旋转中心测定装置及方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及半导体自动化设备领域，尤其涉及一种旋转中心测定装置及方法，包括主体、电源系统、数据传输系统、控制系统以及至少两个角加速度传感器，所述目标固定于所述主体上且二者同心，所述主体固定于旋转台上，所述电源系统、数据传输系统以及角加速度传感器分别设于所述主体上，所述电源系统为所述角加速度传感器供电，所述角加速度传感器测得的一组角加速度值通过数据传输系统传送至所述控制系统，所述控制系统根据该组角度加速度值、旋转台的角速度以及各角加速度传感器所处的位置计算出所述目标的实际中心相对于所述旋转台的旋转中心的偏差以进行补偿。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及半导体自动化设备领域，尤其涉及ー种利用角加速度传感器測定旋转中心的装置及方法。
技术介绍
在半导体制造
中，经常需要测定目标(一般为硅片)的旋转中心，例如光阻涂布机涂布或显影等过程中，需要确定旋转中心以及放置于设备上的目标的实际中心之间的偏差，用以精确定位目标的位置，对所述的偏差进行补偿，进而精确的完成涂布、显影等工作。目前，測定或调整旋转中心的方法有两种 1.CO)(电荷稱合元件,英文全称Charge-coupled Device)成像对准方式测定调整方法，如图I所示，其结构包括旋转台10、c⑶镜头11、中心刻线制具12以及传送手臂13，直接利用CCD镜头11分别抓取所述中心刻线制具12旋转0°和180°的位置，并与所述旋转台10的中心，即旋转中心进行比较，将偏差值传送至调试系统，最終利用传送手臂对目标的位置进行调整，这种方法需要将CCD镜头以及调试系统连接，补正參数，通常适用于装机；2. EBR宽度偏差方式测定调整方法，如图2所示，间接利用洗边宽度EBR (电子束录像机)上下左右四个位置測定的偏差，图中实线和虚线十字中心分别为实际中心和旋转中心，利用如下公式计算，补正參数，dx = I c~a，dy = I d-b但这种方法需要晶圆涂胶，不能重复利用，且精度较差，通常适用于保养。因此，如何提供ー种既能简化旋转中心测定过程又能够提升制具重复利用效率的旋转中心測定装置及方法是本领域的技术人员亟待解决的ー个技术问题。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种旋转中心測定装置及方法，以简化旋转中心测定过程，提升制具重复利用效率。为解决上述技术问题，本专利技术提供了一种旋转中心測定装置，包括主体、电源系统、数据传输系统、控制系统以及至少两个角加速度传感器，所述目标固定于所述主体上且二者同心，所述主体固定于所述旋转台上，所述电源系统、数据传输系统以及角加速度传感器分别设于所述主体上，所述电源系统连接所述角加速度传感器，为所述角加速度传感器供电，所述控制系统通过所述数据传输系统与所述角加速度传感器连接，所述角加速度传感器测得的ー组角加速度值通过数据传输系统传送至所述控制系统，所述控制系统根据该组角度加速度值、旋转台的角速度以及各角加速度传感器所处的位置计算出所述目标的实际中心相对于所述旋转台的旋转中心的偏差以进行补偿。较佳地，所述电源系统、数据传输系统以及角加速度传感器分别嵌入式设于所述主体上。较佳地，所述角加速度传感器分别设于所述主体的两条相互垂直的十字中心线上。较佳地，所述电源系统包括电源以及电源线，所述电源通过电源线为所述角加速度传感器供电。较佳地，所述电源为锂电池。较佳地，所述数据传输系统包括存储器、蓝牙设备以及数据线，所述数据线连接所述存储器和所述角加速度传感器，所述蓝牙设备将所述存储器中的所述角加速度传感器 测得的数据传送至所述控制系统。较佳地，所述主体采用能够被真空吸附的材料。较佳地，所述主体的边缘设有一凹槽。本专利技术还提供了一种旋转中心測定方法，采用如上所述的旋转中心測定装置，其特征在于，所述旋转台以角速度Qci旋转，所述至少两个角加速度传感器测得ー组角加速度值a，根据所述角速度Oci、ー组角加速度值a以及各角加速度传感器所处的位置，计算出所述目标的实际中心相对于所述旋转台的旋转中心的的偏差。较佳地，根据所述旋转台角速度以及所述角加速度值a，利用公式Coci · r2 =a，计算出各角加速度传感器与所述旋转台的旋转中心之间的距离r;再根据已经求得的各角加速度传感器与所述旋转台的旋转中心之间的距离r以及各角加速度传感器所处的位置利用勾股定理得到所述目标的实际中心相对于所述旋转台的旋转中心的偏差。