【技术实现步骤摘要】
本专利技术总地涉及半导体器件、微电子机械系统(MEMS)、传感器,更具体地说,涉及与信号处理电子电路集成在同一个基片上的三维三轴力传感器。特别是,涉及用于消费产品和其它用途的三轴手指力传感器、手指鼠标和微动操纵杆。
技术介绍
用带有在柔性膜片上的应力敏感元件的微加工的硅片制成的三维力传感器是已 知的。图I中所示的已有技术采用一个由芯片(die)的刚性框架12和刚性的中心部分16构成的传感器芯片10,中心部分、即凸部由一个较薄的膜片14连接于框架12。一个外部施加的力可被传递到刚性支柱16,该支柱的挠变可使弹性的膜片14内产生变形和应力,而达到应力敏感IC元件18、20、22所在的位置。由于刚性的支柱16是位于芯片10的厚度尺寸之内,以及圆的膜片的宽度很小且处于不到一毫米的范围内,很难在横向的X和Y方向对刚性支柱16施加外力来得到良好的响应,因此已有技术的这种应用不能适用于许多消费产品和人机界面。为了解决这个不足,把一个刚性的力传递元件31添加于芯片10和支柱16的结构。用一个居间层33把这个刚性的力传递元件31牢固地联接于传感器芯片10的刚性支柱16。刚性支柱的高度延伸到芯片框架的厚度以上可增强传感器对在所有正交的方向施加的向量力的灵敏度。力的那些分量被传递到传感器芯片的刚性支柱,继而传递到弹性部件和敏感IC元件。但是,这种解决办法的缺点是,需要用作刚性的力传递元件的附加晶片,需要进行附加的微加工,需要把两个晶片对准和结合起来,还需要更复杂的过程来把芯片分离于晶片,以及通常还需要成本更高的制造过程。人们所需要的是这样一种器件,它能降低制造和生产成本,并能 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
2006.01.06 US 60/756,2001.一种在单个基片上的用于感受向量力并将其转换成用于处理的电信号的力输入控制器件,该控制器件包括 传感器芯片,该传感器芯片能感受施加于该芯片内的刚性支柱的力的量值和方向,并且还包括联接于力传递刚性支柱的弾性元件、联接于所述弹性元件的周缘的芯片框架、在所述弹性元件上的一个或多个应カ敏感元件、信号处理1C,芯片电联接于所述基片, 其中,所述芯片的所有元件都形成在单个半导体基片上, 其中,所述刚性支柱的高度大于所述框架的厚度和所述弹性元件的厚度之间的差值。2.如权利要求I所述的用于感受向量力并将其转换成用于处理的电信号的力输入控制器件,其特征在于,它还包括 包覆着传感器芯片的外部力传递元件,该外部力传递元件感知外力并将外力传递到传感器芯片的刚性支柱,所述传感器芯片根据被施加的力的量值和方向产生ー组输出信号, 其中,所述外部力传递元件用容易被以批量方式施加于多个传感器芯片的材料来制造,所述材料选自包括下列材料的材料组塑料、弾性材料、以及以上材料的组合。3.一种在单个基片上的用于感受向量力并将其转换成用于处理的电信号的力输入控制器件,该控制器件包括 形成在单个半导体基片内的传感器芯片; 在所述半导体基片内的弾性元件; 框架,该框架围绕着所述弹性元件形成并联接于完全在所述基片内的所述弹性元件的周缘的至少一部分; 定位在所述弹性元件中的ー个或多个机械应カ敏感IC元件,用于提供与所述ー个或多个IC元件所在位置内的机械应カ成比例的输出电信号; 至少ー个成形在初始基片上的刚性支柱,该支柱联接于所述弹性元件并可把外部的向量力传递到所述弹性元件进而传递到所述IC元件,所述IC元件产生输出电信号; 其中,所述刚性支柱的高度大于所述框架的厚度和所述弹性元件的厚度之间的差值。4.如权利要求3所述的カ输入控制器件,其特征在干,所述半导体基片是用选自包括下列材料的材料组中的材料制造的硅、锗、碳化硅、金刚石类的碳、神化镓、氮化镓、磷化铟、以及元素周期表的III、IV和V族中的元素。5.