本发明专利技术公开了一种监控离子注入机异常的方法和装置，以提高产品的质量和降低产品的报废率。装置包括：输入隔离单元，用于接收离子注入机的剂量控制器发送的异常报警信号和传片控制器发送的注入运行信号并输出；中央处理单元，用于在接收到所述输入隔离单元输出的注入运行信号之后，当接收到所述输入隔离单元输出的异常报警信号时，输出语音报警通知消息；语音报警单元，用于根据所述中央处理单元输出的所述语音报警通知消息，进行语音报警。采用本发明专利技术技术方案，实现在离子注入机在注入过程中的真空度超出预设的真空度范围时进行报警，以确保缩短真空度较高或较低的状态持续时间，从而提高产品的质量和降低产品的报废率。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体设备制造领域，尤其涉及一种监控离子注入机异常的方法和装置。
技术介绍
在集成电路的制造中，EATON公司生产的NV1080、NV10160等NVlO系列的离子注入机广泛应用于当前国内6集成电路生产线；离子注入机是一种高真空设备，在生产过程(即离子注入机的注入过程)中，离子注入机内部的注入真空度将直接影响到产品的良率，过高或过低的注入真空度将会导致产品的相关参数(如掺杂阻值)超出预设的范围继而导致产品报废的问题。现有的离子注入机在注入过程中若真空度过低或过高时，只会在该离子注入机的屏幕上显示异常，单不具备报警功能；正常情况下，离子注入机在注入过程中其内部真空度稳定在一定范围内，若真空度过高或过低时，现有的离子注入机不具备报警功能，也不会主动的进行相应的处理，若异常情况持续较长时间而得不到及时处理的话，将可能影响产品性能，甚至会导致产品报废的问题；因此，在实际生产过程中，离子注入机常会由于注入真空过高而使得产品掺杂阻值过高，从而导致产品报废的问题；导致注入真空过高的主要原因如下生产时，在未对产品进行注入前或在注入过程中，由于一些调机参数不在菜单范围内，离子注入机中的DATAL0CK(即数据锁定)系统会自动限制真空注入，从而使得离子注入机一直处于抽真空状态的异常状态，若操作人员没能及时发现该异常状态时，离子注入机则会因为抽真空时间较长使得真空度高于预设的范围，从而可能会导致产品报废的问题。因此，现有的离子注入机在实际的生产过程中，不能确保真空度在预设的真空度范围内，从而存在注入真空的真空度过高而使得产品掺杂阻值过高，从而导致产品报废的问题。
技术实现思路
针对现有技术中存在的上述技术问题，本专利技术提供一种监控离子注入机异常的方法和装置，以实现在离子注入机在注入过程中的真空度超出预设的真空度范围时进行报警，以确保缩短真空度较高或较低的状态持续时间，从而提高产品的质量和降低产品的报废率。一种监控离子注入机异常的装置，包括输入隔离单元，与离子注入机的剂量控制器和传片控制器相连接，用于接收所述剂量控制器发送的异常报警信号和所述传片控制器发送的注入运行信号，并输出所述异常报警信号和所述注入运行信号；中央处理单元，与所述输入隔离单元相连接，用于在接收到所述输入隔离单元输出的注入运行信号之后，当接收到所述输入隔离单元输出的异常报警信号时，输出语音报警通知消息；语音报警单元，与所述中央处理单元相连接，用于根据所述中央处理单元输出的所述语音报警通知消息，进行语音报警。一种监控离子注入机异常的方法，包括输入隔离单元接收离子注入机的剂量控制器发送的异常报警信号和所述离子注入机的传片控制器发送的注入运行信号，并输出所述异常报警信号和所述注入运行信号；中央处理单元在接收到所述输入隔离单元输出的注入运行信号之后，当接收到所述输入隔离单元输出的异常报警信号时，输出语音报警通知消息；语音报警单元根据所述中央处理单元输出的所述语音报警通知消息，进行语音报m 目O本专利技术实施例提供的装置在接收到离子注入机的传片控制器发送的注入运行信号之后，在接收到该离子注入机的剂量控制器发送的异常报警信号时，能够产生语音报警，从而可以及时的通知操作人员对该离子注入机的异常状态进行处理，以避免离子注入机长久的保持在真空度较高或较低的状态，而影响产品性能从而可能导致产品报废的问题。附图说明图I为本专利技术实施例中监控离子注入机异常的装置的结构示意图；图2A为本专利技术实施例中输入隔离单元的电路结构示意图；图2B为本专利技术实施例中输出隔离单元的电路结构示意图；图3为本专利技术实施例中监控离子注入机异常装置的硬件结构示意图；图4为本专利技术实施例中监控离子注入机异常的方法流程图；图5为本专利技术实施例中监控离子注入机异常的具体的方法流程图。具体实施例方式针对现有技术存在的技术问题，本专利技术实施例提供一种监控离子注入机异常的方法和装置，以实现在离子注入机在注入过程中的真空度超出预设的真空度范围时进行报警，以确保缩短真空度较高或较低的状态持续时间，从而提高产品的质量和降低产品的报废率；该装置可包括输入隔离单元，与离子注入机的剂量控制器和传片控制器相连接，用于接收所述剂量控制器发送的异常报警信号和所述传片控制器发送的注入运行信号，并输出所述异常报警信号和所述注入运行信号；中央处理单元，与所述输入隔离单元相连接，用于在接收到所述输入隔离单元输出的注入运行信号之后，当接收到所述输入隔离单元输出的异常报警信号时，输出语音报警通知消息；语音报警单元，与所述中央处理单元相连接，用于根据所述中央处理单元输出的所述语音报警通知消息，进行语音报警。