【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种用于化学气相沉积的储气罐水浴加热装置。
技术介绍
在化学气相沉积过程中，两种或两种以上的气态原材料在加热和真空的条件下发生化学反应，形成一种新的材料沉积到基体表面上。沉积过程中需要用到气体参与反应，在实际操作过程中，大部分气体不用加热，直接进入反应室内进行反应，如氮气、氨气等气体；但有些气体是需要通过加热的方式,提高气体的压力使气体更加容易从储气罐内出来，同时保证在管道内的运行顺畅。对于需要加热的罐装气体，往往采用加热套对储气罐包裹的 方式进行加热，所述的加热套常因储气罐的更换而频繁装卸，其缺点在于加热套直接对储气罐加热，不仅使气体受热不均，加热速度过快不易控制，会出现局部过热的现象；而且加热套一旦损坏，极易导致温度失控，造成危险事故。
技术实现思路
针对以上的技术不足，本技术提供了一种储气罐水浴加热装置，在对罐装气体加热时，不但能保证气体受热均匀，同时确保加热温度恒定、安全生产。本技术的技术方案如下一种储气罐水浴加热装置，包括外壳和加热源，在外壳顶中部设置有供盛放储气罐用的罐体槽，所述罐体槽与外壳封闭连接形成中空腔，在所述外壳顶部或侧壁上部设置有进水...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
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