【技术实现步骤摘要】
本技术属于光电探测器
，具体是一种利用氧化铟锡(ITO)纳米颗粒增效的近红外光电探测器。技术背景近红外辐射主要是指由热源产生的780 3000nm范围的电磁波，辐射源温度的变化决定了红外辐射的能量分布，温度越高红外辐射对于的波长越趋于短波，因此，人们可以利用红外辐射的探测来寻找、跟踪热源。这种应用在民用和军用上有着广阔的前景，例如人们利用近红外探测器监控火灾，在军事方面，近红外探测器可广泛应用于夜间观察、军事目标跟踪等方面，而成为现代军队不可或缺的必备设备。在光电探测器领域，光谱响应度是探测器的重要技术参数之一，目前红外探测器正在向高分辨率、高灵敏度发展。随着红外探测器技术的发展，对其性能指标提出了更高的要求，如精确测量红外探测器的光谱响应度及响应度均匀性等方面。因此提高光电探测器的光谱响应度是光电探测器的重要关键技术之一。表面等离子体激元是光与金属或半导体材料表面的自由电子之间的相互作用形成的一种电磁波传输模式。这种电磁波模式可将电磁波局域在亚波长的范围内形成共振和传输，电磁波在纳米表面形成极高的光学局域效应。当入射电磁波照射到具有纳米尺度的金属纳米...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种利用氧化铟锡纳米颗粒增效的近红外光电探测器，其特征在于，该近红外探测器从上到下依次包括高红外透过率的透明玻璃(I)、透明电极(2)、光电转换材料(3)、氧化铟锡纳米颗粒(4)及背电极(5)； 入射红外辐射经过透明玻璃(I)、透明电极(2)和光电转换材料(3)后，部分红外辐射被局域在氧化铟锡纳米颗粒(4)表面，产生散射并形成表面等离子体激元传输模式，增加了入射电磁波在光电转换材料(3 )中的有效传输距离。2.根据权利要求I所述的利用氧化铟锡纳米颗粒增效的近红外光电探测器，其特征在于，在探测器的光电转换材料(3 )与背电极(5 )或光电转换材料(3 )与透明电极(2 )之间制备有一层氧化铟锡纳米颗粒(4 )。3.根据权利要求I或2所述的利用氧化铟锡纳米颗粒增效的近红外光电探测器，其特征在于，氧化铟锡纳米颗粒(4)为纳米球或纳米棒或纳米碟或纳米方块的纳米结构。4.根据权利要求I或2所述的利用氧化铟锡纳米颗粒增效的近红外光电探测器，其特征在于，透明电极(2)的制备方法包括磁控溅射法、化...
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