一种石英管锁套的保护装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术实施例公开了一种石英管锁套的保护装置，该保护装置包括：空心圆柱形侧壁以及与所述侧壁相连的圆环形顶盖；其中，所述侧壁与所述顶盖为一整体结构，且所述侧壁上具有贯穿所述侧壁的固位孔。本实用新型专利技术所提供的保护装置，采用空心圆柱形侧壁和圆环形顶盖可将石英管锁套包裹起来，且锁套的侧壁被所述空心圆柱形侧壁完全包覆，因此能够完全将锁套遮挡住，有效地阻挡了氮化硅对锁套侧面的附着，避免了锁孔被堵塞的现象。而且该保护装置侧壁上设有贯穿所述侧壁的固位孔，在安装时只要将所述保护装置套在石英管上，在锁死锁套后利用所述侧壁上的固位孔将所述保护装置固定在所述锁套上，操作简单，便于安装，从而减少了维护时间。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及太阳能电池制造
，尤其涉及一种石英管锁套的保护装置。
技术介绍
PECVD，即等离子增强化学气相沉积，是太阳能电池生产中一个必不可少的工序。而PECVD工序具体是指通过等离子增强化学气相沉积在硅片表面形成一层起到减反射和钝化效果的氮化硅薄膜。在太阳能电池生产过程中，需要使用到石英管，而且石英管的两端通过锁套固定在生产设备的内部。其中，锁套上均匀分布有六个圆孔，便于扳手锁紧锁套，使其稳定固定在生产设备的内部。在太阳能电池生产过程中，受生产工艺的要求，氮化硅会时刻产生，若锁套没有任何保护装置，直接裸露在设备内部，会导致大量氮化硅附着在锁套上，从而堵塞锁套上的锁孔，造成设备维护时专用维护工具的磨损，而且使得不能准确地取出锁套。现有技术中起先经常采用电钻钢锉打磨或氢氟酸清洗的方法来处理锁套表面的氮化硅，但是这种方法会给锁套造成严重的损坏。后来，采用在锁套外围安装一种半月形保护挡板，这种保护挡板上面有两个椭圆形圆孔，通过悬挂在特气管路的两个固定螺丝上进行紧固。虽然这种方法在一定程度上解决了锁孔堵塞的问题，但是，由于这种半月形的保护挡板只能遮挡住锁套的上半部分，而生产过程中产生本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：张杜超，张自成，
申请(专利权)人：英利能源中国有限公司，
类型：实用新型
国别省市：