Reflective laser grating displacement sensor uses a parallel linear polarization light source with divergence angle less than 0.3 degrees, and the polarization splitter prism and 1/4 wave plate complete the separation of incident and reflected light. The divergence angle of the light source is less than 0.3 degrees and the parallelism is high, which can make the distance between the main grating and its relative moving parts reach cm order, and the polarization splitter and 1/4 wave plate have high separation of incident and reflected light. Because of the small crosstalk, the output signal distortion of the photoelectric sensor is small, and the purpose of improving the displacement resolution is achieved.
【技术实现步骤摘要】
反射式激光光栅位移传感器
本技术涉及一种反射式光栅位移传感器。
技术介绍
光栅位移传感器分为透射式与反射式2种，在反射式中光源发出的光入射到主光栅上被反射，后投射过副光栅，射入光电传感器，转化成电信号，之后由电路处理，得出位移数据；目前大都数反射式光栅位移传感器使用LED光源，因为LED光源空间相干性行差，主光栅与副光栅很近，通常在0.06mm以内，CN200610065842中使用半导体激光作为光源，激光空间相干性比LED光源高得多，主光栅与副光栅间距可以提高到cm数量级，主光栅与副光栅平行放置，光源垂直入射，按原路返回，光经过副光栅，再经过移动的主光栅反射，形成明暗变化的反射光，反射光又经过副光栅半数透，最终到达光电传感器，小部分被反射，又被主光栅反射，最终到二次到达光电传感器，这第二反射的光信号叠加在第一次反射的光信号中，形成干扰杂散信号，造成电信号波形失真，降低了传感器位移分辨率。
技术实现思路
本技术基本构造光路见图1（如图1），偏振分光棱镜（如图1中3）位置在平行线偏振光源（如图1中1）与1/4波片（如图1中4）之间，1/4波片（如图1中4）与主光栅（如图1中...
【技术保护点】
1.反射式激光光栅位移传感器，涉及一种位移传感器，其特征在于，偏振分光棱镜位置在平行线偏振光源与1/4波片之间，1/4波片与主光栅相邻，光电传感器在偏振分光棱镜侧面，副光栅位置在光电传感器在偏振分光棱镜之间；平行线偏振光源发出的平行线偏振光经过偏振分光棱镜，再经过1/4波片后转化成圆极化偏振光，射向主光栅，圆极化偏振光经过主光栅反射后按原路返回，二次经过1/4波片后，转化成与入射光线偏振态垂直的线偏振光，二次经过偏振分光棱镜内部被反射，由偏振分光棱镜侧面射出，射向副光栅，透射过副光栅的光最终射入光电传感器。
【技术特征摘要】
1.反射式激光光栅位移传感器，涉及一种位移传感器，其特征在于，偏振分光棱镜位置在平行线偏振光源与1/4波片之间，1/4波片与主光栅相邻，光电传感器在偏振分光棱镜侧面，副光栅位置在光电传感器在偏振分光棱镜之间；平行线偏振光源发出的平行线偏振光经过偏振分光棱镜，再经过1/4波片后转化成圆极化偏振光，射向主光栅，圆极化偏振光经过主光栅反射后按原路返回，二次经...
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