)。卡盘24固定在主轴22上，与主轴22 —同以エ件旋转中心22A为中心进行旋转。磨削加工装置30具有固定座31、进给台32、进给驱动部33、支撑台34、主轴35、驱动马达36、安装部37、磨石座38。固定座31固定在机座10上。进给台32被支撑为在固定座31上沿进给方向X可移动。进给驱动部本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种磨石座，其通过固定螺栓固定在安装部上，其特征在于，包括：台座，其具有第一面、设于所述第一面的相反侧的第二面和从所述第一面贯通至所述第二面的贯通孔；磨石，其在所述台座的所述第一面上形成为环状；所述贯通孔具有沉孔和插孔，该沉孔在所述第一面开口且具有第一内径，该插孔与所述沉孔相连且具有比所述第一内径小的第二内径；所述沉孔具有在内周面形成的内螺纹部。

【技术特征摘要】
2011.03.29 JP 2011-0731371.一种磨石座，其通过固定螺栓固定在安装部上，其特征在于，包括 台座，其具有第一面、设于所述第一面的相反侧的第二面和从所述第一面贯通至所述第二面的贯通孔； 磨石，其在所述台座的所述第一面上形成为环状； 所述贯通孔具有沉孔和插孔，该沉孔在所述第一面开口且具有第一内径，该插孔与所述沉孔相连且具有比所述第一内径小的第二内径； 所述沉孔具有在内周面形成的内螺纹部。2.如权利要求I所述的磨石座，其特征在于， 包括分别具有与所述贯通孔相同构成的多个贯通孔， 多个所述贯通孔配置为，在所述第一面的俯视图中以所述台座的旋转中心为基准呈点对称。3.一种夹具，其用于从安装部拆下通过固定螺栓固定在所述安装部上的磨石座，其特征在于，具有 支撑部件，其包括具有外螺纹部的圆柱状的支撑轴部、与所述支撑轴部相连且比为了使所述固定螺栓的轴部插入而设于所述磨石座的插孔长的圆柱状的插入部、从所述插入部的端面突出的圆柱状的轴部； 凸台部件，其包括具有与形成在沉孔的内周面的内螺纹部对应的外螺纹部的凸台轴部和沿所述凸台轴部的轴心形成的轴孔，该沉孔为了收容所述固定螺栓的头部而设于所述磨石座。4.一种磨床，其特征在于，具有 磨石座，其具有台座和在所述台座的第一面上形成为环状的磨石，该台座包括所述第一面、设于所述第一面的相反侧的第二面、从所述第一面贯通至所述第二面的贯通...

【专利技术属性】
技术研发人员：武田英俊，
申请(专利权)人：小松NTC株式会社，
类型：发明
国别省市：