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反射式激光光栅位移传感器，采用发散角小于0.3°的平行线偏振光源，由偏振分光棱镜与1/4波片完成入射与反射2路光的分离；光源发散角小于0.3°，平行度高，可以使主光栅与之相对运动的部件间距达到cm量级，偏振分光棱镜与1/4波片对入射与反射2...
该专利属于杜金昌所有，仅供学习研究参考，未经过杜金昌授权不得商用。

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