功能液滴涂敷装置、显示装置以及电子设备制造方法及图纸

本发明专利技术的目的在于，通过在将功能液滴喷出到基板上的涂敷工序和使喷出到基板上的功能液滴干燥的干燥工序之间，以基板载置于同一载物台的状态使从涂敷到干燥的速度加快，并根据需要使所述涂敷／干燥工序重复一次以上，来防止基板上的功能液滴的“上渗”，并防止基板的破损。在步骤Ｓ８中判断图案是否完成。在图案未完成的情况下，通过作为载物台移动工序的步骤Ｓ９，使载物台（５）移动到描绘单元（３）下方的规定位置。返回到步骤Ｓ３，从功能液滴喷头（１１）喷出功能液滴（１０），在基板（５０）上制作图案。从而，在图案完成前至少重复进行一次以上该处理。另外，当图案完成时，从载物台（５）取下基板（５０），结束作业。

【技术实现步骤摘要】
功能液滴涂敷装置、显示装置以及电子设备
本专利技术涉及采用喷墨法的功能液滴涂敷装置和使用该涂敷装置而制造的显示装置以及使用该显示装置制造的电子设备。
技术介绍
作为通过喷墨法来涂敷功能液滴的方法，公知有一种通过喷墨法形成液晶面板的取向膜的方法(例如专利文献1)。另外，公知有一种在取向膜的制造方法中具有特征，使两种以上的取向膜原料从喷出口喷出，以马赛克状形成取向膜的方法(例如专利文献2)。专利文献1：特开平3-249623号公报专利文献2：特开平10-197873号公报然而，在通过喷墨法从功能液滴喷头向基板等喷出功能液滴时，喷出在基板上的功能液滴在室温下开始逐渐干燥。由于在一块基板上，开始喷出功能液之后所经过的时间不同，所以其干燥时间不同。例如，目前从功能液滴喷头喷出的功能液滴，与功能液滴涂敷装置中所具有的并于此后将被喷出的功能液滴，表现出大致相同的液体特性。但是，例如在功能液滴最初从功能液滴喷头喷出到基板的时间比现在早一个小时的情况下，最初喷出的功能液滴和在一小时中放置于室温下的功能液滴处于相同的状态。处于这种状态的功能液滴，其喷出后的形状的中央部功能液滴的厚度薄，与中央部的功能液滴的厚度相比，靠功能液滴的外廓附近部分的厚度厚。下面将这种现象称为“上渗”。当发生这种“上渗”时，喷出到基板上的功能液滴的膜丧失均匀性，在功能液滴的膜构成滤色镜的情况下，难以确保所需的颜色特性。另外，如果功能液滴的膜在EL(Electro Luminescence)的荧光体，或者，功能液滴的膜在ELD(Electro Luminescence Display)的有机EL元件的各表-->示要素，或者，LCD(Liquid Crystal display)的导通布线、取向膜等上发生“上渗”，则会存在有损于各要素所被要求的功能的可能。
技术实现思路
本专利技术针对上述问题而提出，其目的在于，在功能液滴喷出到基板上的涂敷工序和使喷出到基板上的功能液滴干燥的干燥工序之间，通过在基板载置于同一载物台的状态下，使从涂敷到干燥的速度加快，并根据需要使所述涂敷/干燥工序重复一次以上，从而防止了基板上的功能液滴的“上渗”并防止了基板的破损。为了解决上述问题，要点在于本专利技术包括：喷出功能液滴的功能液滴喷头；涂敷有从所述功能液滴喷头喷出的所述功能液滴的基板；载置所述基板的载物台；以及干燥单元，其覆盖载置于所述载物台的所述基板的一部分或全部，对从所述功能液滴喷头喷出到所述基板上的所述功能液滴进行干燥。由此，功能液滴从功能液滴喷头喷出，使所喷出的功能液滴涂敷到载置于载物台的基板上，并且以干燥单元覆盖载置于载物台的基板的一部分或全部，能够对从功能液滴喷头喷出到基板上的功能液滴进行干燥。通过在功能液滴喷出到基板上的涂敷工序和使喷出到基板上的功能液滴干燥的干燥工序之间，使基板以载置于载物台的状态进行移动，能够防止基板上的功能液滴的“上渗”并防止基板的破损。本专利技术的功能液滴涂敷装置的所述干燥单元具有减压干燥功能。由此，由于本专利技术的功能液滴涂敷装置的干燥单元具有减压干燥功能，所以，能够对以液状喷出到基板上进行涂敷的功能液滴的溶媒进行干燥。通过使干燥单元内部减压，能够以较低温度在较短时间内干燥功能液滴，从而，能够防止基板上的功能液滴的“上渗”。本专利技术的功能液滴涂敷装置，其要点在于，对从所述功能液滴喷头喷出所述功能液滴并将所述功能液滴涂敷到载置于所述载物台的所述基板上的涂敷工序，以及通过干燥单元覆盖载置于所述载物台的所述基板的一部分或全部来干燥从所述功能液滴喷头喷出到所述基板的所述功能液滴的干燥工序至少重复一次以上。-->由此，由于本专利技术的功能液滴涂敷装置，对从功能液滴喷头喷出功能液滴并将功能液滴涂敷到载置于载物台的基板上的涂敷工序，以及通过干燥单元覆盖载置于载物台的基板的一部分或全部来干燥从功能液滴喷头喷出到基板上的功能液滴的干燥工序至少重复一次以上，从而，能够防止基板上的功能液滴的“上渗”，并防止在基板载置于载物台之前由于涂敷工序和干燥工序的重复而引起的基板的破损。