压电振动片、压电振动器、振荡器、电子设备及电波钟制造技术

本发明专利技术提供一种能够抑制重锤金属膜剥落以抑制频率变动的压电振动片、压电振动器、振荡器、电子设备及电波钟。压电振动片(4)包括：在宽度方向上并列配置的一对振动臂部(10、11)；将一对振动臂部(10、11)上的延伸方向的基端一侧连接起来的基部(12)；以及形成在振动臂部(10、11)的外表面上的重锤金属膜(21)，其特征在于，在避开振动臂部(10、11)的长度方向的前端部的回避区域(R)的位置形成重锤金属膜(21)。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及压电振动片、压电振动器、振荡器、电子设备及电波钟。
技术介绍
在便携电话或便携信息终端设备上，例如大多采用利用了水晶(石英)等的压电振动器作为时刻源或控制信号等的定时源、参考信号源等。作为这种压电振动器有一种是在形成空腔的封装件(package)内气密密封了音叉型的压电振动片。封装件的构造是在一对玻璃基板之中的一方形成了凹部的状态下使其相互叠合，并通过直接接合两者而使凹部作为空腔发挥功能。另外，压电振动片的构成则是具备在长度方向(长边方向)上延伸并且在宽度方向上并列配置的一对振动臂部；和将这两个振动臂部的基端侧连结起来的基部，两振动臂部以基端侧作为起点在接近、分离的方向上以既定的谐振频率进行振动(摆动)。作为制造这样所构成的压电振动器时的振动臂部的频率调整方法有一种如下进行调整的方法，就是在压电振动片上的振动臂部的前端预先形成由Cr、Au、Ag等构成的重锤金属膜，并通过激光照射部分地除去(修整；trimming)重锤金属膜以使振动臂部的频率成为目标频率(例如，参照专利文献I)。专利文献I :日本专利公开特开2002-164759号公报然而，在上述的压电振动器中，伴随于便携电话或便携信息终端设备的小型化人们希望更加小型、薄型化。因此，压电振动片与封装件的内表面的厚度方向上的间隙(clearance)变得非常狭窄(例如20 μ m 100 μ m左右)。在此情况下，在气密密封后使压电振动器落下而进行的冲击特性试验时等，就担心振动臂部的前端部因振动臂部在厚度方向上进行振动而接触到封装件的内表面。于是，就有形成在振动臂部的前端部的重锤金属膜因振动臂部接触到封装件的内表面时的冲击而剥落，从而使振动臂部的频率发生变动这种问题。针对于此，人们还考虑通过激光照射积极地除去振动臂部的前端部的重锤金属膜，但是源于激光照射的位置精度(例如20 μ m 50 μ m左右)还会在前端部残存不少重锤金属膜。
技术实现思路
因而，本专利技术就是鉴于上述问题而构思的，其目的是提供一种能够抑制重锤金属膜剥落以抑制频率变动的压电振动片、压电振动器、振荡器、电子设备及电波钟。为了解决上述课题，本专利技术提供如下方案。本专利技术所涉及的压电振动片，其中包括在宽度方向上并列配置的一对振动臂部；将上述一对振动臂部上的延伸方向的基端一侧连接起来的基部；以及形成在上述振动臂部的外表面上的重锤金属膜，其特征在于，上述重锤金属膜避开上述振动臂部的上述延伸方向的前端部的回避区域而形成。根据这一构成，因将重锤金属膜形成在避开振动臂部的前端部的回避区域的位置，故在将压电振动片气密密封于封装件内的情况下压电振动片(振动臂部的前端)在厚度方向上进行了振动时，即便振动臂部的前端部接触到封装件的内表面，亦能够抑制重锤金属膜从振动臂部剥落。因此，就能够抑制在频率调整后频率发生变动，所以能够提供在振动特性上表现出色的高品质的压电振动片。另外，通过预先避开回避区域来形成重锤金属膜，就无需为了除去形成在振动臂部的前端部的重锤金属膜而使用高精度的激光装置。其结果还能够抑制制造成本的增加。另外，本专利技术的特征在于上述重锤金属膜通过激光照射被部分地除去，从而使上述振动臂部的频率被调整成目标频率，上述回避区域的上述延伸方向上的长度被设定成大于上述激光照射所造成的误差。根据这一构成，在通过激光照射除去回避区域的重锤金属膜的情况下，无论激光装置的位置精度如何都能够可靠地除去回避区域的重锤金属膜。