管加热装置制造方法及图纸

揭露了一种管加热装置。所述管加热装置其构造能被简化且其生产能以简单的方式进行，它是通过覆盖管路而对管路进行加热的管加热装置，包括：内片材，其这样覆盖所述管路，即，所述片材的一表面朝向所述管路的外表面；分布在所述内片材的另一表面上的发热丝；堆叠在所述内片材的另一表面上的隔热垫，其配置为隔绝所述发热丝发出的热；及配置为将所述发热丝固定至所述内片材或所述隔热垫的缝迹，所述装置可简化管加热装置的结构和制造工艺。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及对管加热装置，尤其涉及对供给半导体制造エ艺，IXDエ艺，化学エ艺所需之气体或液体的管路进行加热的管加热装置。
技术介绍
半导体制造エ艺、IXD (液晶显示器)エ艺、化学エ艺等中，安装多条管路以供给反应气体或液体。这些エ艺需要沿管路移动的气体或液体保持恒定 的温度。若因温度变化会发生固化的气体或液体沿管路移动，则温度变化时管路内部可能会有颗粒。为了防止发生这ー情况，需要将沿管路移动的气体或液体保持为恒定的温度。图I示出了现有的管加热装置。现有的管加热装置是这样制作的，即，将镍铬丝之类的发热丝40设置在两块相互堆叠的片材38和39以形成加热层34，并且将加热层34附接至聚合物泡沫或硅树脂海绵橡胶之类的隔热护套36的内表面。发热层34和隔热护套36制造为与管P的形状相对应。具体地，通过将其中设有发热丝40的两块板材38和39放置在模具中并且进行加热，从而使得加热层34路P的形状相对应。此外，通过将发热层34放置在与管P的形状相对应的模具中然后使得泡沫材料发泡而制造隔热护套36。现有的管加热装置需要两块用以制造发热层的片材，使得结构较为复杂，并且使得发热丝因其在制造エ艺中的移动而相互交叉，从而在使用过程中有发生短路的风险。此外，由于加热层设置在模具中并且使得泡沫材料发泡，因此制造エ艺较为复杂。
技术实现思路
[技术问题]本专利技术提供了一种结构和制造エ艺较为简单的管加热装置。[技术方案]本专利技术的ー个方面为ー种管加热装置，其配置为通过覆盖管路而对管路进行加热，包括内片材，其这样覆盖所述管路，即，所述片材的一表面朝向所述管路的外表面；分布在所述内片材的另一表面上的发热丝；叠置在所述内片材的另一表面上的隔热垫，其配置为隔绝所述发热丝发出的热；及配置为将所述发热丝固定至所述内片材或所述隔热垫的缝迹。所述发热丝可包括一束不锈钢纤维，这样，所述不锈钢纤维的直径在8 Pm 14 y m之间。所述发热丝还包括覆盖所述一束不锈钢纤维的隔热涂层。所述管加热装置还包括护套，其配置为通过覆盖所述隔热而将所述隔热垫保持到所述管。此外，所述管加热装置还包括控制单元，其配置为通过与所述发热丝电气连接而控制所述发热丝的温度。所述内片材和所述隔热垫可通过粘合剂相互连接。所述隔热垫和所述护套可通过粘合剂相互连接。所述内片材可由耐热材料制成。所述内片材和所述隔热垫的形状了与所述管路的形状相对应。可对所述内片材和所述隔热垫进行缝合而使其相互连接。可对所述隔热垫和所述护套进行缝合而使其相互连接。[有益效果]根据本专利技术的实施例，管加热装置的结构和制造エ艺较为简单。附图说明图I示出了现有的管加热装置；图2为根据本专利技术实施例的管加热装置的立体图；图3为根据本专利技术实施例的管加热装置的剖视图；图4为根据本专利技术另一实施例的管加热装置的立体图；图5示出了如何使用根据本专利技术另ー实施例的管加热装置。<主要元件的描述>12 :管路14:内片材16 :发热丝18 :隔热垫20 :缝迹22 :护套28 :维克罗型紧固件28。30 :控制装置具体实施例方式由于本专利技术可有多种排列组合和实施例，因此后文将參考附图描述某些实施例。然而，这绝不意味着将本专利技术限制为某些实施例，并且本专利技术应解释为包括所有本专利技术的概念及范围所覆盖之排列组合、等同物、及代替物。本专利技术的描述中，当对某ー技术的描述会脱离本专利技术的专利技术点时，则省略相关的详细描述。下文将參考附图描述根据本专利技术的某些实施例。參考附图对实施例的描述中，对任何相同或相应的元件标以相同的标号，并且不重复描述相同或相对应的元件。图2为根据本专利技术实施例的管加热装置的立体图，图3为根据本专利技术实施例的管加热装置的剖视图。