制造触敏面板的方法技术

一种制造用于触敏面板的透明导电膜的方法，该方法包括：提供分层结构，分层结构包括多个均质层，多个均质层至少包括第一透明导电层、第二透明导电层、以及在第一透明导电层与第二透明导电层之间的透明支撑基板，透明支撑基板是分层结构的最厚层；通过从透明支撑基板的设置有第一透明层的一侧入射到第一透明层上的激光束对第一透明层进行激光烧蚀，来在第一透明导电层中形成电极图案；其中，激光束和透明支撑基板被配置成使得由透明支撑基板将激光束能量密度减小50％以上。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】制造触敏面板的方法
本专利技术涉及制造触敏面板的方法。特别地，本专利技术涉及包括通过激光烧蚀在透明导电层中形成电极图案的方法。
技术介绍
电容式触摸面板技术例如在移动电话、平板电脑、个人数字助理、手持式游戏操作台、卫星导航系统以及其他用户界面操作台中得到广泛应用。在这样的设备中，感应电极的XY阵列形成在透明导电材料层中。在使用中，用户的手指与来自感应电极的投射电容之间形成电容。触摸时，触摸被精确测量并且被转换成命令，该命令由底层电子设备执行以用于适当的软件应用程序。这种面板的优点在于能够准确地响应于手指和触控笔。触摸面板技术的一种特定形式具有两个单独的透明导电层，并且检测到电极阵列的交点处的层之间的互电容的变化。透明导电层各自被分成多个离散的电极单元，该多个离散的电极单元沿第一正交方向电连接而沿第二正交方向电隔离。两个层的电极图案可以是相同的或者可以是不同的。在透明导电层中形成电极图案的一种方法是使用激光束从透明支撑基板的表面烧蚀导电层的一部分。这样的方法提供了更高的生产量，并且与替代方法(诸如对电极图案进行化学蚀刻)相比，这样的方法降低了成本。通常，透明导电层可以由例如氧化铟锡(ITO)或者由包括金属纳米线或碳纳米管的纳米材料形成。透明支撑基板通常由例如为聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)膜的柔性聚合物形成。PET的使用最为广泛，因为PET的生产成本低廉。然而，使用激光束在第一透明导电层中形成电极图案会损坏相对于第一透明导电层形成在基板的另一侧上的第二透明导电层。已经进行了各种尝试以解决或规避这个问题。在一个示例中，仅在电极图案已经形成在第一导电层中后形成第二导电层。然而，在该示例中，生产量受到折损。在另一示例中，第一导电层和第二导电层由具有不同的烧蚀阈值的不同的材料形成。然而，制造成本也因此更高了。在另一示例中，透镜被配置成使激光束在穿过支撑基板时发散，以减小基板远侧的能量密度。然而，制造成本也因此更高了。在另一示例中，在导电层与基板之间添加了附加的遮光层，以在电极图案形成在近侧导电层中的同时保护远侧导电层。然而，触敏面板更厚，因此制造成本更高。
技术实现思路
本专利技术的目的是至少部分地解决上文讨论的问题中的一些。因此，本专利技术提供一种制造触敏面板的方法，该方法包括：提供分层结构，该分层结构包括多个均质层，该多个均质层至少包括第一透明导电层、第二透明导电层、以及在第一透明导电层与第二透明导电层之间的透明支撑基板，该透明支撑基板是分层结构的最厚层；通过从透明支撑基板的设置有第一透明层的一侧入射到第一透明层上的激光束对第一透明层进行激光烧蚀，来在第一透明导电层中形成电极图案；其中，激光束和透明支撑基板被配置成使得由透明支撑基板将激光束能量密度减小50％以上。通过选择根据本专利技术的激光和透明支撑基板的材料，透明支撑基板本身可用于吸收和/或扩散激光能量，以防止在第一导电透明层中形成电极图案的同时损坏第二透明导电层。这样的制造方法不要求附加的层或用于这些层的附加的不同材料。因此，该方法的成本相对较低，能够保持高的生产量并生产相对薄的触摸面板。激光束的波长可以为200nm至400nm，例如为266nm或355nm。这样的激光束例如可以使用二极管泵浦固体激光器相对廉价且可靠地产生。透明支撑基板可以由包括无色聚酰亚胺(CPI)、聚醚酰亚胺(PEI)、聚醚醚酮(PEEK)、聚碳酸酯(PC)以及PET的材料形成。透明支撑基板可以由如下材料形成：所述材料包括按重量计至少90％的、CPI、PEI、PC、PEEK以及PET中的一个。透明支撑基板可基本由CPI、PEI、PC、PEEK以及PET中的一个形成。CPI、PEI和PEEK在约355nm的波长范围内具有理想的吸收特性。PET和PC在约266nm的波长范围内具有理想的吸收特性。本专利技术还提供了用于触敏面板的透明导电膜，该透明导电膜具有分层结构，该分层结构包括多个均质层，该多个均质层至少包括第一透明导电层、第二透明导电层以及介于第一透明导电层与第二透明导电层之间的透明支撑基板，该透明支撑基板是分层结构的最厚层；其中，透明支撑层由包括CPI、PEI、PC和PEEK中的一个的材料形成。附图说明本专利技术的其他特征和优点将在下文借助于非限制性示例以及附图进行描述，在附图中：图1示意性地示出了用于触敏面板的示例性透明导电膜；图2示意性地示出了用于触敏面板的示例性透明导电膜；以及图3A和图3B示出了形成在第一透明导电层和第二透明导电层中的示例性电极图案；图4示意性地示出了用于执行本专利技术的方法的示例性设备。具体实施方式图1示出了穿过用于触敏面板的透明导电膜的横截面。透明导电膜包括分层结构，该分层结构包括多个均质层。如图1所示，这些层可以包括第一透明导电层2、第二透明导电层3以及介于第一透明导电层2与第二透明导电层3之间的透明支撑基板1。透明支撑基板1为透明导电膜提供稳定性。因此，透明支撑基板是膜中的最厚层。透明支撑基板1例如可以占透明导电膜的厚度的50％以上或者75％以上。还可以提供其他层。例如，如图2所示，可以在透明支撑基板1与透明导电层2、3之间设置附加的粘合层4，以改善透明导电层2、3到透明支撑基板1的粘合力。粘合层4可以分别直接设置在透明导电层2与透明支撑基板1之间以及在透明导电层3与透明支撑基板1之间。换句话说，粘合层可以分别与透明导电层2和透明支撑基板1接触以及与透明导电层3和透明支撑基板1接触。然而，粘合层4不是必需的，它们是可选的。例如，如图1所示，透明导电层2、3可以直接设置在透明支撑基板1的相对表面上。透明支撑基板1透得过可见光，并且可以是电绝缘的。透明支撑基板1可以是刚性的或者可以是柔性的。例如，透明支撑基板1可以由聚合物材料制成。这样的材料包括PET、CPI、PEI、PC和PEEK。透明支撑基板1的厚度可小于1mm。例如，透明支撑基板1可至少为0.01mm厚和/或小于0.15mm厚。例如，透明支撑基板1可约为0.05mm厚。较薄的支撑基板1制成更柔韧的膜。然而，如果透明支撑基板1变得太薄，就很难处理。第一透明导电层2和第二透明导电层3可以由诸如氧化铟锡(ITO)、氧化锡(SnO2)、氧化锌(ZnO)的无机氧化物材料或其他透明导电氧化物(诸如氟掺杂氧化锡(FTO))形成。这样的材料可例如通过物理气相沉积来施加。然而，也可以使用其它方法。其他材料可用于透明导电层，例如纳米粒子材料。纳米粒子材料可以包括例如金属纳米线(例如，银纳米线，AgNW)、碳纳米管(CNT)、碳纳米芽(CNB)或石墨烯。这样的纳米颗粒材料可通过印刷到基板1上或通过一转移膜来施加。第一透明导电层2和第二透明导电层3可具有30nm至300nm的厚度。透明导电层2、3的薄层电阻(sheetresistances)可以为10欧姆/平方至30欧姆/平方。透明支撑基板1和透明导电层2、3可分别和/或组合地在可见光波长范围内具有至少85％或至少90％的光本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.制造用于触敏面板的透明导电膜的方法，所述方法包括：/n提供分层结构，所述分层结构包括多个均质层，所述多个均质层至少包括第一透明导电层、第二透明导电层以及在所述第一透明导电层与所述第二透明导电层之间的透明支撑基板，所述透明支撑基板是所述分层结构的最厚层；/n通过从所述透明支撑基板的设置有第一透明层的一侧入射在所述第一透明层上的激光束对所述第一透明层进行激光烧蚀，来在所述第一透明导电层中形成电极图案；其中/n所述激光束和所述透明支撑基板被配置成使得由所述透明支撑基板将激光束能量密度减小50％以上。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20180308 GB 1803723.41.制造用于触敏面板的透明导电膜的方法，所述方法包括：
提供分层结构，所述分层结构包括多个均质层，所述多个均质层至少包括第一透明导电层、第二透明导电层以及在所述第一透明导电层与所述第二透明导电层之间的透明支撑基板，所述透明支撑基板是所述分层结构的最厚层；
通过从所述透明支撑基板的设置有第一透明层的一侧入射在所述第一透明层上的激光束对所述第一透明层进行激光烧蚀，来在所述第一透明导电层中形成电极图案；其中
所述激光束和所述透明支撑基板被配置成使得由所述透明支撑基板将激光束能量密度减小50％以上。


