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本实用新型涉及一种厚度测量设备，具体地说是一种结构合理、使用方便、测量准确的基于图像处理的干涉法测厚仪，由迈克尔干涉仪、减速步进电机、摄像头、计算机组成，其特征在于减速步进电机与迈克尔干涉仪的微调旋钮相连接，计算机与用于采集迈克尔干涉仪干涉...
该专利属于赵多所有，仅供学习研究参考，未经过赵多授权不得商用。

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