本发明专利技术提供一种图案形成方法。从沿着基板(W)的表面(Wf)向扫描移动方向(Ds)移动的嘴体(N)喷出含有光固性材料的涂敷液，并且从以追随嘴体(N)的方式移动的光射出部(E)对涂敷液照射光(例如UV光)。在到达涂敷结束位置时，嘴体(N)停止喷出涂敷液，并且嘴体(N)向与基板表面(Wf)相分离的方向退避。另一方面，对于光照射部(E)而言，继续向扫描移动方向(Ds)移动，从而光能够可靠地照射到涂敷液的末端部。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及通过从相对于基板表面移动的嘴体对基板表面涂敷含有光固性材料的涂敷液并对该涂敷液进行光照射从而在基板上形成图案的图案形成技木。
技术介绍
作为在基板表面形成规定的图案的技术，有以下技术与图案形状相配合地涂敷含有光固性材料的涂敷液，并对涂敷液照射光(例如紫外线(UV光))来使涂敷液固化。例如，在本案申请人之前所公开的日本特开2010-278225号公报记载的技术中，为了在光电转换器件(具体而言为太阳能电池)的表面形成布线图案而利用该技木。更详细而言，在该技术中，从相对于基板移动的嘴体将含有光固性树脂的涂敷液涂敷在基板表面上，并且对涂敷液照射UV光来使之固化，从而形成用于流入布线材料的隔壁。而且，通过向由这样形成的隔壁所夹着的沟部中流入液体状的布线材料，来在基板表面形成高纵横比(aspect) 的布线图案。但是，在通过涂敷涂敷液及对涂敷液进行光照射来形成图案的技术中，还有如下的问题。即，为了在維持涂敷于基板的涂敷液的形状不变的状态下使涂敷液固化，对从嘴体刚刚喷出之后的液体进行光照射是有效的。但是，若对紧挨着嘴体的位置照射光，则在嘴体的喷出ロ周边，涂敷液被光照射而变硬凝固，这可能会使喷出ロ堵塞。若为了避免此情况而从远离嘴体的位置进行光照射，则喷出后的涂敷液在光固化前向周围蔓延，而不能得到所期望的截面形状。尤其是当使用了粘度比较低的涂敷液时，该问题较显著。另外，若向涂敷液射出光的光射出部与嘴体之间的距离远，则在涂敷末端位置结束从嘴体喷出涂敷液的时刻，涂敷液的末端部未充分地照射光，固化不充分从而图案形状往往会走样。这样，在现有的图案形成技术中，难以同时防止涂敷液在嘴体周边处凝固和使涂敷后的涂敷液可靠地固化。
技术实现思路
本专利技术是鉴于上述问题而做出的，其目的在于，对于通过在基板表面涂敷含有光固性材料的涂敷液并进行光照射从而在基板上形成图案的图案形成技术，提供能够防止涂敷液在嘴体周边处凝固而且能够可靠地对涂敷后的涂敷液照射光来使之固化的技木。为了实现上述目的，本专利技术所涉及的图案形成方法的特征在于，包括第一エ序，一边使嘴体沿着基板的表面向规定的扫描移动方向相对移动，一边从所述嘴体的喷出ロ连续地喷出含有光固性材料的涂敷液，第二エ序，使光射出单元以追随所述嘴体的方式沿着所述基板的表面向所述扫描移动方向相对移动，并对涂敷于所述基板的所述涂敷液进行光照射，从而使所述光固性材料光固化。并且，当所述嘴体相对于所述基板的相对位置到达规定的涂敷结束位置时，从所述喷出口停止喷出所述涂敷液，并且使所述嘴体向与所述基板的表面相分离的方向相对于所述基板的表面相对移动；在所述嘴体与所述基板的表面相分离后，使所述光射出単元相对于所述基板向所述扫描移动方向相对移动来进行光照射，直到照射到因所述喷出口停止喷出而终断的所述涂敷液的末端部为止。在这样构成的专利技术中，喷出涂敷液的嘴体在涂敷结束位置结束喷出并且与基板表面相对性地分离，从而使涂敷于基板表面的涂敷液与嘴体可靠地分离。然后，通过使光射出单元进一步向扫描移动方向相对移动，由此即使在停止喷出的时刻，基板上的涂敷液存在光未照射到的未照射部分，也能够使光照射到该部分从而使该部分固化。此时，由于嘴体退避到与基板表面相分离的位置，因此能够防止在嘴体的喷出口的周围光照射到涂敷液而使其固化的现象。这样，根据本专利技术，通过防止涂敷液在嘴体周边处凝固，并且可靠地对涂敷后的涂敷液照射光来使之固化，从而能够以所期望的形状形成图案。另外，由于在嘴体退避后使光射出单元扫描移动从而能够对基板上的涂敷液进行光照射，因此无需勉強地将嘴体和光射出単元接近配置，根据该点也能够有效地防止涂敷液在嘴体周边处凝固。在该图案形成方法中，例如可以是，在嘴体到达涂敷结束位置时，嘴体停止相对于 基板向扫描移动方向相对移动，并停止从喷出口喷出涂敷液，然后嘴体与基板表面相分离。如果这样，在嘴体移动停止了的状态下停止从喷出口喷出涂敷液，之后进行嘴体的离开动作，因此能够防止在喷出ロ周边残存的涂敷液垂落在基板上或产生涂敷液的末端部被嘴体细细地拉长而形成的拖丝，从而能够抑制图案形状的不规则。另外，例如更优选，在从开始对涂敷液进行光照射起到结束对涂敷液的末端部的光照射为止的期间，光射出単元和基板表面之间的间隔维持恒定。通过这样，对涂敷液进行光照射的条件均匀，使图案的固化程度恒定，并且能够恰当地控制其形状。