涂敷液供给装置及其狭缝涂敷式涂敷装置制造方法及图纸

一种涂敷液供给装置，其与具有与基板对向配置的具有狭缝状开口的涂敷头，并利用上述涂敷头和上述基板的任意一个相对于另一个的移动，对上述基板以预定厚度涂敷预定量的涂敷液的狭缝涂敷式涂敷装置相组合来使用，并向上述涂敷头提供预定量的涂敷液，其特征在于，包括：　　　　在涂敷液源和上述狭缝涂敷式涂敷装置中的上述涂敷头之间延伸出的涂敷液供给机构；　　　　在上述涂敷液供给机构中，给上述涂敷液供给机构中的涂敷液加压的泵；　　　　在上述涂敷液供给机构中介于上述泵和上述涂敷头之间的开关阀；　　　　检测出被上述泵加压后的涂敷液压力，输出涂敷液压力信号的涂敷液压力检测机构，以及　　　　输入上述涂敷液压力检测机构检测出的涂敷液压力信号，为了通过上述涂敷头对上述基板以预定厚度涂敷预定量的涂敷液，将上述开关阀即将开启前的通过上述泵加压的涂敷液的压力变成为所期望的值地控制上述泵动作的涂敷液压力控制机构。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种给狭缝涂敷式(slit coat)涂敷装置提供涂敷液的涂敷液供给装置及伴随着该涂敷液供给装置的狭缝涂敷式涂敷装置。
技术介绍
众所周知，狭缝涂敷式涂敷装置能够在基板上以预定厚度涂敷预定量液体的例如抗蚀剂溶液等。传统的狭缝涂敷式涂敷装置具备与基板对向配置的具有狭缝状开口的涂敷头。从涂敷液供给装置提供预定量的涂敷液给涂敷头，在基板和涂敷头之中的任意一个相对于另一方按预定速度移动期间，从涂敷头的狭缝状开口处、在基板上以预定厚度涂敷预定量的涂敷液。相对于基板由涂敷头从开始涂敷涂敷液到基板上涂敷的涂敷液厚度稳定到所希望的一定厚度为止(即，从涂敷头流出的涂敷液的量是所希望的一定的量)，上述涂敷液需要比较长的时间。附图说明图1示出了这种状态。因此，象这样在基板上的所希望的区域内，涂敷所希望的一定厚度的涂敷液时，在上述所希望的区域中，必须从开始涂敷涂敷液的位置的前方作为起点，开始涂敷液的涂敷。在此情况下，就产生了基板材料和涂敷液使用量的浪费。在涂敷装置的涂敷作业速度越大时这种浪费就会越多。利用上述涂敷装置在基板上涂敷所希望的一定厚度的涂敷液后，测量基板上涂敷液的厚度。发现基板上的涂敷液的厚度产生不均匀时，为了查明产生的原因，停止上述涂敷装置的动作。此时，涂敷液厚度不均匀就从发现的基板直到正在利用上述涂敷装置进行涂敷作业的基板或上述涂敷作业停止时紧接着的基板止，此间全部位置的基板以及目前正在利用上述涂敷装置进行涂敷作业的基板或上述涂敷作业停止时紧接着的基板发生涂敷液厚度不均匀的可能性就非常大。因此，发生涂敷液厚度不均匀可能性非常大的这些基板将全部废弃。这种情况下就意味着如果涂敷装置的涂敷作业速度越快，当涂敷液厚度不均匀发生时，必须废弃的基板数量就越多。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种涂敷液供给装置和伴随此涂敷液供给装置的狭缝涂敷式涂敷装置，在狭缝涂敷式涂敷装置开始涂敷作业，紧接着，通常在基板上预定的区域上涂敷出所希望的一定厚度的涂敷液，与上述传统的装置相比，就能够获得基板材料和涂敷液使用量的浪费显著减少的这个结果。本专利技术的另一个目的是提供一种涂敷液供给装置和具有此涂敷液供给装置的狭缝涂敷式涂敷装置，利用狭缝涂敷式涂敷装置，在向基板上涂敷涂敷液的涂敷作业中，可以检测出基板上涂敷的涂敷液厚度，与上述传统的装置相比，大量减少了因产生涂敷液厚度不均匀而不得不废弃的基板数量。为了实现最初的上述目的，根据本专利技术一种涂敷液供给装置，其与具有与基板对向配置的具有狭缝状开口的涂敷头，并利用上述涂敷头和上述基板的任意一个相对于另一个的移动，对上述基板以预定厚度涂敷预定量的涂敷液的狭缝涂敷式涂敷装置相组合来使用，并向上述涂敷头提供预定量的涂敷液，其特征在于，包括在涂敷液源和上述狭缝涂敷式涂敷装置中的上述涂敷头之间延伸出的涂敷液供给机构；在上述涂敷液供给机构中，给上述涂敷液供给机构中的涂敷液加压的泵；在上述涂敷液供给机构中介于上述泵和上述涂敷头之间的开关阀；检测出被上述泵加压后的涂敷液压力，输出涂敷液压力信号的涂敷液压力检测机构，以及输入上述涂敷液压力检测机构检测出的涂敷液压力信号，为了通过上述涂敷头对上述基板以预定厚度涂敷预定量的涂敷液，将上述开关阀即将开启前的通过上述泵加压的涂敷液的压力变成为所期望的值地控制上述泵动作的涂敷液压力控制机构。