如权利要求3所述的カ输入控制器件,其特征在干,所述半导体基片上的所述弹性元件有环形的或η边多边形的几何形状和均匀的厚度,并且该厚度小于毗邻的所述框架元件的厚度,所述刚性支柱位于所述弾性元件的中央区域。6.如权利要求3所述的カ输入控制器件,其特征在于,所述弹性元件具有不均匀的厚度。7.如权利要求3所述的カ输入控制器件,其特征在干,所述弹性元件在其厚度尺寸内有至少ー个穿透部分。8.如权利要求3所述的カ输入控制器件,其特征在干,它还包括至少ー个定位在所述弾性元件上的应カ集中元件,该应カ集中元件的形状选自包括下列形状的ー组形状V形槽、梯形槽、侧壁与所述弹性元件的表面形成约90°角的槽以及组合。9.如权利要求3所述的カ输入控制器件,其特征在干,所述刚性支柱元件的形状选自下列ー组形状圆锥体、圆柱体、半球体、球体、多面锥体、多面柱体、多面半球体、多面球体以及组合。10.如权利要求3所述的カ输入控制器件,其特征在于,所述刚性支柱元件具有至少ー种不均匀结构,这种不均匀性选自下列一组不均匀结构空腔、沟槽、孔、高台、突脊、桥、悬臂、负的斜坡区域以及它们的组合。11.如权利要求3所述的カ输入控制器件,其特征在于,它还包括把外力耦合到所述刚性支柱元件的弹簧元件,该弹簧元件选自包括下列弹回元件的一组弹簧元件弹簧、薄梁、金属丝、弾性的塑料杆、弾性的塑料摇摆按钮、像脊椎骨那样的结构、带有机械反馈的弾性拱顶、内部充满液体的塑料壳、充满胶体的塑料壳、弾性材料按钮或它们的组合。12.如权利要求3所述的カ输入控制器件,其特征在于,所述应カ敏感IC元件选自包括下列应カ敏感IC元件的一组元件压敏电阻器、pn结、隧道ニ极管、肖特基ニ极管、剪切应力元件、压阻惠斯登电桥、MOS晶体管、CMOS晶体管的互补对、双极晶体管、p-n-p和n-p-n双极晶体管对、双极晶体管和连接于它的至少ー个压敏电阻器、MOS晶体管和连接于它的至少ー个压敏电阻器、双极晶体管电路、以及CMOS晶体管电路或组合。13.如权利要求3所述的カ输入控制器件,其特征在于,它还包括可提供包括下列功能的一组功能中的功能的电子电路模拟信号放大、模ー数和数一模转换、多路传输、信号处理、门逻辑、存储、数字接ロ、电源管理、编码加密、压缩和解压、混合的信号处理、发送和接收无线信号、感受除力之外的各种物理域以及它们的组合。14.如权利要求3所述的カ输入控制器件,其特征在干,它还包括连接于所述刚性支柱的顶部的附加的力传递元件,该附加的力传递元件提供的表面面积比所述刚性支柱的顶部的表面面积大,用干与外部カ传递元件更好地连接,用于从所述刚性支柱那ー侧保护所述弹性元件,该附加的力传递元件用选自下列ー组材料的材料制造塑料、金属、半导体、陶瓷、玻璃以及它们的组合。15.如权利要求3所述的カ输入控制器件,其特征在于,它还包括连接于所述刚性支柱的顶部和弾性壳的附加的刚性カ传递元件,该弹性壳用于产生机械反馈,使得可感受对被按压的按钮的点击并发出用于启动所要求的电子动作的信号。16.如权利要求3所述的カ输入控制器件,其特征在于,它还包括连接于所述刚性支柱的顶部的附加的刚性カ传递元件,该附加的刚性カ传递元件设有附加的空腔、沟槽、隆起和突脊,用于更好地结合于外部力传递元件、用于保护所述弹性元件以及用于附加的机械过载保护。17.一种用于制造一种在单个基片上的用于感受向量力并将其转换成用于处理的电信号的力输入控制器件的方法,该方法包括以下步骤 准备有第一侧面和第二侧面的半导体基片; 在所述基片的第一侧面上制造一个或多个应カ敏感IC元件和信号处理IC ; 在所述基片的第二侧面上制造闭合的沟槽,这些沟槽形成限定弾性元件、框架区域以及刚性支柱的界线;以及 在所述框架区域从所述基片的第二侧面除去附加的基片材料,使所述刚性支柱的尺寸...
【专利技术属性】
技术研发人员:弗拉多米尔·瓦格诺夫,
申请(专利权)人:弗拉多米尔·瓦格诺夫,
类型:发明
国别省市:
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