一种应用于三溴化硼尾气处理的冷凝瓶制造技术

本实用新型专利技术公开了一种应用于三溴化硼尾气处理的冷凝瓶，包括：瓶体(4)；在所述瓶体(4)一侧开设进气口(1)；在所述瓶体(4)对应另一侧顶端开设出气口(2)；在所述瓶体(4)内采用迷宫式排列的冷凝壁(3)。本冷凝瓶对三溴化硼的冷凝效果解决了大规模的生产维护周期短的难题，保证了连续的生产；同时由于冷凝材料由石英壁替代了原来上百数量的小巧石英圆管，所以成本上也就比原来的冷凝瓶有所降低。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及尾气处理的冷凝瓶领域，更具体的说，是涉及一种应用于三溴化硼尾气处理的冷凝瓶。
技术介绍
目前针对三溴化硼(一种硼的扩散源，高温时为气态，冷凝后形成白色粉尘固体状的氧化硼)的尾气处理还没有专门设计的冷凝瓶结构，主流是采用的是传统的三氯氧磷(高温时为气态，冷凝后形成偏磷酸的液体)尾气处理的冷凝瓶结构。该冷凝瓶结构为立式圆柱形，中下部有ー块中空挡板V，上部充满上百个内径为5. 0mm、外径为7. 0mm、长度为10_的小石英圆管3'，中空挡板4'下边空置。其冷凝材料为石英，由于石英是非常稳定的材料，经过高温差与其他物质也不发生反应，所以其冷凝效果会非常的好。请參考附图I和附图2，其冷凝过程如下三氯氧磷气体从进气ロ I'进入，沿进气管道进入冷凝瓶内的中空挡板4'下方，气体在向出气ロ 2'移动的过程中，经过上百个小石英圆管3'后被慢慢冷凝，逐渐形成液态，再流入中空挡板4'的下方空置的空间，此为上述冷凝瓶的冷凝过程。但是，当三溴化硼气体也采用这种冷凝瓶时，就会出现很大的问题。三溴化硼在中空挡板4'上方被逐渐冷凝后，就会直接形成白色粉固体状的氧化硼，大量囤积在小石英圆管3'上，随着时间的推移，大量氧化硼固体就会对中空挡板4'上方的小石英管形成的间隙造成堵塞，造成气体排放不畅，进而管内压カ迅速増大，致使整个冷凝过程瘫痪，后续扩散エ艺出现问题。综上所述，在现有的尾气冷凝瓶在作业时，每三天(连续作业)就需要对其进行清洗，维护周期时间短，对生产的连续进行造成影响，且容易引起后续扩散エ艺异常。因此，如何提供一种应用于三溴化硼尾气处理的冷凝瓶，从而使其能够保证连续生产中后续エ艺正常运行，是本领域技术人员亟需解决的问题。
技术实现思路
有鉴于此，本技术提供了一种应用于三溴化硼尾气处理的冷凝瓶，以克服现有技术中三溴化硼尾气处理时冷凝瓶容易堵塞的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案一种应用于三溴化硼尾气处理的冷凝瓶，包括瓶体；在所述瓶体一侧开设进气ロ ；在所述瓶体对应另ー侧顶端开设出气ロ ；在所述瓶体内采用迷宮式排列的冷凝壁。优选的，在上述应用于三溴化硼尾气处理的冷凝瓶中，所述瓶体为卧式圆柱形。优选的，在上述应用于三溴化硼尾气处理的冷凝瓶中，所述进气ロ添加进气管道。优选的，在上述应用于三溴化硼尾气处理的冷凝瓶中，所述冷凝壁为石英壁。优选的，在上述应用于三溴化硼尾气处理的冷凝瓶中，所述冷凝壁采用ー上一下交替的顺序排列。优选的，在上述应用于三溴化硼尾气处理的冷凝瓶中，所述冷凝壁之间的距离相等。 经由上述的技术方案可知，本技术公开了ー种应用于三溴化硼尾气处理的冷凝瓶，包括瓶体；在所述瓶体左侧开设进气ロ ；在所述瓶体右侧顶端开设出气ロ ；在所述瓶体内采用迷宮式排列的冷凝壁。 在三溴化硼气体从进气ロ进入瓶体后，沿着由冷凝壁排列成的迷宮式通道向出气ロ移动，在三溴化硼气体移动过程中，逐渐被冷凝壁冷却成白色粉尘固体的氧化硼，洒落到瓶底。由于下方形成的通道很大，这样就不会造成冷凝瓶的堵塞现象，保证了后续的エ艺正常进行。本冷凝瓶对三溴化硼的冷凝效果解决了大規模的生产维护周期短的难题，保证了连续的生产；同时由于冷凝材料由石英壁替代了原来上百数量的小巧石英圆管，所以成本上也就比原来的冷凝瓶有所降低。