【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及厚度振动模式的压电振子,尤其涉及具有所谓的台面型结构的压电振动元件(振动元件)、压电振子(振子)、压电振荡器(振荡器)以及电子设备。
技术介绍
使用了 AT切割水晶振动元件的水晶振动元件,由于其振动模式为厚度剪切振动,且频率温度特性呈现优异的三次曲线,因此被应用于电子仪器等的多个方面。在专利文献I中,公开了一种所谓的台面型结构的压电振子(AT切割水晶振子),该压电振子具有与斜面结构以及凸面结构相同的能量封入效果。目前已知,对于边长比(边的长度相对于厚度的比)较小的厚度剪切振子而言,当边长比未被恰当地设定时,因压电基板的轮廓尺寸而引起的轮廓振动(弯曲振动等)将与主振动结合,从而使主振动的特性劣化。在专利文献2中,公开了鉴于如下问题而实施的技术,所述问题为,当以台面型结构形成AT切割水晶振子,并在台面部和薄壁部之间的边界部处,边界部的侧壁相对于主面成90°时,将导致从激励电极延伸出的引出电极(引线电极)发生断线,该技术通过使边界部的侧壁倾斜或者成为曲面,从而能够防止引线电极的断线。此外,还公开了如下内容,即,通过使振动部分的表面粗糙度成为平均粗糙度为0 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
2011.03.09 JP 2011-051311;2011.03.09 JP 2011-051311.一种振动元件,其特征在于,具备压电基板, 所述压电基板包括 激励部,其激励厚度剪切振动,且在两端的侧面上分别设置有阶梯部; 周边部,其与所述激励部的厚度相比厚度较薄, 在所述周边部上,于所述激励部进行激励时的振动位移充分衰减的区域的两主面上,配置有至少ー个突起部。2.如权利要求I所述的振动元件,其特征在于,具备 激励电极,其被配置在所述激励部的表面和背面的主面上; 引出电极,其从所述激励电极起朝向所述周边部的一个端部延伸出; 衬垫,其与所述引出电极电连接,且被设置在所述周边部的一个端部上。3.如权利要求I或2所述的振动元件,其特征在干, 所述突起部以将所述激励部夹在中间的方式而被设置在所述周边部的另ー个端部侧。4.如权利要求3所述的振动元件,其特征在干, 所述激励部为矩形, 所述阶梯部被配置在所述激励部的ー个方向上的两端部的侧面上。5.如权利要求4所述的振动元件,其特征在干, 所述压电基板为如下的水晶基板,即,以水晶的结晶轴、即作为电轴的X轴、作为机械轴的Y轴、作为光学轴的Z轴形成的直角坐标系中的所述X轴为中心,将使所述Z轴向所述Y轴的-Y方向倾斜了的轴设为τ'轴,将使所述Y轴向所述ζ轴的+ζ方向倾斜了的轴设为V轴,所述水晶基板被构成在与所述X轴和所述ζ'轴平行的面内,且以与所述Y'轴平行的方向作为厚度方向, 所述激励部的所述ー个方向上的两端部与所述ζ'轴平行, 所述突起部沿着端缘而设置,所述端缘沿着所述ζ'轴。6.如权...
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