The invention provides a polishing jig, including limit column sets, N fixed column and M limit column; limit column sleeve is arranged inside the N limit through the fixed hole a column sleeve; N fixed columns are respectively installed on the fixed and the diameter of the Kong Zhong. Fixed hole diameter matching, and can slide and rotate freely in the fixing hole; the fixing column is provided with at least three limit column, wherein the limiting column is arranged on the lower end of the corresponding column on the fixed plane, the extension direction and fixed the lower end of the column which is perpendicular to the plane; the product is clamped, polishing one fixed column below at least three spacing between the columns. The polishing fixture can be adjusted according to the size change of free single laser diode chip, the use of simple and convenient; the polishing jig can also on a plurality of grinding and polishing and grinding products, high grinding efficiency, and can achieve a good uniformity of grinding and polishing.
【技术实现步骤摘要】
磨抛夹具
本专利技术涉及半导体激光二极管加工测试
,特别是指制备电致发光样品时采用的磨抛夹具。
技术介绍
大功率激光二极管应用非常广泛,比如用作泵浦源、材料加工、医疗设备、红外照明等。对大功率激光二极管进行失效分析,找到失效原因,针对容易产生失效的工艺过程进行优化改进,从而提高大功率激光二极管的可靠性。电致发光是大功率激光二极管失效分析的有效手段之一,电致发光样品的制备是非常关键的一步。单管芯激光二极管形状为多边形、体积小形状复杂,尤其是烧结在陶瓷过渡热沉上的单管芯激光二极管体积更小,更不方便固定,必须采用特殊设计的夹具上方可进行样品制备,满足研发测试的需求。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种磨抛夹具,不但可以同时对多个磨抛产品进行磨抛,还能够适应磨抛产品的尺寸与形状的变化,在不更换磨抛夹具的情况下快速夹装固定。鉴于上述技术问题,本专利技术提供了一种磨抛夹具,包括:限位柱套、N个固定柱和M个限位柱。其中,限位柱套的内部开有N个贯穿限位柱套的固定孔。N个固定柱分别安装在固定孔中,其直径与固定孔的直径相匹配,并可在固定孔内上下滑动和自由转动。其中,M个限位柱,每个固定柱下方设置至少三个限位柱;限位柱设置在相应固定柱的下端平面上,其延伸方向与固定柱的下端平面垂直。其中,磨抛产品夹设于其中之一的固定柱下方至少三个限位柱之间。优选地,本专利技术磨抛夹具中,限位柱的形状为柱状。优选地,本专利技术磨抛夹具中,固定柱的上端安装有提拉杆。优选地,本专利技术磨抛夹具中,提拉杆上套有重力盘。优选地,本专利技术磨抛夹具中,限位柱套,固定安装在磨抛机的机架上,限位柱套的 ...
【技术保护点】
一种磨抛夹具,其特征在于,包括:限位柱套(2),其内部开有N个贯穿限位柱套(2)的固定孔(7);N个固定柱(8),分别安装在所述固定孔(7)中,其直径与所述固定孔(7)的直径相匹配,并可在所述固定孔(7)内上下滑动和自由转动;M个限位柱(10),每个固定柱(8)下方设置至少三个限位柱(10);其中,所述限位柱(10)设置在相应固定柱(8)的下端平面(9)上,其延伸方向与固定柱(8)的下端平面(9)垂直;其中,磨抛产品(11)夹设于其中之一的固定柱(8)下方的至少三个限位柱(10)之间。
【技术特征摘要】
1.一种磨抛夹具,其特征在于,包括:限位柱套(2),其内部开有N个贯穿限位柱套(2)的固定孔(7);N个固定柱(8),分别安装在所述固定孔(7)中,其直径与所述固定孔(7)的直径相匹配,并可在所述固定孔(7)内上下滑动和自由转动;M个限位柱(10),每个固定柱(8)下方设置至少三个限位柱(10);其中,所述限位柱(10)设置在相应固定柱(8)的下端平面(9)上,其延伸方向与固定柱(8)的下端平面(9)垂直;其中,磨抛产品(11)夹设于其中之一的固定柱(8)下方的至少三个限位柱(10)之间。2.根据权利要求1所述的磨抛夹具,其特征在于,所述限位柱的形状为柱状。3.根据权利要求1所述的磨抛夹具,其特征在于,所述固定柱(8)的上端安装有提拉杆(16)。4.根据权利要求4所述的磨抛夹具,其特征在于,所述提拉杆(16)上套有重力盘(25)。5.根据权利要求1所述的磨抛夹具,其特征在于,所述限位柱套(2)固定安装在磨抛机(3)的机架上;所述限位柱套(2)的下平面(5)与磨抛盘(4)平行安装。6.根据权利要求5所述的磨抛夹具,其特征在于,在磨抛工作开始时,所述限位柱的下柱面(15)与磨抛盘(4)之间留有间隙;在固定柱压力的作用下,磨抛产品(11)的磨抛面与磨抛盘紧贴,固定柱(8)在磨抛盘(4)的带动下在固定孔(7)中自转。7.根据权利要求1所述的磨抛夹具,其特征在于,所述限位柱为偏心限位柱(6);所述偏心限位柱(6)包括:相互偏心固定的下柱体(18)和上偏心柱体...
【专利技术属性】
技术研发人员:孔金霞,刘素平,马骁宇,
申请(专利权)人:中国科学院半导体研究所,
类型:发明
国别省市:北京,11
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