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据提供的附图获得其他的附图。图I为现有技术中应用于三溴化硼尾气处理的冷凝瓶外观主视图；图2为现有技术中应用于三溴化硼尾气处理的冷凝瓶截面左视图；图3为本技术应用于三溴化硼尾气处理的冷凝瓶截面主视图；图4为本技术应用于三溴化硼尾气处理的冷凝瓶左视图。其中，图I至图4中Γ为进气ロ、2'为出气ロ、3'为小石英圆管、4'为中空挡板、I为进气ロ、2为出气ロ、3为冷凝壁、4为瓶体。具体实施方式请參阅附图3和附图4，为本技术公开的ー种卧式圆柱形冷凝瓶，在三溴化硼气体从进气ロ进入到从出气ロ出去的过程中，利用瓶内的设置的多块石英壁形成的迷宮式通道对三溴化硼进行冷凝，反应生成的氧化硼固定洒落到瓶底，不会对冷凝瓶造成堵塞等影响后续エ艺的现象。下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。请參考附图3，本技术实施例提供的应用于三溴化硼尾气处理的冷凝瓶，包括瓶体4 ;在瓶体4 ー侧开设进气ロ I ;在瓶体4对应另ー侧顶端开设出气ロ 2 ;在瓶体4内采用迷宮式排列的冷凝壁3。本实施例中提供的冷凝瓶工作过程如下气体从进气ロ I进入冷凝瓶瓶体4内，三溴化硼气体顺着由冷凝壁3上下不定序排列组成的迷宮通道向出气ロ 2移动，在这个过程中，三溴化硼气体逐渐被冷凝壁3冷却，冷凝成氧化硼固体散落到瓶底。这样不会对后续的气体产生堵塞现象，很好的解决了该问题。为了进一步优化上述技术方案，上述实施例的冷凝瓶瓶体4采用卧式圆柱形。首先，卧式的放置方法可以使气体通过该冷凝瓶的通道增长，冷凝时间更长，使冷凝更加充分；其次的圆柱形结构制作成本也比其他长方形等结构低。为了固定此卧式圆柱形结构，可以制作一个稳定半圆形结构的底托。为了进一步优化上述技术方案，上述实施例的冷凝瓶在进气ロ I添加一段进气管道。一般该冷凝瓶出气ロ I都与电偶配套管离得很近，进气ロ I就必须去避开电偶配套管，使进气ロI的开设位置相対死板。所以为进气ロ I添加一段较长的进气管道，这样的结构对开设ロ的位置就没有了相対死板的要求。为了进一步优化上述技术方案，上述实施例的冷凝瓶的冷凝壁3材料采用石英材料，是由于石英是非常稳定的材料，经过高温差与其他物质也不发生反应，所以冷凝效果会非常的稳定。为了进一步优化上述技术方案，上述实施例的冷凝瓶的冷凝壁3结构采用一上一下的交替顺序排列，这样的排列顺序就可以使气体在两个冷凝壁3形成的空间的最上端到后续空间的最下端，再到最上端，如此循环，这样就使气体最长路线地通过整个冷凝瓶，使气体经过冷凝壁的冷凝时间也最长，进而使冷凝效果达到最大化的发挥。为了进一步优化上述技术方案，上述实施例的冷凝瓶的冷凝壁3之间的距离相等，这样使气体的流速稳定，不会因过短的冷凝壁3间距使气体流速过急，冷凝时间过短，达不到冷凝充分的效果；也不会因过长的冷凝壁间3距使气体的流速过缓，使冷凝时间过长，致使冷凝浪费的結果。只有相同的间距，才会使其气体流速相对平稳，使冷凝效果达到最佳。对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本实用新 型。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本技术的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本技术将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。权利要求1.一本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：王志超，
申请(专利权)人：浚鑫科技股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：