本专利技术的功能液滴涂敷装置，其要点在于，由所述干燥单元和所述载物台形成所述干燥工序中的减压室。由此，由于本专利技术的功能液滴涂敷装置由干燥单元和载物台形成干燥工序中的减压室，因此，能够维持减压室的密闭性而获得所希望的减压。因此，能够以短时间对涂敷到载置于载物台的基板上的功能液滴进行干燥，防止基板上的功能液滴的“上渗”。本专利技术的功能液滴涂敷装置，其要点在于，由所述干燥单元和所述基板形成所述干燥工序中的减压室。由此，由于本专利技术的功能液滴涂敷装置由干燥单元和基板形成干燥工序中的减压室，因此，在大型的功能液滴的情况下，可以通过干燥单元覆盖基板上的功能液滴所需要干燥的位置来形成干燥工序中的减压室以进行干燥。从而，能够防止基板上的功能液滴的“上渗”。本专利技术的显示装置，其要点在于，使用本专利技术的功能液滴涂敷装置进行制造。由此，由于本专利技术的显示装置使用本专利技术的功能液滴涂敷装置进行制造，所以，能够防止基板上的功能液滴的“上渗”，并防止基板的破损，从而，能够高品质地提供高成品率的显示装置。本专利技术的电子设备，其要点在于，具有本专利技术的显示装置。由此，由于本专利技术的电子设备具有本专利技术的显示装置，所以，能够高品质地提供廉价的电子设备。附图说明图1是表示将本专利技术具体化的功能液滴涂敷装置，将功能液滴喷出到基板上来涂敷功能液滴的涂敷工序，和对载置有基板的载物台进行移动的-->载物台移动工序，以及干燥功能液滴的干燥工序的关系的流程图。图2是表示在本专利技术的功能液滴涂敷装置中，功能液滴被喷出到基板上的状态的示意图。图3是表示在本专利技术的功能液滴涂敷装置中，基板移动到干燥单元下方状态的示意图，所述干燥单元对喷出到基板上的功能液滴进行干燥。图4是表示基板的一部分或全部被干燥单元覆盖，并且喷出到基板上的功能液滴被干燥状态的示意图。图中：1—框体；2—载物台单元；3—描绘单元；4—干燥单元；5—载物台；5a—载物台端面；6—载物台轨道；10—功能液滴；11—功能液滴喷头；11a—喷嘴；12a、12b—功能液滴喷头驱动部；20—作为减压室的干燥室；20a—凹部；20b—干燥室端面；20c—作为弹性部件的干燥室衬垫；21—减压管；22—干燥室保持部；23—干燥室驱动部；25—室；50—基板；P1—涂敷位置；P2—干燥位置。具体实施方式下面参照附图说明将本专利技术具体化的实施例。【实施例1】图1是表示将本专利技术具体化的功能液滴涂敷装置，将功能液滴喷出到基板上来涂敷功能液滴的涂敷工序，和对载置有基板的载物台进行移动的载物台移动工序，以及干燥功能液滴的干燥工序的关系的流程图。其中，图1所记载的部件编号与图2～图4中所记载的部件编号对应。在步骤S1中，将基板50载置于载物台5。在作为载物台移动工序的步骤S2中，将载物台5移动到描绘单元3下方的规定位置。在作为涂敷工序的步骤S3中，从功能液滴喷头11喷出功能液滴10来制造所希望的图案。对功能液滴10的材质等将在后面叙述。功能液滴喷头11可以利用喷墨法、分配方式，或者滴下方法等。在步骤S4中，判断是否进行功能液滴10的干燥。在功能液滴10喷出到基板50上，比发生前述“上渗”现象的时间(以下称作上渗发生时间)具有一定余裕，即达到本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种功能液滴涂敷装置，包括：功能液滴喷头，用于喷出功能液滴；载物台，用于载置基板，在所述基板涂敷从所述功能液滴喷头喷出的所述功能液滴；干燥单元，对载置于所述载物台的所述基板的一部分或全部进行覆盖，来干燥从所述功能液滴 喷头喷出到所述基板的所述功能液滴。

【技术特征摘要】
JP 2005-6-20 2005-1789651、一种功能液滴涂敷装置，包括：功能液滴喷头，用于喷出功能液滴；载物台，用于载置基板，在所述基板涂敷从所述功能液滴喷头喷出的所述功能液滴；干燥单元，对载置于所述载物台的所述基板的一部分或全部进行覆盖，来干燥从所述功能液滴喷头喷出到所述基板的所述功能液滴。2、如权利要求1所述的功能液滴涂敷装置，其特征在于，所述干燥单元具有减压干燥功能。3、如权利要求1或2所述的功能液滴涂敷装置，其特征在于，至少重复进行一次以上涂敷工序和干燥工序，所述涂敷工序，从所述功能液滴喷头喷出...

【专利技术属性】
技术研发人员：岩田裕二，长坂学，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]