基于石墨烯的表面等离子体极化波可变传播宽度波导制造技术

一种基于石墨烯的表面等离子体极化波可变传播宽度波导，包括：叠合在一起的硅衬底和二氧化硅衬底，在硅衬底上设有阶梯形带状突起，在二氧化硅衬底上设有与阶梯形带状突起相适配的阶梯形带状凹槽，且所述阶梯形突起嵌入阶梯形凹槽中，在二氧化硅衬底上设有石墨烯层。偏置电压源的一极加在硅衬底上，另一极加在石墨烯上。通过设计硅衬底不同区域的厚度和偏置电压，此基于石墨烯的表面等离子体极化波可变传播宽度波导的传播宽度会随着所加偏置电压的不同而不同。本实用新型专利技术可工作于多个频点，重量轻，加工方便，易于集成，具有良好的应用前景。?（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及ー种使用石墨烯实现的表面等离子体极化波可变传播宽度波导，尤其是此基于石墨烯的表面等离子体极化波可变传播宽度波导的传播宽度可以通过施加不同的偏置电压来改变。
技术介绍
自2004年发现石墨烯以来，引起了人们强烈的研究兴趣。Ashkan Vakil和Nader Engheta教授于2011年提出了基于石墨烯的表面等离子体极化波(SPP波)波导(“Transformation optics using graphene,^Science 332 (6035),1291-1294,2011) 现在，我们提出一种基于石墨烯的SPP波可变传播宽度波导，它不仅具有石墨烯SPP波波导损耗小，介电常数可调的优点，同时还具备它的传播宽度也具备可调性的优点。G.W. Hanson教授提出，石墨烯的电导率可以由Kubo公式表示为(“Dyadic Green’s functions and guided surface waves lor a suriace conductivity model of graphene,，，J. AppI.Phys. 103(6),064302，2008)，

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基于石墨烯的表面等离子体极化波可变传播宽度波导，其特征在于，包括叠合在一起的硅衬底(10)和ニ氧化硅衬底(11)，在硅衬底(10)上设有阶梯形带状突起...

【专利技术属性】
技术研发人员：陆卫兵，朱薇，许红菊，董正高，
申请(专利权)人：东南大学，
类型：实用新型
国别省市：