基于多振子串联驱动的柱塞式压电泵制造技术

技术编号：7757545 阅读：155 留言：0更新日期：2012-09-13 19:37

本发明专利技术涉及一种基于多振子串联驱动的柱塞式压电泵，属于流体传输与控制领域。驱动器壳体通过螺钉固定在底板上，泵腔壳体通过螺钉固定在驱动器壳体上；泵腔壳体内部安装有活塞、端部设有进口阀和出口阀；销钉通过螺母紧固在活塞上，销钉通过驱动器壳体上端的通孔进入驱动器壳体内；2-50个压电驱动器通过空心铆钉串联、并置于驱动器壳体内，压电驱动器由一对钵型压电振子通过铆钉铆接而成，钵型压电振子由钵型壳与环形压电晶片粘接而成；串联的第一个压电振子与销钉铆接、最后一个压电振子与底座铆接。本发明专利技术采用多个钵型压电振子串联驱动活塞的方法构造压电泵，具有大流量、高压力及性能稳定的特点，可用于输送液体及气体。