一种超大口径凸双曲面镜分环带检测系统及其检测方法技术方案

本发明专利技术是一种超大口径凸双曲面镜分环带检测系统及其检测方法，它包括相移干涉仪、两块Hindle球面反射镜、被测超大口径凸双曲面镜及计算机系统，其中计算机系统与相移干涉仪连接，两块Hindle球面反射镜实现超大口径凸双曲面镜的零检测，计算机系统上的相移干涉仪数据处理软件提取子孔径相位数据，调节被测超大口径凸双曲面镜和两块Hindle球面反射镜的相对位置，实现对被测超大口径凸双曲面镜的全口径检测，相邻子孔径有足够的重叠区域实现高精度的拼接，把得到的子孔径测试数据送入计算机系统进行拼接处理，获得被测超大口径凸双曲面镜面形信息；此发明专利技术对超大口径凸双曲面镜的研制提供了一种有效低成本检测手段，具有较大应用价值。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于先进光学制造与检测领域，涉及光学检测系统，特别涉及。
技术介绍
以凸双曲面镜为次镜的两镜光学系统在天文、空间光学等领域得到了愈来愈广泛 的应用，并且随着天文及空间光学的发展其所需的凸双曲面镜的口径越来越大。大口径凸双曲面镜的制造需要相应的检测技术，然而，对大口径及超大口径凸双曲面镜进行高精度定量检测仍然存在着巨大的挑战。在凸双曲面镜的抛光加工阶段，通常的检测方法有无像差法和补偿器零检验法。无像差法利用二次曲线的两个共轭点形成的无像差点进行检测，凸双曲面的共轭点为一个实几何焦点和一个虚几何焦点，对其进行无像差点检测需要一块高精度Hindle球面反射镜，这块Hindle球面反射镜的口径为被测凸双曲面镜口径的数倍，在实几何焦点处的点光源发出的光波经过凸双曲面镜反射后形成发散球面波这些发散球面波经过Hindle球面反射镜后原路返回，该Hindle检测方法适合小口径的凸双曲面镜；大口径凸双曲镜所需的高精度Hindle球面反射镜制造困难，价格昂贵。Simpson-Hindle检测方法将Hindle镜靠近被测凸双曲面镜，这样使得Hindle镜变成一个口径略大于凸双曲面镜口径的Hin本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种超大口径凸双曲面镜分环带检测系统，其特征在于该检测系统包括相移干涉仪(I)、第一 Hindle球面反射镜(2)、第二 Hindle球面反射镜(3)、被测超大口径凸双曲面镜(4)、及计算机系统(5)，其中计算机系统(5)与相移干涉仪(I)连接，通过调整被测超大口径凸双曲面镜(4)和第一 Hindle球面反射镜(2)及第二 Hindle球面反射镜(3)的相对位置，使相移干涉仪(I)获得被测超大口径凸双曲面镜(4)上有相互重叠区域的子区域，最后由安装在计算机系统(5)上的数据处理软件对所得到的子区域数据进行处理，得到被测超大口径凸双曲面镜(4)的全口径面形分布信息。2.根据权利要求I所述的一种超大口径凸双曲面镜分环带检测系统，其特征在于干涉仪检测的两个子孔径间存在足够的重叠区域，以实现高精度数据拼接处理。3.根据权利要求I所述的一种超大口径凸双曲面镜分环带检测系统，其特征...

【专利技术属性】
技术研发人员：闫锋涛，范斌，侯溪，伍凡，万勇建，
申请(专利权)人：中国科学院光电技术研究所，
类型：发明
国别省市：