超声波清洗机的摆动吹风机构制造技术

一种超声波清洗机的摆动吹风机构，设置在清洗槽的上方，其特征在于：它包括用于提供动力的气缸、沿横向延伸且与压缩空气源相连通的吹气管路、沿吹气管路轴向排列且与吹气管路内部连通的喷嘴、设置在机架上且沿纵向延伸的导轨，吹气管路与气缸的活塞杆传动连接，吹气管路的一端部上设置有滑块，滑块滑动配合在导轨上，吹气管道呈水平设置，导轨与气缸的活塞杆相平行设置。本实用新型专利技术采用气缸及滑轨使吹气管路来回移动，可达到对工件均匀吹风的目的，提高了生产效率，降低了生产成本。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种超声波清洗机的摆动吹风机构。技术背景随着各种半导体产品的广泛应用及半导体技术的发展，半导体产品的批量生产规模越来越大。对于半导体制品，例如非晶体硅太阳能电池板、有机发光显示器件、液晶显示器件等，其生产都需要利用玻璃等作为基体，在基体上进行多种工序进而形成多层薄膜，工艺步骤中涉及的镀膜、光刻、蚀刻等工艺会产生粉尘附着在基体上，进而影响基体的清洁度，基体的清洁度对产品的质量有着重大影响。因此，在于镀膜、光刻及蚀刻等步骤中必须贯穿有清洗步骤，以维持基体在生产过程中的表面清洁度。在其生产过程中，除了清洗之夕卜，另一重要工序就是风干。若所述的玻璃基片上残留清洗液或水珠，将会影响半导体产品的质量。为解决上述问题，通常会另外增设多个风干装置来风干所述的玻璃基体，但这样便导致整个清洁系统的结构复杂，且增加了生产成本，且现有的风干装置不能达到使整个工件均匀吹风，降低了其生产效率。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种超声波清洗机的摆动吹风机构，可以对工件进行均匀吹风。为了实现上述技术目的，本技术采用如下技术方案一种超声波清洗机的摆动吹风机构，设置在清洗槽的上方，它包括用于提供动力的气缸、沿横向延伸且与压缩空气源相连通的吹气管路、沿所述的吹气管路轴向排列且与所述的吹气管路内部连通的喷嘴、设置在机架上且沿纵向延伸的导轨，所述的吹气管路与所述的气缸的活塞杆传动连接，所述的吹气管路的一端部上设置有滑块，所述的滑块滑动配合在所述的导轨上，所述的吹气管道呈水平设置，所述的导轨与所述的气缸的活塞杆相平行设置。优选地，所述的吹气管路的横截面为矩形。优选地，所述的喷嘴包括与所述的吹气管路相连接的细管部以及外径沿横向变大的均风部。本技术与现有技术相比，具有如下优点本技术采用气缸及滑轨使吹气管路来回移动，在移动过程中使气流能够对一些死角、盲孔、狭隙中的积液具有良好的吹干效果，可达到对工件均匀吹风的目的，提高了生产效率，降低了生产成本。附图说明附图I为本技术的主视图；附图2为本技术的活塞杆正常状态右视图；附图3为本技术的活塞杆伸出状态右视图。附图中，I、气缸；2、吹气机构；3、滑块；4、导轨；5、活塞杆；6、吹气管路；7、喷嘴；8、工件篮；9、均风部；10、细管部。具体实施方式为使本技术的目的、技术方案和优点更加清楚，以下结合附图对本技术作进一步的详细描述，其中说明书中所述的“横”向是指附图I中所示的左右方向，说明书中所示的“纵”向是指附图2中所示的左右方向。如附图1、2所示，本技术设置在超声波清洗机的清洗槽上方，用于对清洗槽内的工件篮8内的工件吹风，使其风干。本技术的摆动吹风机构包括气缸I、吹气机构2、滑块3及导轨4。气缸I包括活塞杆5、缸筒、活塞块及密封装置(图中未画出)，气缸I与吹气机构2位于同一平面内，活塞杆5与吹气机构2连接在一起。吹气机构2包括吹气管路6和喷嘴7，喷嘴7有多个，轴向排列在吹气管路6位于吹气槽内的部分上且与吹气管 路6的内侧连通，喷嘴7开口朝下，正对工件篮8。吹气管路6与外界压缩空气装置连接，吹气管路6的横截面呈矩形，所述的喷嘴7包括与所述的吹气管路6相连接的细管部10以及外径沿横向变大的均风部9，吹气管路6内的压缩空气进入细管部10后仍保持一定的气压，进入均风部9以后，气体迅速扩散，使气压降低，从而对工件进行均匀吹风。位于吹气槽外侧的吹气管路6的端部固定有滑块3，本实施例中设置两个滑块3，在吹气管路6上的两个滑块3的中间位置处固定连接有气缸I的活塞杆5，吹气管路6与活塞杆5应垂直连接固定。滑块3可滑动地套装在导轨4上，导轨4相对于地面固定，导轨4及气缸I的安装位置应与吹风槽的其中两个侧壁平行，吹气管路6与所述的这两个侧壁垂直。在工作时，吹气管路6在气缸I的推动下沿着导轨4做回复运动，而喷嘴7则会在吹气管路6的带动下在工件篮8上方做回复运动，这样就达到了对工件均匀吹风的目的。上述实施例只为说明本技术的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人士能够了解本技术的内容并据以实施，并不能以此限制本技术的保护范围。凡根据本技术精神实质所作的等效变化或修饰，都应涵盖在本技术的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种超声波清洗机的摆动吹风机构，设置在清洗槽的上方，其特征在于：它包括用于提供动力的气缸、沿横向延伸且与压缩空气源相连通的吹气管路、沿所述的吹气管路轴向排列且与所述的吹气管路内部连通的喷嘴、设置在机架上且沿纵向延伸的导轨，所述的吹气管路与所述的气缸的活塞杆传动连接，所述的吹气管路的一端部上设置有滑块，所述的滑块滑动配合在所述的导轨上，所述的吹气管道呈水平设置，所述的导轨与所述的气缸的活塞杆相平行设置。

【技术特征摘要】
1.一种超声波清洗机的摆动吹风机构，设置在清洗槽的上方，其特征在于它包括用于提供动力的气缸、沿横向延伸且与压缩空气源相连通的吹气管路、沿所述的吹气管路轴向排列且与所述的吹气管路内部连通的喷嘴、设置在机架上且沿纵向延伸的导轨，所述的吹气管路与所述的气缸的活塞杆传动连接，所述的吹气管路的一端部上设置有滑块，所述的滑块滑...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈宏，
申请(专利权)人：张家港市超声电气有限公司，
类型：实用新型
国别省市：