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激光成像扫描式光栅位移传感器制造技术
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文档序号:7681453
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激光成像扫描式光栅位移传感器,传感器采用光源为发散角小于0.5°的平行光源,还包括使用反射镜弯折光路压缩光路体积;单光源用部分反射镜、全反射镜分成多束光方式。本发明中主尺、标尺间距可以增加到超出现有安装空间,还具有良好的抗震动性能与免人工调...
该专利属于杜金昌所有,仅供学习研究参考,未经过杜金昌授权不得商用。
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