一种便携式真空规校准装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种便携式真空规校准装置，用于较宽量程范围内现场或实验室真空规的校准或测试，属于测量技术领域。包括机械泵、第一真空阀门、分子泵、第二真空阀门、第一真空规、第二真空规、第三真空规、阀门、第四真空规、小孔、微调真空阀门、气源、真空室和第五真空规；整个系统之间采用管路连接。本实用新型专利技术采用参考标准直接比对校准真空规，当被校准范围在10-1～105Pa时，采用电容薄膜规作为参考标准，当校准范围在10-6～10-2Pa时，采用B-A型副标准电离规作为参考标准，校准过程根据被校准范围选择合适的参考标准并确定真空室需要的真空度。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及ー种便携式真空规校准装置，用于较宽量程范围内现场或实验室真空规的校准或测试，属于测量

技术介绍
在众多的科研生产过程中，采用大量的真空规监测产品生产过程，其測量结果对产品的质量具有重要影响，但实验室校准过的真空规在现场使用中，由于环境条件的变化測量结果与实验室校准数据产生较大偏差，同时大量的真空规送往实验室校准将会导致生产线停止生产，造成严重的经济损失。因此本专利提出了一种便携式真空规校准装置，系统的重量小于40公斤,校准范围为1(Γ6 105Pa。 文献“比对法真空计量标准装置的研制”，《宇航计测技木》第66期、1992年第6期、第70 73页”，介绍了比对法真空规的校准方法及校准系统，但其校准范围为10_4 IO5Pa,且在10_4 KT1Pa压カ范围内通过磁悬浮转子规进行测量，这种测量方法的下限受制于磁悬浮转子规测量下限，同时磁悬浮转子规成本比较昂贵，再加上该系统比较庞大，只适合在实验室使用，无法满足现场真空规的校准需求。本专利提出了一种便携式真空规校准装置，通过參考标准现场比对校准真空规，系统具有质量轻(小于40公斤)、校准范围宽(10_6 IO5Pa)本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种便携式真空规校准装置，其特征在于包括机械泵(I)、第一真空阀门(2)、分子泵(3)、第二真空阀门(4)、第一真空规(5)、第二真空规(6)、第三真空规(7)、阀门(8)、第四真空规(9)、小孔(10)、微调真空阀门(11)、气源(12)、真空室(13)和第五真空规(14)；机械泵(I)与第一真空阀门(2)的一端连接，第一真空阀门(2)的另一端与分子泵(3)的一端连接，分子泵(3)的另一端与第二真空阀门(4)的一端...

【专利技术属性】
技术研发人员：卢耀文，
申请(专利权)人：江苏东方航天校准检测有限公司，
类型：实用新型
国别省市：