首先，为了实现上述目的，根据本专利技术的狭缝涂敷式涂敷装置，具有与基板对向配置的具有狭缝状开口的涂敷头和向上述涂敷头提供预定量的涂敷液的涂敷液供给装置，利用上述涂敷头和上述基板的任意一个相对于另一个的移动，对上述基板以预定厚度涂敷预定量的涂敷液，其特征在于上述涂敷液供给装置包括在涂敷液源和上述狭缝涂敷式涂敷装置中的上述涂敷头之间延伸出的涂敷液供给机构；在上述涂敷液供给机构中，给上述涂敷液供给机构中的涂敷液加压的泵；在上述涂敷液供给机构中介于上述泵和上述涂敷头之间的开关阀；检测出利用上述泵加压后的涂敷液压力，输出涂敷液压力信号的涂敷液压力检测机构；以及输入上述涂敷液压力检测机构检测出的涂敷液压力信号，为了对上述基板通过上述涂敷头以预定厚度涂敷预定量的涂敷液，将上述开关阀即将开启前的通过上述泵加压的涂敷液的压力变成为所期望的值地控制上述泵动作的涂敷液压力控制机构。其次，为了实现上述目的，组合具有与基板对向配置的具有狭缝状开口的涂敷头、利用上述涂敷头和上述基板的任意一方相对于另一方的相对移动，对上述基板以预定厚度涂敷预定量的涂敷液的狭缝涂敷式涂敷装置来使用，由此对上述涂敷头提供预定量的涂敷液，其特征在于包括在涂敷液源和上述狭缝涂敷式涂敷装置中的上述涂敷头之间延伸出的涂敷液供给机构；在上述涂敷液供给机构中，将位于上述涂敷液供给机构中的涂敷液加压的泵；在上述涂敷液供给机构中，位于上述泵和上述涂敷头之间的开关阀；检测出由上述泵加压后的涂敷液压力，输出涂敷液压力信号的涂敷液压力检测机构；以及输入上述涂敷液压力检测机构检测出的涂敷液压力信号，当由上述泵加压后涂敷液的压力在所期望值的幅度之外，发出警报的涂敷液压力不良警报机构。而且，本专利技术提供的这个涂敷液供给装置，为了实现最初的上述目的，涂敷液供给装置还具备根据本专利技术的涂敷液供给装置的上述涂敷液压力控制机构。其次，为了实现上述目的，所以本专利技术提供一种狭缝涂敷式涂敷装置具有与基板对向配置具有狭缝状开口的涂敷头，和对上述涂敷头提供预定量的涂敷液的涂敷液供给装置，利用上述涂敷头和上述基板的任意一个相对于另一方的移动，对上述基板以预定厚度涂敷预定量的涂敷液；上述涂敷液供给装置具备在涂敷液源和上述狭缝涂敷式涂敷装置中的上述涂敷头之间延伸出的涂敷液供给机构；在上述涂敷液供给机构中，将上述涂敷液供给机构中的涂敷液加压的泵；在上述涂敷液供给机构中，位于上述泵和上述涂敷头之间的开关阀；检测出利用上述泵加压后的涂敷液压力并输出涂敷液压力信号的涂敷液压力检测机构；以及输入上述涂敷液压力检测机构检测出的涂敷液压力信号，通过上述泵加压后的涂敷液压力在期望值幅度之外时，发出警报的涂敷液压力不良警报机构。此外，本专利技术提供的这个狭缝涂敷式涂敷装置，为达成最初的上述目的，狭缝涂敷式涂敷装置的涂敷液供给装置还具备上述涂敷液压力控制机构。附图的简单说明图1是在具有现有技术的涂敷液供给装置的现有技术的狭缝涂敷式涂敷装置中从涂敷开始起，来自涂敷头的涂敷液的流出量随着所经历的时间而改变的简要示图；图2是具有根据本专利技术的第1实施例的涂敷液供给装置的狭缝涂敷式涂敷装置结构的构成彩色滤光片制造工序的简要示图；图3是图2中的彩色滤光片制造工序的第1位置结构的简要示图；图4是在图2的具有涂敷液供给装置的狭缝涂敷式涂敷装置中从涂敷开始起、来自涂敷头涂敷液的流出量随经过时间而改变的简要示图；图5是在具有现有技术的涂敷液供给装置的现有技术的狭缝涂敷式涂敷装置中涂敷液压力在涂敷开始前后的变化状态的简要示图；图6是在图2的具有涂敷液供给装置的狭缝涂敷式涂敷装置中涂敷液压力在涂敷开始前后的变化状态的简要示图； 图7是利用具有现有的涂敷液供给装置的现有狭缝涂敷式涂敷装置在基板上形成的涂敷液膜厚随涂敷开始时间而发生改变的简要示图，通过图2的具有涂敷液供给装置的狭缝涂敷式涂敷装置在基板上形成的涂敷液膜厚随涂敷开本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：淡河英生，黑川稔记，冈田浩人，生熊正典，三井康裕，小室俊介，
申请(专利权)人：凸版印刷株式会社，
类型：发明
国别省市：