图2和3示出了管路12、内片材14、发热丝16、隔热垫18、护套22、缝迹(stitch) 20、通孔24和26、及维克罗(Velcro)型紧固件28。根据本实施例的覆盖管路12并且对其进行加热的管加热装置包括内片14，所述内片14这样覆盖管路12，S卩，内片14的一面能够朝向管路12的外表面；分布在内片14的另ー表面上的发热丝16 ;堆叠在内片材14的所述另ー表面上的隔热垫18，其隔绝发热丝16发出的热；及将发热丝16固定至内片14或隔热垫18的缝迹20，藉此可简化管加热装置的结构和制造エ艺。半导体制造エ艺，IXDエ艺，或化学エ艺中传送气体或液体之类流体的管路12以及在管路12中移动的流体需要保持为恒定温度。内片14这样覆盖管路12，S卩，内片14的一面能够朝向管路12的外表面，并且在管路12中流动的高温流体或者发热丝16所发出的热不会使得内片14变形，下文将描述。内片14可由耐热材料制成，例如，玻璃纤维、金属纤维、芳族聚酸胺纤维、耐热复合物纤维、耐热织物(包括由玄武岩拉出的玄武岩纤维)、玻璃纤维加强片材之类的耐热片材、及耐热硅树脂。根据管路12的形状形成内片14，以使得可覆盖要被加热的管路12。内片14的ー个表面上还可包括保护层(未示)，以免内片14与管路12直接接触时由摩擦或热对内片14的损伤。与内片14类似，保护层可由耐热材料制成。发热丝16根据管路12的形状分布在内片14的另ー表面，以使发热丝16所发出的热均匀地散发至管路12以加热管路12。发热丝16可使用电阻丝，诸如公知电阻较大的镍铬丝、镍铬钢丝、镍铜、镍钢等。同吋，由含有不锈钢的材料制成的电阻丝也可用于发热丝16。含有不锈钢材料的 电阻丝比镍铬丝的挠性更大，这样，尽管重复弯曲也不容易断开，由此防止由断开造成的问题。此外，可将一束不锈钢纤维用作发热丝16。不锈钢纤维的直径可在8 m到14 m之间，将具有所述直径的不锈钢纤维捆在一起以用作发热丝16。通过将纤维束用作发热丝16，发热丝16的挠性变得更大，由此可半永久性地使用，尽管重复弯曲也不会断开。可使用隔热涂层覆盖不锈钢纤维束以使得不锈钢纤维束保持直线形状，并且防止与相邻的发热丝断开。特氟龙(Teflon)之类的隔热材料可用作隔热涂层。在使用或制造管加热装置时为了防止发热丝16发生移动，需将发热丝16固定至内片14或隔热垫18。为此，本专利技术中，将发热丝16缝至内片14或隔热垫18。本实施例提出了这样ー种形式，即用线将发热丝16缝至内片14。用以固定发热丝16的缝线可由耐热纤维制成。隔热垫18隔绝热，以使发热丝16发出的热不会泄露至外部。由凯夫拉尔纤维、PBO(聚苯并噁唑)纤维、玻璃纤维之类的隔热纤维编织而成的织物可用作隔热垫18。可根据管路12的形状对这些种类的隔热材料进行裁剪以用作隔热垫18。还可以根据管路12的形状使得硅树脂、聚合物、环氧树脂、聚氨酯等发泡而用作隔热垫18。将发热丝16缝至并且固定至内片14或隔热垫18。可通过人工将发热丝16缝至内片14或隔热垫18或使用缝纫机将发热丝16缝至内片14或隔热垫18，从而将发热丝16固定至内片14或隔热垫18。本实施例提出了这样ー种将发热丝16缝至并且固定至内片14的形式。通过跨发热丝16縫合以将其固定至内片14从而形成缝迹20。沿分布在内片14的另ー表面上的发热丝16的长度方向以规则的间隔形成缝迹20,防止发热丝16在管加热装置的使用或制造过程中移动。还可以包缝形式(over-lookfashion)紧密地形成缝迹20以覆盖发热丝16,从本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2009.08.05 KR 10-2009-00719041.ー种管加热装置，其配置为通过覆盖管路而对管路进行加热，包括 内片材，其这样覆盖所述管路，即，所述片材的一表面朝向所述管路的外表面； 分布在所述内片材的另一表面上的发热丝； 叠置在所述内片材的所述另ー表面上的隔热垫，其配置为隔绝所述发热丝发出的热；及 配置为将所述发热丝固定至所述内片材或所述隔热垫的缝迹。2.如权利要求I所述的管加热装置，其中所述发热丝包括一束不锈钢纤维。3.如权利要求2所述的管加热装置，其中所述不锈钢纤维的直径在8y m 14 y m之间。4.如权利要求2所述的管加热装置，其中所述发热丝还包括覆盖所述一束不锈钢纤维的隔热涂层。5.如...

【专利技术属性】
技术研发人员：宋范植，
申请(专利权)人：崔仁善，
类型：发明
国别省市：