本专利技术提供的旋转中心測定装置及方法，用于测定旋转台的旋转中心与放置于所述旋转台上的目标的实际中心的偏差并进行补偿，包括主体、电源系统、数据传输系统、控制系统以及至少两个角加速度传感器，所述目标固定于所述主体上且二者同心，所述主体固定于所述旋转台上，所述电源系统、数据传输系统以及角加速度传感器分别设于所述主体上，所述电源系统为所述角加速度传感器供电，所述角加速度传感器测得的ー组角加速度值通过数据传输系统传送至所述控制系统，所述控制系统计算出所述目标的实际中心相对于所述旋转台的旋转中心的偏差以进行补偿，附图说明图I为现有的CXD成像对准方式测定调整方法示意图；图2为现有的EBR宽度偏差方式测定调整方法示意图；图3为本专利技术的实施例I的旋转中心測定装置结构示意图；图4为本专利技术的实施例I的计算方法坐标图；图5为本专利技术的实施例2的旋转中心測定装置结构示意图；图6为本专利技术的实施例3的旋转中心測定装置结构示意图。图7为本专利技术的实施例3的旋转中心測定装置结构示意 图8为本专利技术的实施例3的计算方法坐标图。 图中10-旋转台、II-CCD镜头、12-中心刻线制具、13-传送手臂；实施例I中21-主体、22-电源系统、23-数据传输系统、24-角加速度传感器、25-凹槽；实施例2中31_主体、32-电源系统、33-数据传输系统、34-角加速度传感器、35-凹槽；实施例3中41_主体、42-电源系统、43-数据传输系统、44-角加速度传感器、45-凹槽；具体实施例方式为使本专利技术的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本专利技术的具体实施方式做详细的说明。 实施例I 本专利技术提供的旋转中心測定装置，用于测定旋转台(图中未示出)的旋转中心与放置于所述旋转台上的目标(例如是晶圆)的实际中心的偏差以进行补偿，如图3所示，包括主体21、电源系统22、数据传输系统23、控制系统(图中为示出)以及3个角加速度传感器24，所述目标固定于所述主体21上且二者同心，所述主体21固定于所述旋转台上，所述电源系统22、数据传输系统23以及3个角加速度传感器24分别设于所述主体21上，所述电源系统22连接所述角加速度传感器24，为所述角加速度传感器24供电，所述控制系统通过所述数据传输系统23与所述角加速度传感器24连接，所述角加速度传感器24测得的ー组角加速度值通过数据传输系统23传送至所述控制系统，所述控制系统根据该组角度加速度值、旋转台的角速度以及各角加速度传感器24所处的位置计算出所述目标的实际中心相对于所述旋转台的旋转中心的偏差以进行补偿。通过在所述主体21上设置3个角加速度传感器24，根据测得的角加速度值ai、a2、a3以及预先设定的旋转角速度Qtl能够得到所述3个角加速度传感器24分别相对于旋转台的旋转中心的距离巧、r2、r3，再根据所述3个角加速度传感器24所处的位置的坐标，从而确认所述目标的实际中心相对于所述旋转台的旋转中心的坐标。较佳地，如图3所示，所述电源系统22、数据传输系统23以及角加速度传感器24分别嵌入式设于所述主体21上。这样，将所述的电源系统22、数据传输系统23以及角加速度传感器24分别嵌入式设于所述主体21上，在安装该装置时只需将所述主体21固定与所述旋转台即可，避免毎次应用该装置需重复设定所述电源系统22、数据传输系统23以及角加速度传感器24的位置，方便快捷，节省人力及时间，进一歩的，选择嵌入式方式，能够避免对所述电源系统22、数据传输系统23以及角加速度传感器24的碰撞，导致各零部件本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种旋转中心測定装置，其特征在于，包括主体、电源系统、数据传输系统、控制系统以及至少两个角加速度传感器，所述目标固定于所述主体上且二者同心，所述主体固定于所述旋转台上，所述电源系统、数据传输系统以及角加速度传感器分别设于所述主体上，所述电源系统连接所述角加速度传感器，为所述角加速度传感器供电，所述控制系统通过所述数据传输系统与所述角加速度传感器连接，所述角加速度传感器测得的ー组角加速度值通过数据传输系统传送至所述控制系统，所述控制系统根据该组角度加速度值、旋转台的角速度以及各角加速度传感器所处的位置计算出所述目标的实际中心相对于所述旋转台的旋转中心的偏差以进行补偿。2.如权利要求I所述的旋转中心測定装置，其特征在于，所述电源系统、数据传输系统以及角加速度传感器分别嵌入式设于所述主体上。3.如权利要求I所述的旋转中心測定装置，其特征在于，所述角加速度传感器分别设于所述主体的两条相互垂直的十字中心线上。4.如权利要求I所述的旋转中心測定装置，其特征在于，所述电源系统包括电源以及电源线，所述电源通过电源线为所述角加速度传感器供电。5.如权利要求4所述的旋转中心測定装置，其特征在于，所述电源为锂电池。6.如权...

【专利技术属性】
技术研发人员：林晓瑜，赵开乾，程奥博，何虎，
申请(专利权)人：上海华力微电子有限公司，
类型：发明
国别省市：