用于加工长的连续的柔性基片的装置和方法制造方法及图纸

描述了一种装置和方法，所述装置和方法使在分离的多段柔性基片材料上的薄膜的精确对准且分辨率高的图案形成，该柔性基片材料从一个鼓展开并在加工后重绕在另一个鼓上。分离的多段基片被夹紧到卡盘上，所述卡盘沿平行于所述基片的长度的方向移动。提供了用于调节所述卡盘的上游和下游的基片的长度变化的调节单元。当夹紧到卡盘时，加工头横跨基片的宽度移动，并且通过使用减少过程和增加过程之一或两者的激光烧蚀、激光照射或喷墨印刷中的一种或其结合来形成图案。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种用于在连续的多段柔性非纺织基片上的多层薄膜中形成细微尺度、精确对准的图案的装置和方法，所述柔性非纺织基片从一个鼓展开并在加工之后重绕在另一鼓上。使用能够形成二维图案的无掩摸的直接写入方法在分离的确定长度内加工基片。具体地，所述方法适于在建立在柔性显示器、光伏板和其他微电子装置中的多层薄膜之上及之间形成电互连和介电部件。
技术介绍
多年来，包装工业和印刷工业已经使用用于将印刷油墨涂覆到很长长度的柔性聚合物和纸材料上的筒对筒加工方法。在这种情况下，所谓的材料薄片被连续地移动，并且重复的油墨图案通过诸如苯胺印刷、胶版印刷和凹版印刷等各种辊传送过程被涂覆到所选区域上。传送辊直径设定了沿薄片流动方向的图案最大重复间距。近年来，随着对低成本的柔性电子装置的增长的需求，已经开发出使用具有电子功能的油墨的苯胺印刷和胶版印刷的连续的筒对筒加工过程。这些薄片连续移动且展开筒和重绕筒连续操作的“飞快(onthe fly) ”的印刷过程是非常快的并且可在薄片加速到每分钟几百米的情况下涂覆油墨图案。然而，由于在改变能可靠印刷的产品材料和设计以及最小线宽方面存在有限的灵活性并具有相对较差的与本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1. 一种用于在分离的确定长度内加工长的连续的多段柔性基片以通过直接写入在所述基片上形成具有高水平位置精度的高分辨率的二维图案的装置，所述装置包括 a.分配单元，所述分配单元用于沿第一方向周期性地分配来自展开鼓的确定长度的所述柔性基片，同时保持所述基片内沿所述第一方向的恒定张力； b.卡盘，分离的确定长度的所述基片周期性地夹紧在所述卡盘上以进行加工； c.第一调节单元，所述第一调节单元用于调节沿所述第一方向的长度变化并保持所述卡盘上游的所述基片内沿所述第一方向的恒定张力； d.第一机械装置，所述第一机械装置用于在分离的某一长度的基片的整个长度上一次或多次沿第一方向来回地精确移动所述卡盘和所连接的所述分离的某一长度的基片； e.安装在所述卡盘上方的加工单元，所述加工单元用于通过直接写入过程在所述确定长度的所述基片上形成高分辨率的二维图案； f.第二机械装置，所述第二机械装置用于在所述基片的所述整个宽度上沿垂直于所述第一方向的第二方向一次或多次来回地精确移动所述加工单元； g.第二调节单元，所述第二调节单元用于调节长度变化并保持所述卡盘下游的所述确定长度的基片内沿所述第一方向的恒定张力； h.重绕单元，所述重绕单元用于在加工之后沿所述第一方向将确定长度的所述柔性基片周期性地重绕在重绕鼓上，同时保持所述基片内沿所述第一方向的恒定张力；以及 i.控制系统，所述控制系统被设置成控制 1.分离的确定长度的所述基片周期性地夹紧到所述卡盘以进行加工以及当所述展开鼓和所述重绕鼓静止时所述卡盘沿所述第一方向的移动； ii.所述卡盘和所述加工单元的移动，借助所述卡盘和所述加工单元二者的同步的连续运动，或者借助所述卡盘和所述加工单元中的一个沿一个方向的一系列连续运动结合所述卡盘和所述加工单元中的另一个沿另一方向的一系列间歇运动； iii.所述加工单元的操作； iv.所述分离的确定长度的基片从所述卡盘的周期性的松开以及所述展开鼓和所述重绕鼓的操作，以将所述确定长度的基片重绕到所述重绕鼓上并从所述分配鼓展开另一分离的确定长度的基片。2.根据权利要求I所述的装置，其中，所述加工单元包括一个或多个光学机构，所述光学机构用于将激光束引导到所述基片的表面上以通过烧蚀过程在所述基片的所述表面中形成细微的图案。3.根据权利要求I所述的装置，其中，所述加工单元包括一个或多个光学机构，所述光学机构用于将激光束引导到所述基片的表面上以便通过光照或热固化的方法在所述基片的所述表面中形成细微的图案。4.根据权利要求I所述的装置，其中，所述加工单元包括一个或多个按需喷墨的喷墨印刷头，所述按需喷墨的喷墨印刷头用于通过沉积结合形成连续区域或细线的功能材料或非功能材料的微流包在所述基片的表面上形成图案。5.根据权利要求I所述的装置，其中，所述加工单元包括一个或多个连续流喷墨印刷头，所述连续流喷墨印刷头用于通过沉积结合形成细线的功能材料或非功能的材料的微流包在所述基片的表面上形成图案。6.根据权利要求4或5所述的装置，其中，所述喷墨印刷头被设置成沉积具有导电的、半导电的或不导电的功能的微流包，并且所述喷墨印刷头是有机的、无机的、金属的或有机金属的类型。7.根据前述权利要求中任一项所述的装置，其中，所述加工单元包括激光头、喷墨印刷头和干燥头的组合。8.根据前述权利要求中任一项所述的装置，其中，所述加工单元包括一个或多个激光束传送单元，所述控制系统被设置成控制所述卡盘和所述加工单元的组合运动，使得所述确定长度的基片的整个区域通过所述加工单元和所述卡盘二者的同步的连续运动或者通过所述加工头或所述卡盘中的一个沿一个方向的一系列连续的往复运动结合所述加工头和所述卡盘中的另一个沿另一方向的一系列间歇运动被加工。9.根据前述权利要求中任一项所述的装置，其中，所述加工单元包括一个或多个激光束传送单元，所述激光束传送单元包括二维扫描器和透镜单元，所述控制系统被设置成控 制所述卡盘和加工头的组合运动，使得所述确定长度的基片的整个区域通过所述加工单元和所述卡盘二者沿任一方向的一系列间歇运动以步进扫描模式被所述激光单元加工。10.根据前述权利要求中任一项所述的装置，其中，...

【专利技术属性】
技术研发人员：P·T·路姆斯比，
申请(专利权)人：万佳雷射有限公司，
类型：发明
国别省市：