另外，例如也可以，在从开始对涂敷液进行光照射起到停止从喷出口喷出涂敷液为止的期间，嘴体和光射出単元在扫描移动方向上的间隔维持恒定，即该期间，嘴体和光射出単元一体地相对于基板相对移动。这种动作能够通过比较简单的装置结构实现，而且，因为从喷出涂敷液到进行光照射的时间差恒定，所以在控制图案形状方面也是有效的。另外，例如也可以，通过将嘴体的位置固定并使基板移动，来实现嘴体相对于基板的相对移动。无论使基板、嘴体中的哪ー个移动，都能够实现嘴体相对于基板的相对移动，但若将嘴体固定并使基板移动，则能够将因伴随移动而产生的对嘴体的冲击或振动所引起的涂敷液的滴垂或轨迹的摇摆防患于未然。另外，为了实现上述目的，本专利技术所涉及的图案形成装置的特征在于，具有基板保持単元，其保持基板，嘴体，其具有喷出口，该喷出口能够连续地喷出含有光固性材料的涂敷液，光射出単元，其对从所述喷出口喷出的所述涂敷液射出光，以及移动机构，其使所述嘴体沿着由所述基板保持単元保持的所述基板的表面向规定的扫描移动方向相对移动，并使所述光射出单元以追随所述嘴体的方式沿着所述基板的表面向所述扫描移动方向相对移动；当借助所述移动机构相对于所述基板相对移动的所述嘴体到达规定的涂敷结束位置时，停止从所述喷出口喷出所述涂敷液，并且所述移动机构使所述嘴体向与所述基板的表面相分离的方向相对于所述基板的表面相对移动；在所述嘴体与所述基板的表面相分离后，所述移动机构使所述光射出単元相对于所述基板向所述扫描移动方向相对移动来进行光照射，直到照射到因所述喷出口停止喷出而终断的所述涂敷液的末端部为止。这样构成的专利技术，具有适于执行上述的图案形成方法的装置结构，并如上所述进行动作，由此能够得到与上述的图案形成方法的专利技术同样的效果。即，根据本专利技术，防止涂敷液在嘴体周边处凝固，并且可靠地对涂敷后的涂敷液照射光来使之固化，从而能够以所期望的形状形成图案。在本专利技术中，例如可以，移动机构一边将光射出単元和基板表面之间的间隔维持恒定，一边使光射出単元相对于基板向扫描移动方向相对移动。由此，能够使对涂敷液进行光照射的条件均匀，使图案的固化程度恒定，并且能够恰当地控制其形状。另外，例如可以，移动机构一方面将嘴体固定保持在规定位置，另ー方面使基板保持单元移动，移动机构通过使基板保持单元向与扫描移动方向相反的方向移动，来使嘴体相对于基板向扫描移动方向相对移动，当嘴体相对于基板的相对位置到达涂敷结束位置时，使基板保持单元向与嘴体相分离的方向移动。如上所述，通过将嘴体固定并使基板移动，能够防止由对嘴体的冲击或振动引起的垂液或轨迹的摇摆。另外，在嘴体到达涂敷结束位置时，基板保持単元与嘴体相分离，由此能够可靠地防止从嘴体垂液或拖丝。 在该情况下，例如也可以，一方面在扫描移动方向上一体地支撑光射出単元和嘴体，另ー方面，在与基板表面相接近及分离的接近分离方向上以本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
2011.03.25 JP 2011-0670411.一种图案形成方法，其特征在干， 包括 第一エ序，一边使嘴体沿着基板的表面向规定的扫描移动方向相对移动，ー边从所述嘴体的喷出口连续地喷出含有光固性材料的涂敷液， 第二エ序，使光射出单元以追随所述嘴体的方式沿着所述基板的表面向所述扫描移动方向相对移动，并对涂敷于所述基板的所述涂敷液进行光照射，从而使所述光固性材料光固化； 当所述嘴体相对于所述基板的相对位置到达规定的涂敷结束位置时，从所述喷出口停止喷出所述涂敷液，并且使所述嘴体向与所述基板的表面相分离的方向相对于所述基板的表面相对移动； 在所述嘴体与所述基板的表面相分离后，使所述光射出単元相对于所述基板向所述扫描移动方向相对移动来进行光照射，直到照射到因所述喷出口停止喷出而终断的所述涂敷液的末端部为止。2.根据权利要求I记载的图案形成方法，其特征在于，在所述嘴体到达所述涂敷结束位置时，所述嘴体停止向所述扫描移动方向相对于所述基板相对移动，并停止从所述喷出ロ喷出所述涂敷液，然后所述嘴体与所述基板的表面相分离。3.根据权利要求I或2记载的图案形成方法，其特征在于，在从开始对所述涂敷液进行光照射起到结束对所述涂敷液的所述末端部的光照射为止的期间，所述光射出単元和所述基板的表面之间的间隔维持恒定。4.根据权利要求I或2记载的图案形成方法，其特征在于，在从开始对所述涂敷液进行光照射起到停止从所述喷出口喷出所述涂敷液为止的期间，所述嘴体和所述光射出単元在所述扫描移动方向上的间隔维持恒定。5.根据权利要求I或2记载的图案形成方法，其特征在于，通过将所述嘴体的位置固定并使所述基板移动，来实现所述嘴体相对于所述基板的相对移动。6.一种图案形成装置，其特征在干， 具有 基板保持単元，其保持基板， 嘴体，其...
【专利技术属性】
技术研发人员：岩岛正信，真田雅和，
申请(专利权)人：大日本网屏制造株式会社，
类型：发明
国别省市：
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