下载用于加工长的连续的柔性基片的装置和方法的技术资料

文档序号:7705055

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描述了一种装置和方法,所述装置和方法使在分离的多段柔性基片材料上的薄膜的精确对准且分辨率高的图案形成,该柔性基片材料从一个鼓展开并在加工后重绕在另一个鼓上。分离的多段基片被夹紧到卡盘上,所述卡盘沿平行于所述基片的长度的方向移动。提供了用于调...
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