由此，就能够抑制重锤金属膜从振动臂部剥落。另外，本专利技术所涉及的压电振动器，其特征在于上述本专利技术的压电振动片被气密密封于封装件而构成。根据这一构成，由于上述本专利技术的压电振动片被气密密封于封装件，所以能够在谋求小型、薄型化的基础上，提供在振动特性上表现出色的高品质的压电振动器。另外，本专利技术的振荡器，其特征在于上述本专利技术的压电振动器作为振子与集成电路电连接。另外，本专利技术的电子设备，其特征在于上述本专利技术的压电振动器与计时部电连接。另外，本专利技术的电波钟，其特征在于上述本专利技术的压电振动器与滤波部电连接。本专利技术所涉及的振荡器、电子设备及电波钟能够提供可靠性高的振荡器、电子设备及电波钟。根据本专利技术的压电振动片，由于能够抑制频率调整后频率发生变动，所以能够提供在振动特性上表现出色的高品质的压电振动片。根据本专利技术的压电振动器，能够提供在振动特性上表现出色的高品质的压电振动器。本专利技术的振荡器、电子设备及电波钟能够提供可靠性高的振荡器、电子设备及电波钟。附图说明图I是表示本专利技术实施方式所涉及的压电振动器的外观立体图。图2是图I所示的压电振动器的内部结构图，并且是拆卸了盖基板这一状态的俯视图。图3是图2的A-A剖线处的剖视图。图4是图I所示的压电振动器的分解立体图。图5是压电振动片的俯视图。 图6是压电振动片的仰视图。图7是图5的B-B剖线处的剖视图。图8是表示压电振动器的制造方法的流程图。图9是表示压电振动片的制造方法的流程图。图10是圆片(wafer)接合体的分解立体图。图11是本专利技术实施方式中的振荡器的概略结构图。图12是本专利技术实施方式中的便携信息设备的概略结构图。 图13是本专利技术实施方式中的电波钟的概略结构图。(标号说明)I压电振动器；4压电振动片；5封装件；10、11振动臂部；12基部；21重锤金属膜；100振荡器；101振荡器的集成电路；110便携信息设备(电子设备)；113电子设备的计时部；130电波钟；131电波钟的滤波部；C空腔；R回避区域。具体实施例方式以下，基于附图来说明本专利技术的实施方式。(压电振动器)图I是表示从盖基板一侧观看本实施方式中的压电振动器的外观立体图。另外，图2是压电振动器的内部结构图，并且是在拆卸了盖基板这一状态下俯视压电振动片的图。另外，图3是沿着图2所示A-A剖线的压电振动器的剖视图，图4是压电振动器的分解立体图。如图I至图4所示，本实施方式的压电振动器I具有使基底基板2和盖基板3经接合材料35而阳极接合的箱状封装件5，即该压电振动器I是在该封装件5内部的空腔C内密封了压电振动片4的表面安装型的压电振动器。此外，在图4中为便于观看附图而省略后述的激振电极15、引出电极19、20、装配电极16、17及重锤金属膜21的图示。图5是构成压电振动器I的压电振动片4的俯视图，图6是压电振动片4的仰视图，图7是沿着图5的B-B剖线的剖视图。如图5至图7所示，压电振动片4在被施加既定电压时进行振动，具备由水晶、钽酸锂或铌酸锂等压电材料所形成的音叉型压电板24。该压电板24具有平行配置的一对振动臂部10、11 ;将一对振动臂部10、11的基端侧一体地固定的基部12。另外，在压电板24的外表面上还设有使一对振动臂部10、11振动的由第一激振电极13和第二激振电极14构成的激振电极15 ；以及与第一激振电极13及第二激振电极14电连接的装配电极16、17。此外，在压电板24还形成有沿着振动臂部10、11的长度方向(延伸方向)分别形成于一对振动臂部10、11的两主表面上的槽部18。该槽部18被形成于自振动臂部10、11的基端侧至大致中间附近之间。由第一激振电极13和第二激振电极14构成的激振电极15，是使一对振动臂部IOUl在彼此接近或分离的方向上以既定的频率进行振动的电极，在一对振动臂部10本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员：小林高志，
申请(专利权)人：精工电子有限公司，
类型：发明
国别省市：