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本发明揭示了一种未熔硅锭高度的测量系统,其包括驱动机构以及通过所述驱动机构所驱动的测定机构。所述测定机构包括气缸、探测固态硅锭的探棒、连接在所述气缸与所述探棒之间的压力传感器以及可编程逻辑控制器,所述压力传感器电性连接至所述可编程逻辑控制器...该专利属于苏州禹石自动化工程技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州禹石自动化工程技术有限公司授权不得商用。
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