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基于石墨烯的表面等离子体极化波可变传播宽度波导制造技术
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下载基于石墨烯的表面等离子体极化波可变传播宽度波导的技术资料
文档序号:7865547
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一种基于石墨烯的表面等离子体极化波可变传播宽度波导,包括:叠合在一起的硅衬底和二氧化硅衬底,在硅衬底上设有阶梯形带状突起,在二氧化硅衬底上设有与阶梯形带状突起相适配的阶梯形带状凹槽,且所述阶梯形突起嵌入阶梯形凹槽中,在二氧化硅衬底上设有石墨...
该专利属于东南大学所有,仅供学习研究参考,未经过东南大学授权不得商用。
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