具有抗反射涂层的基板和用于制造该基板的方法技术

本发明专利技术涉及具有抗反射涂层的基板和用于制造该基板的方法。本发明专利技术基于如下任务，即：改善防反光层的抗磨损强度。为此，设置有经涂层的基板，该基板-在至少一侧上具有多层式的抗反射涂层(5)，该抗反射涂层(5)-由具有不同折射率的层来构造，其中，具有较高折射率的层和具有较低折射率的层交替，其中，-具有较低折射率的层由具有铝份额的氧化硅来构造，在这些具有较低折射率的层中-铝的材料量与硅的材料量的比例大于0.05、优选大于0.08，但硅的材料量相对于铝的材料量占优势，并且其中，-具有较高折射率的层包含硅化物、氧化物或者氮化物。

【技术实现步骤摘要】
具有抗反射涂层的基板和用于制造该基板的方法
本专利技术普遍涉及抗反射涂层或设有抗反射涂层的载体。本专利技术尤其涉及具有对抗划伤或其他磨损的高抵抗能力的抗反射涂层。
技术介绍
抗反射涂层目前以多种多样的方式使用于：改善如观察窗玻璃板那样的透明基板的透射率或者另一方面减弱在基板上起干扰作用的反射。但视基板的应用目的而定地，该抗反射涂层可能暴露在高的磨损负荷下。例如速度很高的沙子颗粒和灰尘颗粒在行驶期间碰到车辆观察窗玻璃板的外部涂层上，并且随着时间的流逝，可以使涂层受到损伤。当雨刷器在脏的玻璃板上引导的时候，在这样的玻璃板上也产生特别的负荷。在此，沙子颗粒和灰尘颗粒不仅在玻璃板上经过而且同时通过雨刷器的橡胶唇片压向玻璃板。在涂层中可能以这种方式产生很长的划痕。划痕以及其他的损坏导致变得模糊，并且因此恰好与用于抗反射的涂层起反作用。此外，驾驶员的视线受到妨碍。因此，产生对具有抗划伤和抗磨损的高抵抗能力的抗反射涂层的需求。由US2005/0074591A1公知了具有耐磨损抗反射涂层的透明基板。该抗反射涂层由具有交替的高折射率和低折射率的四个层组合而成。低折射的层由氧化硅(SiO2)制成，高折射本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
2011.02.23 DE 102011012160.9-45;2012.01.20 DE 10201.经涂层的基板(3)，所述基板(3)-在至少一侧上具有多层式的抗反射涂层(5)，所述抗反射涂层(5)-由具有不同折射率的层来构造，其中，具有较高折射率的层和具有较低折射率的层交替，其中，-所述具有较低折射率的层由具有铝份额的氧化硅来构造，在所述具有较低折射率的层中铝的材料量与硅的材料量的比例为n(Al)/(n(Si)+n(Al))>0.05，其中，n(Al)表示铝的材料量并且n(Si)表示硅的材料量，但硅的材料量相对于铝的材料量占优势，其中，-所述具有较高折射率的层包含硅化物、氧化物或者氮化物，并且其中-所述抗反射涂层的表面具有如下的平均粗糙度和均方根粗糙度，所述平均粗糙度和均方根粗糙度关于一平方微米的面积分别为少于1.5纳米。2.根据权利要求1所述的经涂层的基板，其特征在于，所述具有较高折射率的层由具有铝份额的氮化硅来构造，在所述具有较高折射率的层中-铝的材料量与硅的材料量的比例为n(Al)/(n(Si)+n(Al))>0.05，其中，n(Al)表示铝的材料量并且n(Si)表示硅的材料量。3.根据权利要求1所述的经涂层的基板，其特征在于，所述抗反射涂层的表面通过具有较低折射率的、由具有铝份额的氧化硅所制成的层来形成。4.根据权利要求1所述的经涂层的基板，其特征在于，所述抗反射涂层具有在总共200纳米至400纳米的范围内的层厚度。5.根据权利要求1所述的经涂层的基板，其特征在于，在所述具有较低折射率的层中，铝的材料量与硅的材料量的比例为n(Al)/(n(Si)+n(Al))>0.08，其中，n(Al)表示铝的材料量并且n(Si)表示硅的材料量，但硅的材料量相对于铝的材料量占优势。6.根据权利要求1所述的经涂层的基板，其特征在于，所述抗反射涂层具有至少两层具有较高折射率的层和至少两层具有较低折射率的层。7.根据权利要求6所述的经涂层的基板，其特征在于一种具有由四个彼此跟随的层组成的层堆叠的抗反射涂层，其中，最下面的层是含氮化硅的较高折射的层，其中，另外那个含氮化硅的较高折射的、形成所述层堆叠的最上面的高折射层的层具有在所述层堆叠内部最大的层厚度，并且其中，所述层堆叠的最上面的层形成具有较低折射率的、由具有铝份额的氧化硅制成的层，并且具有在所述层堆叠的层中第二大的层厚度，并且其中，第一层和如所述最上面的层那样为具有较低折射率的由具有铝份额的氧化硅制成的层的第二层组合起来具有比所述最上面的层的层厚度更薄的层厚度。8.根据权利要求7所述的经涂层的基板，其中，在所述基板上沉积有含铝的氧化硅层，并且在所述含铝的...

【专利技术属性】
技术研发人员：克里斯蒂安·亨，托尔斯滕·达姆，
申请(专利权)人：肖特公开股份有限公司，
类型：发明
国别省市：