【技术实现步骤摘要】
本实用 新型涉及ー种厚度測量设备，具体地说是ー种结构合理、使用方便、測量准确的基于图像处理的干涉法测厚仪。
技术介绍
干渉法膜厚测量仪的主要工作原理是将一束激光用半透半反镜分成两路，两路光最后合成一路产生干涉条纹，在一条光路中插入薄膜，引起光程差改变，干涉图样发生变化，通过分析图样的变化，可以求出透明薄膜的厚度。实际应用中多是将薄膜只插入一部分，使干涉图样的部分改变，通过分析有膜和没膜部分图像错位的条数，可以求出薄膜的厚度。但这种測量方法受限于人眼的观察能力、拍摄图像的分辨率、光的強弱、光斑的规则程度等。限制了其精确度的进ー步提高，而且对条纹中心位置的选取不论是人工读数还是软件处理都有一定的误差。
技术实现思路
本技术针对现有技术中存在的缺陷和不足，提出ー种用机械转动和图像处理结合取代现有技术中条纹错位程度的判断，以提高測量精度的基于图像处理的干涉法测厚仪。本技术可以通过以下措施达到ー种基于图像处理的干渉法测厚仪，由迈克尔干涉仪、減速步进电机、摄像头、计算机组成，其特征在于减速步进电机与迈克尔干涉仪的微调旋钮相连接，计算机与用于采集迈克尔干渉仪干涉屏上图像信息的摄像...
【技术保护点】
一种基于图像处理的干涉法测厚仪，由迈克尔干涉仪、减速步进电机、摄像头、计算机组成，其特征在于减速步进电机与迈克尔干涉仪的微调旋钮相连接，计算机与用于采集迈克尔干涉仪干涉屏上图像信息的摄像头相连接。
【技术特征摘要】
1.一种基于图像处理的干涉法测厚仪，由迈克尔干涉仪、减速步进电机、摄像头、计算机组成，其特征在于减速...
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