未熔硅锭高度的测量系统技术方案

本发明专利技术揭示了一种未熔硅锭高度的测量系统，其包括驱动机构以及通过所述驱动机构所驱动的测定机构。所述测定机构包括气缸、探测固态硅锭的探棒、连接在所述气缸与所述探棒之间的压力传感器以及可编程逻辑控制器，所述压力传感器电性连接至所述可编程逻辑控制器；本测量系统的测量精度高且结构简单。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种在硅锭熔化过程中应用的未熔硅锭高度的測量系统。
技术介绍
通常，硅锭熔化过程一般是在ー种熔炉内进行，而未熔硅锭的高度和形状对硅锭熔化过程的质量至关重要，反过来硅锭熔化过程的质量对于硅锭熔体的晶体生长的成功是 必须的。在熔化过程中，硅锭的高度和形状受多个变量的影响，诸如加热器功率、粒状多晶硅进料速率、进料位置等等。为了更好的确保晶体生长在最优条件下完成，应在整个熔化过程中对未熔的硅锭进行高度測量。现有的測量系统包括使用带有传统光源的光电倍增管或电荷耦合器件(CXD)摄像机，或者使用激光测距仪或类似器件，然而这些方法的測量精确度不够，而且结构复杂，制造成本比较高。
技术实现思路
本专利技术的目的在于针对现有技术中的上述缺陷，提供ー种未熔硅锭高度的測量系统，其測量精度高且结构简单。为实现上述专利技术目的，本专利技术采用了如下技术方案ー种未熔硅锭高度的測量系统，其特征在于包括驱动机构以及通过所述驱动机构所驱动的测定机构，所述测定机构包括气缸、探測固态硅锭的探棒、连接在所述气缸与所述探棒之间的压カ传感器以及可编程逻辑控制器，所述压カ传感器电性连接至所述可编程逻辑控制器。此外，本专利技术还提出如下附属技术方案所述驱动机构为电缸。所述探棒为石英杆，并且其顶部还设有浮动元件。所述未熔硅锭高度的測量系统还包括触摸屏，所述触摸屏与所述可编程逻辑控制器相电性连接。所述气缸设有活塞杆。所述气缸的顶部安装有光电传感器。所述未熔硅锭高度的測量系统还包括基架，所述驱动机构安装在所述基架上。所述基架上安装有电线保护链。所述未熔硅锭高度的測量系统还包括可沿着所述电缸进行运动的运动底板，所述測定机构固定安装在所述运动底板上。所述未熔硅锭高度的測量系统安装在熔炉的上盖上。相比于现有技术，本专利技术的优点在干本专利技术所提供的未熔硅锭高度的測量系统，其通过驱动机构以及通过所述驱动机构所驱动的测定机构来实现对未熔硅锭的高度的测定，其測量方法简单、测得的数据精度高，而且驱动机构和測定机构的结构比较简单。附图说明图I是对应于本专利技术较佳实施例的未熔硅锭高度的測量系统与熔炉的平面装配图。图2是图I的未熔硅锭高度的測量系统安装于熔炉的上盖的立体示意图。图3是沿着图2中a圈的放大图。具体实施例方式以下结合较佳实施例及其附图对本专利技术技术方案作进ー步非限制性的详细说明。 參照图1，对应于本专利技术较佳实施例的未熔硅锭高度的測量系统1，其安装在熔炉3的上盖32上，用于对熔炉3内的未熔硅锭5的高度进行测量。进ー步參照图2至图3,上述未熔娃锭高度的测量系统I,包括驱动机构12以及通过所述驱动机构12所驱动的測定机构14。所述驱动机构12为电缸，其内设有伺服电机和丝杠(均图未示)，用于驱动測定机构14的上下移动。所述测定机构14固定安装在一运动底板11上，该运动底板11可沿着电缸12的侧面13进行上下移动。该测定机构14包括气缸16、探测未熔硅锭5的探棒18、连接在所述气缸16与所述探棒18之间的压力传感器20以及可编程逻辑控制器(PLC)(图未示)，其中所述压カ传感器20电性连接至所述可编程逻辑控制器(PLC)。气缸16为双出杆气缸，调节气压，使其活塞杆(图未示)的推力大于固态硅锭5的阻力，但又不至于破坏之，预计该力在3公斤左右，这样以气缸16作为ー个“恒カ弹簧”，其“弹簧力”在I. 1-5. 5公斤之间可调。上述探棒18为石英杆，其伸入熔炉3内以便探測未熔硅锭5。另外，探棒18的顶端还安装有浮动元件19，以在探测过程中保护探棒18。此外，上述未熔硅锭高度的測量系统还包括基架22以及与所述可编程逻辑控制器(PLC)相电性连接的触摸屏(图未示)。其中，可编程逻辑控制器(PLC)与触摸屏的设置对于本领域一般技术人员而言是熟知的，故在此省略对其的详细描述。所述驱动机构12，即电缸固定安装在所述基架22上，而基架22本身固定支撑在熔炉3的上盖32上。该测量系统I的电线(图未示)被包覆在电线保护链24内，该电线保护链24安装在基架22上，其一端26连接至运动底板11，而另一端28固定在基架22上，这样便可防止在运动底板11的运动过程中将电线损坏。上述未熔硅锭高度的測量系统I的工作原理和过程大致如下启动机器，电缸12工作并驱动上述測定机构14沿着其侧面13向下运动；当探棒18接触到未熔硅锭5时，探棒18停止向下移动，并且触发压カ传感器20，当达到压カ传感器设定值时，压カ传感器20对可编程逻辑控制器(PLC)发出停止电缸12向下运行的指令，同时命令电缸12上行，并且同时PLC得到指令后通过逻辑运算之后会在触摸屏上显示探棒18上下运行的距离，即可测量出未熔硅锭5的高度。此外，所述气缸16的顶部还安装有光电传感器17，以气缸16的活塞杆作为检测目标，万一压カ传感器20失灵的话，该光电传感器17会立即对PLC发出停止整个机构的动作，并且命令电缸12上行，从而对该测量系统起到多重保护的作用。可见，本专利技术所提供的未熔硅锭高度的測量系统，其通过驱动机构以及通过所述驱动机构所驱动的測定机构来实现对未熔硅锭的高度的測定，其測量方法简单、测得的数据精度高，而且驱动机构和测定机构的结构比较简单。需要指出的是，上述较佳实施例仅为说明本专利技术的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人士能够了解本专利技术的内容并据以实施，并不能以此限制本专利技术的保护 范围。凡根据本专利技术精神实质所作的等效变化或修饰，都应涵盖在本专利技术的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.ー种未熔硅锭高度的測量系统，其特征在于包括驱动机构以及通过所述驱动机构所驱动的測定机构，所述测定机构包括气缸、探測固态硅锭的探棒、连接在所述气缸与所述探棒之间的压力传感器以及可编程逻辑控制器，所述压カ传感器电性连接至所述可编程逻辑控制器。2.根据权利要求I所述的未熔硅锭高度的測量系统，其特征在于所述驱动机构为电缸。3.根据权利要求I所述的未熔硅锭高度的測量系统，其特征在于所述探棒为石英杆，并且其顶部还设有浮动元件。4.根据权利要求I所述的未熔硅锭高度的測量系统，其特征在于还包括触摸屏，所述触摸屏与所述可编程逻辑控制器相电性连接。5.根据权利要求I所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：周迅，朱成，
申请(专利权)人：苏州禹石自动化工程技术有限公司，
类型：发明
国别省市：