用于硅片清洗的中转水槽结构制造技术

技术编号:7874110 阅读:176 留言:0更新日期:2012-10-15 04:24
本实用新型专利技术涉及一种用于硅片清洗的中转水槽结构,包括箱体、硅片工装和过滤网,硅片工装和过滤网设置在箱体中,过滤网位于硅片工装的下方。硅片工装包括两根截面为L形的支撑板、连接杆和粘结在支撑板表面的硅片保护皮,两根支撑板通过固定在其底部的连接杆固定在一起,箱体上固定配对的L形挡块,多个硅片工装通过挡块并排搁置在箱体中。过滤网采用槽型结构,过滤网上有手柄,箱体上固定挡块,过滤网通过挡块搁置在箱体中。本实用新型专利技术的有益效果是:通过硅片工装,将存放的硅片悬空起来,把碎片沉积到低部的过滤网中集中处理,这样多次存放硅片时可有效避免裂纹片、碎片和破片率比例一直居高不下的问题。(*该技术在2022年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及硅片清洗设备
,特别是一种用于硅片清洗的中转水槽结构
技术介绍
目前国内外太阳能行业对单多晶硅晶块切片的主要方法有两种一是结构利用结构钢线高速运行带动悬浮在PEG中的金刚砂磨削单多晶晶块实现切片;二是直接利用表面镶嵌或涂覆有类金刚砂的高硬度物质的金刚线高速运动在切削液的环境中磨削单多晶晶块实现切片。不管采用以上两种方法中的哪一种切片工艺,当晶棒在切割机台加工成硅片以后,均须经过以下几道工序才能成为成品硅片1.预清洗及脱胶;2.清洗;3.测试分选包装。目前国内硅片经预清洗脱胶后均为人工手动将硅片插入载片盒后经清洗机清洗,在此过程硅片经预清洗及脱胶后需要手工搬运放入清洗水槽或中转水槽以便人工手动将硅片插入载片盒后进行清洗,水槽及中转水槽的设计合理性程度直接决定人员在搬运硅片及将硅片插入载片盒过程的碎片比例,同时降低预清洗及脱胶后硅片的搬运次数也会大大降低硅片的的碎片比例。从现在大部分硅片加工企业调查发现,均存在预清洗及脱胶后硅片搬运及将硅片插入载片盒过程碎片比例高的问题,这也严重影响了切片厂的效益。设计合理并便于硅片流转的水槽及中转水槽将会大大降低硅片清洗过程中的碎片比例。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是提供一种用于硅片清洗的中转水槽结构,解决现有中转水槽结构设计的不合理,导致碎片缺角崩边等不良硅片比例较高的问题。本技术解决其技术问题所采用的技术方案是一种用于硅片清洗的中转水槽结构,包括箱体、硅片工装和过滤网,硅片工装和过滤网设置在箱体中,过滤网位于硅片工装的下方。进一步限定,硅片工装包括两根截面为L形的支撑板、连接杆和粘结在支撑板表面的硅片保护皮,两根支撑板通过固定在其底部的连接杆固定在一起,两根支撑板之间的距离稍大于硅片尺寸,箱体上固定配对的L形挡块,多个硅片工装通过挡块并排搁置在箱体中。进一步限定,过滤网采用槽型结构,过滤网上有手柄,箱体上固定挡块,过滤网通过挡块搁置在箱体中。进一步限定,箱体底面为倾斜面,在箱体底部的最低位置设置阀门。本技术的有益效果是通过将预清洗洗好的硅片在中转水槽中悬空起来存放,碎硅片可沉积在下面的过滤网中集中处理,不再与存放的硅片接触,同时省去将硅片从中转水槽搬入插片水槽的步骤,这就大大减少了破片、缺角、裂纹等问题,从根本上避免了在后道出现的破片、缺角和裂纹不良项所占比例高的问题;另外,该设计的结构底部有倾角,在更换水的时候只要将水槽下面的阀门打开即可,不必刻意将水槽的一端抬高,这样大大减小了员工的工作量。经过实际使用比较表明,该新型硅片清洗中转水槽不仅可以降低硅片插入载片盒过程的碎片缺角崩边等不良比例由O. 5%为O. 1%,而且方便了人员的操作,提高了生产效率。以下结合附图对本技术进一步说明。图I是本技术的中转水槽结构的结构示意图;图2是本技术的硅片工装的结构示意图;其中1.箱体,2.硅片工装,3.过滤网,4.支撑板,5.连接杆,6.挡块,7.阀门,8.硅片。具体实施方式如图I和2所示,一种用于硅片清洗的中转水槽结构,包括箱体I、硅片工装2和过滤网3,硅片工装2和过滤网3设置在箱体I中,过滤网3位于硅片工装2的下方。箱体I 主要以不锈钢铁皮为主要材料硅片工装2包括两根截面为L形的支撑板4、连接杆5和粘结在支撑板4表面的硅片保护皮,连接杆5为不锈钢。两根类似角钢的不锈钢材料的支撑板4通过焊接在其底部的连接杆5固定在一起,两根支撑板4之间的距离稍大于硅片8尺寸,箱体I上固定配对的L形挡块6,多个硅片工装2通过挡块6并排搁置在箱体I中。过滤网3采用槽型结构,以保证存放碎压片后承受的弯曲压力;过滤网有两个手柄,当存放碎片较多时可将工装取下然后把过滤网取出清理即可。箱体I上固定挡块6,过滤网3通过挡块6搁置在箱体I中。箱体I底面为倾斜面,和水平面的夹角为2度,在箱体I底部的最低位置设置阀门7。该中转水槽结构的设计理念革新在于1.通过预清洗后将硅片8放在中转水槽中以悬空放置,消除硅片8放置时因硅片8局部受力引起的缺角、破片、裂纹问题;2.存取硅片8方便清理及更换水时迅速,降低了员工的劳动强度,同时提高了硅片8的质量,为硅片8在电池端的良率进一步提供了有力保证。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于硅片清洗的中转水槽结构,其特征是:包括箱体(1)、硅片工装(2)和过滤网(3),硅片工装(2)和过滤网(3)设置在箱体(1)中,过滤网(3)位于硅片工装(2)的下方。

【技术特征摘要】
1.一种用于硅片清洗的中转水槽结构,其特征是包括箱体(I)、硅片工装(2)和过滤网(3),硅片工装(2)和过滤网(3)设置在箱体(I)中,过滤网(3)位于硅片工装(2)的下方。2.根据权利要求I所述的用于硅片清洗的中转水槽结构,其特征是所述的硅片工装(2)包括两根截面为L形的支撑板(4)、连接杆(5)和粘结在支撑板(4)表面的硅片保护皮,两根支撑板(4)通过固定在其底部的连接杆(5)固定在一起,两根支撑板(4)之间的距离稍...

【专利技术属性】
技术研发人员:王建军
申请(专利权)人:常州天合光能有限公司
类型:实用新型
国别省市:

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