采用本专利技术提供的装置，在接收到离子注入机的传片控制器发送的注入运行信号之后，在接收到该离子注入机的剂量控制器发送的异常报警信号时，能够产生语音报警，从而可以及时的通知操作人员对该离子注入机的异常状态进行处理，以避免离子注入机长久的保持在真空度较高或较低的状态，而影响产品性能从而可能导致产品报废的问题。下面结合说明书附图对本专利技术技术方案进行详细的描述。参见图1，为本专利技术是实施例中监控离子注入机异常的装置的结构示意图，该装置可包括输入隔离单元11，与离子注入机的剂量控制器和传片控制器相连接，用于接收所述剂量控制器发送的异常报警信号和所述传片控制器发送的注入运行信号，并输出所述异常报警信号和所述注入运行信号；中央处理单元12，与输入隔离单元11相连接，用于在接收到输入隔离单元11输出的注入运行信号之后，当接收到所述输入隔离单元输出的异常报警信号时，输出语音报警通知消息；语音报警单元13，与中央处理单元12相连接，用于根据中央处理单元12输出的所述语音报警通知消息，进行语音报警。较佳地，为提高语音报警的有效性、灵活性和多样性，本专利技术实施例中，中央处理单元12进一步用于，在输出所述语音报警通知消息之前根据储的异常报警信号与语音类 型的对应关系(该对应关系可以存储在中央处理器的存储器中)，确定出与接收到的异常报警信号对应的语音类型，并在所述语音报警通知消息中添加确定出的语音类型的标识信息；相应地，语音报警单元13，具体用于采用与所述语音报警通知消息中的标识信息对应的语音进行语音报警。或者，中央处理单元12进一步用于，在输出所述语音报警通知消息之前，在所述语音报警通知消息中添加异常报警信号信息；相应地，语音报警单元13，具体用于根据存储的异常报警信号与语音类型的对应关系(该对应关系可以存储在该语音报警单元13中)，确定出与所述语音报警通知消息中的异常报警信号对应的语音类型，并采用该语音类型对应的语音进行语音报警。采用上述方式，操作人员可根据报警语音即可快速的定位出异常状态，从而可以快速的解决异常状态。较佳地，为避免离子注入机在注入过程中长久处于真空度较高的状态的问题，以确保离子注入机的真空度在设置的真空度范围内，本专利技术实施例中的上述装置还包括输出隔离单元14 ；中央处理单元12进一步用于，在语音报警单元13进行语音报警的时长到达预设的第一时长阈值时，启动输出隔尚单兀14 ；输出隔离单元14，与中央处理单元12相连接，用于向所述离子注入机的传片控制器发送禁止注入信号(如可采用END STATION HOLD信号)，以控制所述传片控制器停止注入。较佳地，便于中央本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种监控离子注入机异常的装置，其特征在于，包括 输入隔离单元，与离子注入机的剂量控制器和传片控制器相连接，用于接收所述剂量控制器发送的异常报警信号和所述传片控制器发送的注入运行信号，并输出所述异常报警信号和所述注入运行信号； 中央处理单元，与所述输入隔离单元相连接，用于在接收到所述输入隔离单元输出的注入运行信号之后，当接收到所述输入隔离单元输出的异常报警信号时，输出语音报警通知消息； 语音报警单元，与所述中央处理单元相连接，用于根据所述中央处理单元输出的所述语音报警通知消息，进行语音报警。2.如权利要求I所述的装置，其特征在于，所述中央处理单元进一步用于，在输出所述语音报警通知消息之前根据存储的异常报警信号与语音类型的对应关系，确定出与接收到的异常报警信号对应的语音类型，并在所述语音报警通知消息中添加确定出的语音类型的标识信息；所述语音报警单元，具体用于采用与所述语音报警通知消息中的标识信息对应的语音进行语音报警； 或者，所述中央处理单元进一步用于，在输出所述语音报警通知消息之前，在所述语音报警通知消息中添加异常报警信号信息；所述语音报警单元，具体用于根据存储的异常报警信号与语音类型的对应关系，确定出与所述语音报警通知消息中的异常报警信号对应的语音类型，并采用该语音类型对应的语音进行语音报警。3.如权利要求I或2所述的装置，其特征在于，还包括输出隔离单元； 所述中央处理单元进一步用于，在所述语音报警单元进行语音报警的时长到达预设的第一时长阈值时，启动输出隔尚单兀； 输出隔离单元，与所述中央处理单元相连接，用于向所述离子注入机的传片控制器发送禁止注入信号，以控制所述传片控制器停止注入。4.如权利要求3所述的装置，其特征在于，还包括 计时单元，与所述中央处理单元相连接，用于在所述语音报警单元进行语音报警时开始计时，并在计时时长到达所述第一时长阈值时，通知所述中央处理单元已到达第一时长阈值。5.如权利要求3所述的装置，其特征在于，所述中央处理单元进一步用于，在接收到所述输入隔离单元输出的注入运行信号之后的第二时长阈值内确定所述离子注入机未启动注入流程时，启动所述输出隔离单元。6.如权利要求5所述的装置，其特征在于，还包括 时间显示单元，与所述中央处理单元相连接，用于在所述中央处理单元接收到所述注入运行信...
【专利技术属性】
技术研发人员：林伟旺，胡德明，陈春河，黄秉诚，
申请(专利权)人：北大方正集团有限公司，深圳方正微电子有限公司，
类型：发明
国别省市：
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