2.根据权利要求1所述的方法，其中，所述激光束和所述透明支撑基板被配置成使得由所述透明支撑基板将激光束能量密度减小75％以上。


3.根据权利要求1或2所述的方法，所述方法进一步包括：
通过从所述透明支撑基板的设置有第二透明层的一侧入射在所述第二透明层上的激光束对所述第二透明层进行激光烧蚀，来在所述第二透明导电层中形成电极图案。


4.根据权利要求3所述的方法，其中，在所述第一透明导电层中形成所述电极图案的步骤和在所述第二透明导电层中形成所述电极图案的步骤同时进行。


5.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其中，所述激光束的波长是紫外线的。


6.根据权利要求5所述的方法，其中，所述激光束的波长为300nm至400nm。


7.根据权利要求6所述的方法，其中，所述激光束的波长为355nm。


8.根据权利要求6或7所述的方法，其中，所述透明支撑基板包括CPI、PEI和PEEK中的一个。


9.根据权利要求4所述的方法，其中，所述激光束的波长为200nm至300nm。


10.根据权利要求9所述的方法，其中，所述激光束的波长为266nm。


11.根据权利要求9或10所述的方法，其中，所述透明支撑基板包括PET和PC中的一个。


12.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其中，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：P·路姆斯比，A·布伦顿，
申请(专利权)人：万佳雷射有限公司，
类型：发明
国别省市：英国;GB