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激光成像扫描式光栅位移传感器制造技术

技术编号:7681453 阅读:199 留言:0更新日期:2012-08-16 04:48
激光成像扫描式光栅位移传感器,传感器采用光源为发散角小于0.5°的平行光源,还包括使用反射镜弯折光路压缩光路体积;单光源用部分反射镜、全反射镜分成多束光方式。本发明专利技术中主尺、标尺间距可以增加到超出现有安装空间,还具有良好的抗震动性能与免人工调整。

【技术实现步骤摘要】

本专利涉及 透射成像式光栅位移传感器中光源及相应光路。二.
技术介绍
透射成像式直线位移光栅尺常用于工业上检测直线位移,其中传感器由光源,有光栅条纹的玻璃材料主尺、玻璃材料标尺,光电传感器组成,主尺、标尺其中一个与被测试位移物体作机械连接,另一个与固定件作机械连接,光源是聚光型红外LED,早期使用白炽灯。红外LED发出的红外光透过主尺、标尺,照射到光电传感器上,主尺、标尺相对移动时,形成明暗交替出现的摩尔条纹,使透过的光出现明暗交替,最终光电传感器输出的电信号出现近似正弦波形电平变化,电信号经电路细分处理,经显示表显示,成为人可辨的直线位移数据。现用光源红外LED发出的光平行度最好的仅能达到发散角8°左右,白炽灯光源相当,还存在寿命极短问题;光在经过主尺后,形成明暗交替的光带,因光的平行度差,在很短的距离内光带变得模糊不清,光带经过标尺后使光电传感器输出的电信号直流分量增大,测量用的交流分量减弱,使电路分辨位移变得困难。为取得良好的信号,主尺、标尺间距通常很小,最大为O. Imm ;该间距变化时,电信号分量中交流分量变化极大,这将使电路易受到震动干扰,使显示表误计数。现用光源采用多本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:杜金昌
申请(专利权)人:杜金昌
类型:发明
国别省市:

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